一种热屏拆取装置制造方法及图纸

技术编号:31405248 阅读:18 留言:0更新日期:2021-12-15 14:55
本实用新型专利技术公开一种热屏拆取装置,涉及单晶炉技术领域,以解决人工拆卸热屏,存在操作安全风险,且操作效率较低,进而对单晶硅生产效率造成影响。所述热屏拆取装置包括:包括升降机构以及用于对热屏进行承托的支撑盘。升降机构包括安装架以及设在安装架上的升降驱动机构,支撑盘设在升降驱动机构上,升降驱动机构用于驱动支撑盘沿着安装架的高度方向升降。构用于驱动支撑盘沿着安装架的高度方向升降。构用于驱动支撑盘沿着安装架的高度方向升降。

【技术实现步骤摘要】
一种热屏拆取装置


[0001]本技术涉及单晶炉
,尤其涉及一种热屏拆取装置。

技术介绍

[0002]单晶炉在拉单晶过程中,炉内温度达到1200摄氏度,生产结束后,单晶炉需要进行冷却。在单晶炉冷却时,由于单晶炉内的热屏温度还比较高,温度在400

500摄氏度,热屏无法马上取出。
[0003]传统的作业方式是是等热屏降到一定温度后(100摄氏度左右),两名作业人员通过人手从炉盖上将热屏拆卸。热屏一般为筒体状,热屏的上沿具有凸缘,作业人员一般通过抓取上述凸缘拎出热屏,在这个过程中,需要快速拎出热屏,否则由于热传导性,作业人员的手承受不住高温造成热屏脱落摔坏,给人身、财产造成伤害。上述人工拆卸热屏,存在操作安全风险,且操作效率较低,进而对单晶硅生产效率造成影响。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种热屏拆取装置,以解决人工拆卸热屏,存在操作安全风险,且操作效率较低,进而对单晶硅生产效率造成影响的问题。
[0005]本技术提供一种热屏拆取装置,升降机构以及用于对热屏进行承托的支撑盘;升降机构包括安装架以及设在安装架上的升降驱动机构,支撑盘设在升降驱动机构上,升降驱动机构用于驱动支撑盘沿着安装架的高度方向升降。
[0006]采用上述技术方案的情况下,本技术提供的热屏拆取装置中,支撑盘设在升降驱动机构上,使得在单晶炉的炉盖打开后,升降驱动机构将支撑盘升起,使得支撑盘逐渐靠近热屏,并最终达到承托热屏的目的。热屏被支撑盘承托后,即可将炉盖与热屏之间的挂钩卸下,从而从炉盖拆取出热屏。在拆取热屏的过程中,作业人员不需要与热屏接触,不会出现由于高温导致的安全问题。同时避免接触高温热屏,热屏可以在较高的温度下被拆取,加快了热屏的拆取操作,从而可以提高单晶硅的生产效率。相比于需要两名作业人员人手拆卸,在利用本热屏拆取装置的前提下,只需要一名作业人员即可独立完成拆取热屏的操作,还可以节约人力成本。
[0007]在一种可能实现的方式中,支撑盘具有承托部,支撑盘具有承托热屏的承托部,承托部与热屏的凸缘至少局部接触,承托部具有中空区域,中空区域的最小外形尺寸大于热屏的筒体的最大外形尺寸,且小于热屏的凸缘的最大外形尺寸。
[0008]采用上述技术方案的情况下,承托部与热屏的上沿凸缘的底部接触,热屏的筒体穿过中空区域后,承托部与上沿凸缘接触,减少支撑盘与热屏的接触面积,避免支撑盘与热屏之间发生反应,如金属扩散,从而减少对炉内硅液污染的可能性。
[0009]在一种可能实现的方式中,支撑盘还具有用于与热屏接触的至少一个第一阻隔部,第一阻隔部设在承托部,第一阻隔部为非金属。
[0010]采用上述技术方案的情况下,支撑盘可以完全避免与热屏接触,热屏不会受到来
自支撑盘的金属污染。
[0011]在一种可能实现的方式中,热屏拆取装置还包括至少一个第一引导部以及具有至少一个第二引导部,每个第一引导部与相应第二引导部匹配,第一引导部设在安装架,第二引导部与支撑盘连接。
[0012]采用上述技术方案的情况下,通过第一引导部与第二引导部,可以在热屏拆取的过程中,对支架的升降进行引导,保证支架升降的稳定,从而保证热屏升降的稳定。
[0013]在一种可能实现的方式中,热屏拆取装置还包括设在升降驱动机构与支撑盘之间的支架,升降驱动机构用于驱动支架沿着安装架的高度方向升降,支撑盘跟随支架进行升降。
[0014]采用上述技术方案的情况下,支架为支撑盘提供安装位置,并为支撑盘与升降驱动机构提供连接结构。通过改变支架与支撑盘的大小,可以适应多个尺寸的热屏。
[0015]在一种可能实现的方式中,支架为框架结构,框架结构具有镂空区域,镂空区域用于避让热屏。
[0016]采用上述技术方案的情况下,支架不与热屏接触,通过镂空区域与热屏保持距离。
[0017]在一种可能实现的方式中,支撑盘可转动地设置于支架,热屏拆取装置还包括角度限位组件,角度限位组件用于限制支撑盘相对于支架的转动角度。
[0018]采用上述技术方案的情况下,支撑盘可以相对于支架进行转动。在此基础上,由于热屏拆取装置还具有的角度限位组件,因此,可以利用角度限位组件调整支撑盘相对于支架的转动角度。基于此,在作业人员需要清理热屏的内壁时,可以根据热屏需要清理的区域所在位置,利用角度限位组件控制支撑盘相对于支架的转动角度,使得热屏需要清理的区域所在位置处于作业人员的可操作范围内,进而保证作业人员便捷清理热屏内壁。
[0019]在一种可能实现的方式中,角度限位组件包括板体以及固定件,支撑盘的外侧具有转动连接件,板体与转动连接件固定连接,板体具有多个相对于转动连接件周向方向分布的第一定位孔,支架具有第二定位孔;
[0020]当转动连接件与支架相对固定时,固定件嵌入第一定位孔以及第二定位孔中;当转动连接件与支架相对转动时,固定件从第一定位孔以及第二定位孔中脱离。
[0021]采用上述技术方案的情况下,两个配合的定位孔以及固定件可以将转动连接件进行角度限位。作业人员可以将转动支撑盘或者板体,使得指定角度对应的第一定位孔转动的轴线与第二定位孔的轴线重合,再将固定件嵌入两个定位孔中,由此实现对转动连接件的角度限位,从而将支撑盘限制至指定的转动角度。
[0022]在一种可能实现的方式中,热屏拆取装置还包括设在安装架上的转动盘,转动盘与安装架转动连接,转动盘位于支撑盘的下方。
[0023]采用上述技术方案的情况下,作业人员可以在热屏降落在转动盘上后,可以调整转动盘,使得转动盘带动热屏转动,以将热屏外壁需要清理的区域暴露在作业人员的可操作范围内。
[0024]在一种可能实现的方式中,转动盘具有用于与热屏接触的至少一个第二阻隔部,第二阻隔部为非金属。
[0025]采用上述技术方案的情况下,转动盘可以完全避免与热屏接触,热屏不会受到来自转动盘的金属污染。
附图说明
[0026]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解,构成本技术的一部分,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。在附图中:
[0027]图1

