面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱及其方法技术

本发明专利技术公开了一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱及烘烤方法。该烘烤箱包括烘烤箱本体，内部具有多个相互连通的烘烤腔，各烘烤腔朝向烘烤箱本体正面的一侧均具有烘烤入口；各烘烤腔与烘烤箱本体的正面相对的内侧均设有检测传感器，用于检测烘烤腔内是否存在待烘烤物料；多个腔室门，安装在烘烤箱本体的正面，并且多个腔室门分别与多个烘烤腔的烘烤入口相对应，以封堵或打开烘烤入口；多个载体抽屉，分别可抽拉地安装在多个烘烤腔内，载体抽屉内用于承载待烘烤物料。该烘烤箱能够有效避免人为错误取放烘烤产品，并保证烘烤箱内温度的稳定性。内温度的稳定性。内温度的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱及其方法


[0001]本专利技术涉及一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱，同时也涉及基于该烘烤箱实现的多腔体防错自动控制烘烤方法，属于集成电路封测


技术介绍

[0002]随着时代的发展，汽车、电脑、手机已经成为我们日常工作及生活娱乐的重要组成部分。这些主要归功于集成电路技术的突飞猛进。集成电路的集成度越来越高，功能越来越强大，体积越来越小。集成电路测试业正成为集成电路产业中一个不可或缺的独立行业。烘烤箱在测试过程中，作为去除集成电路中水分，保障芯片稳定性的设备，起着至关重要的作用。
[0003]集成电路芯片被组装成终端电子产品之前需要按照芯片性能进行筛选。该性能筛选过程即为芯片测试环节。测试环节接收晶圆切片封装后的产品，为了保证产品性能不受湿气的影响，在性能测试机测试之前或之后会经过烘烤步骤，用于排出产品存在的湿气。通常情况下，根据工艺要求在一百度以上环境内烘烤10多个小时。
[0004]目前，通常使用的芯片烘烤箱采用传统方式及结构，即一个整体大腔室内设置多层隔板，用于放置更多的烘烤产品。根据生产需求，人员将单批次或多批次产品放置于烘烤箱内，并进行温度设定、加热开启等。当有新的待烘烤产品时，打开烘烤箱箱门将待烘烤产品批次放置到闲置的烘烤区域。当产品烘烤时间达到要求后由操作人员带着隔热手套打开烘烤箱箱门取出已烘烤产品。
[0005]现有技术中的芯片烘烤箱在实际使用时，仍然存在以下的问题：
[0006]第一，实际烘烤过程中会在不同时间放入同批次或多批次产品，这样操作人员在取放出烘烤物料时，存在错误地将未到烘烤时间的产品取出或已到烘烤时间的产品忘记取出的风险，因此会导致产品烘烤不彻底或过烤。
[0007]第二，烘烤过程中添加待烘烤产品，需要打开腔室门，这样将造成烘烤箱内部温度与设定温度不匹配情况。
[0008]第三，烘烤过程中添加待烘烤产品，需要操作人员将产品放入到高温箱体内，存在烫伤等操作风险。
[0009]第四，操作人员在取放产品过程中，由于高温和产品放置在内部等原因，操作需要谨慎和缓慢操作。
[0010]第五，由于待烘烤产品和已烘烤产品不容易区分，在人员操作过程中存在混用风险。

