一种双向取放料机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双向取放料机构，包括：安装底座；转动底板，其与所述安装底座转动连接，所述转动底板的正上方形成有缓存空间；取料模组，其与所述转动底板沿一直线方向滑动连接；以及分别与所述转动底板及取料模组传动连接的转动驱动器及滑动驱动器；其中，所述转动驱动器安装于所述安装底座上，所述转动底板在所述转动驱动器的驱动下绕其转动连接点往复转动。根据本实用新型专利技术，其能够双侧进行取放料作业，大大提高了取放料机构的取放料范围，提高了使用便捷性及实用性。提高了使用便捷性及实用性。提高了使用便捷性及实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种双向取放料机构


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种双向取放料机构。

技术介绍

[0002]在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的取放料机构来实现物料的取放是众所周知的。在研究和实现物料取放的过程中，研究人员发现现有技术中的取放料机构至少存在如下问题：
[0003]只能单侧取料，对于有双侧取放料需求的产线来说，要想实现双侧或多侧取放料则一般在取放料机构的底座上安装一转向组件，对取放料机构的整体进行转向，由于取放料机构整机质量较大其转动惯量也会较大，整机转动过程中转动幅度受到转动惯量的影响容易产生偏差，这就导致取放料机构的转动角度精度过低，不能满足高精度取放料需求，并且较大的质量也会导致转向组件耗能的增加。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种双向取放料机构，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]为了克服上述取放料机构所存在的问题，本技术所要解决的技术问题是提供一种能够双侧进行取放料作业的双向取放料机构，其大大提高了取放料机构的取放料范围，提高了使用便捷性及实用性。
[0006]就取放料机构而言，本技术为解决上述技术问题的双向取放料机构包括：
[0007]安装底座；
[0008]转动底板，其与所述安装底座转动连接，所述转动底板的正上方形成有缓存空间；
[0009]取料模组，其与所述转动底板沿一直线方向滑动连接；以及
[0010]分别与所述转动底板及取料模组传动连接的转动驱动器及滑动驱动器；
[0011]其中，所述转动驱动器安装于所述安装底座上，所述转动底板在所述转动驱动器的驱动下绕其转动连接点往复转动。
[0012]可选的，所述取料模组包括：
[0013]取料底座，其与所述转动底板滑动连接；以及
[0014]至少两根间隔设置的取料臂，其固接于所述取料底座的旁侧，并且沿着所述直线方向水平向外延伸；
[0015]其中，所述滑动驱动器安装于所述转动底板上，所述转动底板通过所述取料底座与所述滑动驱动器传动连接，所述取料底座在所述滑动驱动器的驱动下沿着所述直线方向往复滑移，以从所述缓存空间中选择性地向外伸出。
[0016]可选的，所述取料模组还包括夹持模组，所述夹持模组包括：
[0017]夹持安装座，其固定安装于所述取料底座上；
[0018]夹持板，其可升降地安装于所述夹持安装座中并水平地延伸至所述取料臂的上方；以及
[0019]夹持驱动器，其与所述夹持板传动连接；
[0020]其中，所述夹持板在所述夹持驱动器下沿竖直方向往复升降以靠近或远离所述取料臂从而将取料臂上承托的物料选择性夹紧。
[0021]可选的，所述夹持安装座中转动安装有升降螺杆，所述夹持板通过一螺母与所述升降螺杆螺纹连接。
[0022]可选的，所述升降螺杆的其中一端固接有从动轮，所述夹持驱动器的动力输出端固接有主动轮，所述主动轮与所述从动轮之间通过一传动部件实现传动连接。
[0023]可选的，所述传动部件为链条、皮带或齿条中的任意一种。
[0024]可选的，所述取料臂及夹持板的表面均包覆有由弹性材料制成的防滑缓冲层。
[0025]可选的，所述弹性材料为橡胶、PVC、PU或硅胶材料中的一种。
[0026]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其能够双侧进行取放料作业，大大提高了取放料机构的取放料范围，提高了使用便捷性及实用性。
[0027]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过降低转动惯量来降低转动过程中的转动偏差，从而提高了转动定位精度。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制，其中：
[0029]图1为根据本技术一个实施方式提出的双向取放料机构的立体图；
[0030]图2为根据本技术一个实施方式提出的双向取放料机构的立体图，图中示出了夹持状态下的示意图；
[0031]图3为根据本技术一个实施方式提出的双向取放料机构另一个视角下的立体图，图中进一步示出了各零部件的装配空间关系；
[0032]图4为根据本技术一个实施方式提出的双向取放料机构的纵向剖视图，图中示出了与料箱相配合使用时的示意图。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。
[0035]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或
者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0036]在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。
[0037]涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。
[0038]根据本技术的一实施方式结合图1~图3的示出，可以看出，双向取放料机构包括：
[0039]安装底座31；
[0040]转动底板32，其与所述安装底座31转动连接，所述转动底板32的正上方形成有缓存空间；
[0041]取料模组33，其与所述转动底板32沿一直线方向滑动连接；以及
[0042]分别与所述转动底板32及取料模组33传动连接的转动驱动器311及滑动驱动器336；
[0043]其中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双向取放料机构，其特征在于，包括：安装底座（31）；转动底板（32），其与所述安装底座（31）转动连接，所述转动底板（32）的正上方形成有缓存空间；取料模组（33），其与所述转动底板（32）沿一直线方向滑动连接；以及分别与所述转动底板（32）及取料模组（33）传动连接的转动驱动器（311）及滑动驱动器（336）；其中，所述转动驱动器（311）安装于所述安装底座（31）上，所述转动底板（32）在所述转动驱动器（311）的驱动下绕其转动连接点往复转动。2.如权利要求1所述的双向取放料机构，其特征在于，所述取料模组（33）包括：取料底座（331），其与所述转动底板（32）滑动连接；以及至少两根间隔设置的取料臂（337），其固接于所述取料底座（331）的旁侧，并且沿着所述直线方向水平向外延伸；其中，所述滑动驱动器（336）安装于所述转动底板（32）上，所述转动底板（32）通过所述取料底座（331）与所述滑动驱动器（336）传动连接，所述取料底座（331）在所述滑动驱动器（336）的驱动下沿着所述直线方向往复滑移，以从所述缓存空间中选择性地向外伸出。3.如权利要求2所述的双向取放料机构，其特征在于，所述取料模组（33）还包括夹持模组，所述夹持模组包括：夹持安装座（332），其固定安装于所述取料底...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖永刚，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：