图3为本技术实施例提供的热屏拆取装置的使用状态图;
[0028]图4为图1中A区域的局部放大图。
[0029]附图标记:
[0030]1‑
安装架,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
升降驱动机构,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ3‑
支撑盘,
[0031]31

第一阻隔部,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
32

转动连接件,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ4‑
热屏,
[0032]5‑
支架,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
61

板体,
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热屏拆取装置,其特征在于,包括:升降机构以及用于对热屏进行承托的支撑盘;所述升降机构包括安装架以及设在所述安装架上的升降驱动机构,所述支撑盘设在所述升降驱动机构上,所述升降驱动机构用于驱动所述支撑盘沿着所述安装架的高度方向升降。2.根据权利要求1所述的热屏拆取装置,其特征在于,所述支撑盘具有承托所述热屏的承托部,所述承托部与所述热屏的凸缘至少局部接触,所述承托部具有中空区域,所述中空区域的最小外形尺寸大于所述热屏的筒体的最大外形尺寸,且小于所述热屏的凸缘的最大外形尺寸。3.根据权利要求2所述的热屏拆取装置,其特征在于,所述支撑盘还具有用于与所述热屏接触的至少一个第一阻隔部,所述第一阻隔部设在所述承托部,所述第一阻隔部为非金属。4.根据权利要求1所述的热屏拆取装置,其特征在于,热屏拆取装置还包括至少一个第一引导部以及具有至少一个第二引导部,每个所述第一引导部与相应所述第二引导部匹配,所述第一引导部设在所述安装架,所述第二引导部与所述支撑盘连接。5.根据权利要求1

4任一项所述的热屏拆取装置,其特征在于,所述热屏拆取装置还包括设在所述升降驱动机构与所述支撑盘之间的支架,所述升降驱动机构用于驱动所述支架沿着所述安装架的高度方向升降,所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员:张建华王慧智李思华
申请(专利权)人:银川隆基光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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