【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
低阈值电压静电型微继电器，包括压焊块［１０１］、可动梳齿［１０２］和固定梳齿［１０３］、触点［１０４］、隔离栅［１０５］、折叠弹簧梁［１０６］、多级梳齿连接梁［１０７］、隔离墙［１０８］、衬底［２０１］，其特征在于： 压焊块［１０１］，用于施加电激励； 两个以上可动梳齿［１０２］并联，两个以上固定梳齿［１０３］并联，可动梳齿和固定梳齿数目相等并且间隔排列，形成级联的梳齿结构，可动梳齿上具有两个以上叉齿［３０１］，固定梳齿上具有两个以上叉齿［３０２］，对应的可动梳齿上的叉齿［３０１］与固定梳齿上的叉齿［３０２］数目相等且间隔排列成交错状，之间形成平板电容，提供微继电器横向驱动的静电驱动力； 可动梳齿［１０２］通过多级梳齿连接梁［１０７］连接，形成并联梳齿结构，整个可动部件再通过折叠弹簧梁［１０６］与压焊块［１０１］连接； 多级梳齿连接梁［１０７］的一端通过隔离栅［１０５］连接触点［１０４］，可动梳齿［１０２］与固定梳齿［１０３］在电激励作用下产生的静电驱动力可使多级梳齿连接梁［１０７］带动触点［１０４］一起发生横向位移，使触点［１０４］与电路中固定电极接触，在电激...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许高斌，何晓雄，李洋，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
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