一种单晶加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶加料装置，属于单晶硅技术领域。它包括炉体，其侧面开设有侧加料口；还包括外置加料机，其包括：基座；真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，内底部设有振动发生器；加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；加料盒，其一端置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。本实用新型专利技术的装置加料效率高，加料过程中炉体内部压力变化波动小，且炉体内热量散失小，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶加料装置


[0001]本技术属于单晶硅
，更具体地说，涉及单晶加料装置。

技术介绍

[0002]单晶炉加料是单晶生产过程中的重要步骤。
[0003]在现有的单晶炉生产过程中，由于单晶炉内坩埚容量等技术限制，加料步骤需要分多次完成，即首次向坩埚中加固体硅料至一定量后，需要停止加料，等待单晶炉内化料，化料一定时间后，进行二次加料，再等待一段时间化料后，继续加料，如此重复3~4次方可完成整个加料过程，在等待化料过程中，加料设备是闲置无作用的，这使得现有的加料方法及装置无法充分发挥加料效率，尤其是对于多炉同时生产的情况，每个单晶炉配备加料设备且每台加料设备均有长时间的闲置期，无疑增加了生产成本，浪费了生产资源。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0005]一种单晶加料装置，包括，
[0006]炉体，其侧面开设有侧加料口；
[0007]还包括外置加料机，其包括：
[0008]基座；
[0009]真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，真空腔室内底部设有振动发生器；
[0010]加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，真空腔室顶部开口，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；
[0011]波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；
[0012]加料盒，其一端为进料端，置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端为出料口，其穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。
[0013]进一步地，炉体的侧加料口处设有插板阀，插板阀关闭时封闭侧加料口，插板阀开启时外置加料机进行加料。
[0014]进一步地，波纹管另一端端口处设有水冷保护套。
[0015]进一步地，外置加料机还包括滑动支架，其包括固定设于基座顶面的滑轨及滑动连接在滑轨上的支架，支架顶部与波纹管底部固定连接。
[0016]进一步地，炉体顶部设有顶加料口，还包括加料筒，其包括：
[0017]筒体，其外径小于炉体的顶加料口内径；
[0018]固定座，其形成于筒体外壁上，固定座呈环形，固定座内壁与筒体外壁固定连接，固定座外径大于顶加料口内径；
[0019]石英锥体，其底面朝下活动置于筒体内，石英锥体底面直径与筒体内径向匹配；
[0020]拉杆，其置于筒体轴线上，一端与石英锥体顶部固定连接，另一端延伸至筒体顶部
外。
[0021]进一步地，加料筒还包括导向架，其形成于筒体顶部上方，导向架对应筒体轴线的位置处开设通孔供拉杆穿过。
[0022]有益效果
[0023]相比于现有技术，本技术的有益效果为：
[0024]（1）本技术的单晶加料装置，外置加料机加料效率高，加料过程中炉体内部压力变化波动小，且炉体内热量散失小；
[0025]（2）本技术的单晶加料装置，在炉体侧加料口设插板阀，在不加料时，关闭插板阀防止压强波动及热量逸出，在进行外置加料时，打开插板阀；
[0026]（3）本技术的单晶加料装置，波纹管另一端端口处设有水冷保护套，防止对波纹管端部受热形变或损坏；
[0027]（4）本技术的单晶加料装置，滑动支架使得波纹管的伸缩有更稳定的导向，进一步地，可以设置驱动机构与滑动支架传动连接，从而自动传动使得波纹管完成伸缩，配合滑动单元对真空腔室的驱动，使得外置加料过程更加自动化，节约人力，提高加料效率；
[0028]（5）本技术的单晶加料装置，还设有加料筒，外置加料机首次加料后可以移走进行其他炉体的加料，后续加料由加料筒实现，节省了外置加料机的闲置时间，实现外置加料机能匹配更多单晶炉加料使用，降低了外置加料机的采购数量，节约了生产成本，进而降低单晶硅片成本。
附图说明
[0029]图1示出了本技术的单晶加料装置结构示意图；
[0030]图2示出了加料筒结构示意图；
[0031]图3示出了外置加料机结构示意图，其中料仓罩未示出；
[0032]图4示出了外置加料机另一视角结构示意图；
[0033]图5示出了外置加料机的加料盒结构示意图；
[0034]图6示出了外置加料机的水冷保护套结构示意图；
[0035]图7示出了外置加料机的基座结构示意图；
[0036]附图标记：
[0037]1、炉体；10、侧加料口；11、顶加料口；12、插板阀；13、翻板阀；
[0038]2、外置加料机；20、基座；200、下层座；201、上层座；202、基板；203、高度调整支板；204、导向轮安装板；21、真空腔室；22、加料仓；23、波纹管；230、水冷保护套；24、加料盒；240、入料端；241、出料端；25、滑动单元；26、滑动支架；27、料仓罩；
[0039]3、加料筒；30、筒体；31、固定座；32、石英锥体；33、拉杆；34、导向架。
具体实施方式
[0040]下面结合具体实施例和附图对本技术进一步进行描述。
[0041]实施例1
[0042]本实施例的单晶加料装置，包括，
[0043]炉体1，其侧面开设有侧加料口10；
[0044]还包括外置加料机2，其包括：
[0045]基座20；
[0046]真空腔室21，其滑动置于基座20顶面，真空腔室21上设有真空泵，真空腔室21内底部设有振动发生器；
[0047]加料仓22，其顶部与底部均开口，置于真空腔室21上方，真空腔室21顶部开口，加料仓22底部穿过真空腔室21顶部的开口并伸入真空腔室21中；
[0048]波纹管23，其可伸缩，真空腔室21侧壁开口并与波纹管23一端连通；
[0049]加料盒24，其一端为进料端240，置于真空腔室21内的振动发生器上，进料口连通加料仓22底部的开口；加料盒24另一端为出料口241，其穿过真空腔室21侧壁开口并可从波纹管23另一端伸出。
[0050]本实施例的外置加料机2结构如图1、图3和图4所示。
[0051]其中，基座20的详细结构见图7，由下层座200、上层座201、基板202、高度调整支板203和导向轮安装板204组成，上层座201与下层座200通过高度调整支板203连接，高度调整支板203为竖直板体，其上沿竖直方向不同高度开设有若干螺栓孔，并在上层座201和下层座200侧面对应位置开设螺纹孔，通过螺栓穿过螺栓孔和螺纹孔，将上层座201固定在下层座200上不同高度处，以匹配不同大小高度的炉体1，基板202水平固定在上层座201上方，导向轮安装板204固定于下层座200底部两侧，导向轮安装板204上用于安装导向轮，以便于本实施例的外置加料机2在一次加料完成后的移动。
[0052]本实施例中，真空腔室21为中空腔室，其设有真空泵，用于形成真空腔室21内部的真空环境，真空腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶加料装置，其特征在于，包括，炉体，其侧面开设有侧加料口；还包括外置加料机，其包括：基座；真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，真空腔室内底部设有振动发生器；加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，真空腔室顶部开口，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；加料盒，其一端为进料端，置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端为出料口，其穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。2.根据权利要求1所述的一种单晶加料装置，其特征在于：炉体的侧加料口处设有插板阀，插板阀关闭时封闭侧加料口，插板阀开启时外置加料机进行加料。3.根据权利要求2所述的一种单晶加料装置，其特征在于：波纹管另一端端口处设...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文飞，
申请(专利权)人：宇泽半导体云南有限公司，
类型：新型
国别省市：