技术实现思路

[0011]本专利技术所要解决的首要技术问题在于提供一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱。
[0012]本专利技术所要解决的另一技术问题在于提供一种面向集成电路测试的多腔体防错
自动控制烘烤方法。
[0013]为实现上述技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0014]根据本专利技术实施例的第一方面，提供一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱，包括：
[0015]烘烤箱本体，内部具有多个相互连通的烘烤腔，各所述烘烤腔朝向所述烘烤箱本体正面的一侧均具有烘烤入口；各所述烘烤腔与所述烘烤箱本体的正面相对的内侧均设有检测传感器，用于检测所述烘烤腔内是否存在待烘烤物料；
[0016]多个腔室门，均安装在所述烘烤箱本体的正面，所述多个腔室门分别与所述多个烘烤腔的烘烤入口相对应，以封堵或打开所述烘烤入口；
[0017]多个载体抽屉，分别可抽拉地安装在所述多个烘烤腔内，所述载体抽屉内用于承载所述待烘烤物料。
[0018]其中较优地，所述腔室门上安装有腔室标签，所述腔室标签的一侧设有标签伸缩机构，所述标签伸缩机构能够沿设定方向伸缩移动，以遮挡或曝露所述腔室标签。
[0019]其中较优地，所述标签伸缩机构包括伸缩气缸、固定块和遮挡板，所述伸缩气缸固定在所述腔室标签的一侧，所述固定块固定在所述伸缩气缸的动力输出端上，所述遮挡板固定在所述固定块上靠近所述腔室门的一侧，所述伸缩气缸的动力输出端能够带动所述固定块沿靠近或远离所述腔室标签的方向伸缩移动，以带动所述遮挡板遮挡或曝露所述腔室标签。
[0020]其中较优地，所述载体抽屉具有容纳腔，所述容纳腔底部的四角均设有支撑座，所述容纳腔两侧的侧壁上开设有相互对称的取放槽。
[0021]其中较优地，所述载体抽屉上靠近所述检测传感器的一端开设有检测通孔，所述载体抽屉上远离所述检测传感器的一端设有把手。
[0022]其中较优地，所述烘烤腔两侧的内壁上均设有滑道，所述载体抽屉两侧的外壁上均设有导向轮，所述导向轮与所述滑道滑动配合。
[0023]其中较优地，所述烘烤箱本体的正面还设有多个电动磁力锁，各所述电动磁力锁分别设置在各所述腔室门的一侧，以锁紧所述腔室门或解除对所述腔室门的锁紧。
[0024]根据本专利技术实施例的第二方面，提供一种基于面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱的烘烤方法，包括如下步骤：
[0025]启动烘烤箱本体，并将烘烤箱本体的内部烘烤腔加热至设定温度；
[0026]开启腔室门，将待烘烤物料放入载体抽屉内，并推入所述烘烤腔内；
[0027]关闭腔室门，利用检测传感器检测烘烤腔内是否存在待烘烤物料，若存在则设定烘烤时间并开始计时，若不存在则启动无料报警程序；
[0028]当达到所述设定时间后，启动提示报警程序；
[0029]利用检测传感器检测烘烤腔内是否存在待烘烤物料，若存在则持续启动提示报警程序，若不存在则取消提示报警程序，等待下批次进料。
[0030]其中较优地，所述开启腔室门，将待烘烤物料放入载体抽屉内，并推入所述烘烤腔内，具体包括如下步骤：
[0031]点击烘烤箱本体上的腔室门开启按钮；
[0032]通过所述腔室门上安装的腔室标签显示各烘烤腔的工作状态；
[0033]扫描所述腔室标签的条形码进行系统记录及信息比对，以将待烘烤物料与所述腔室标签进行绑定；
[0034]工作状态为空的烘烤腔开启腔室门；
[0035]将待烘烤物料放置在烘烤腔的载体抽屉内，并推入所述烘烤腔内。
[0036]其中较优地，所述无料报警程序包括：
[0037]当检测传感器检测烘烤腔内无料后，腔室门上安装的腔室标签显示异常，以进行无料报警提示；
[0038]人工现场确认，消除报警因素；
[0039]腔室标签恢复正常。
[0040]本专利技术所提供的多腔体防错自动控制烘烤箱，由于其烘烤箱本体存在多个相互连通的烘烤腔，能够有效避免人为错误取放烘烤产品。同时，每一个烘烤腔均设有独立的腔室门，配合各腔室门一侧的电动磁力锁进行自动控制，确保每个产品的烘烤时间达到工艺要求。此外，由于单个烘烤腔的开启对烘烤箱内的温度影响较小，从而保证了烘烤箱内的温度的稳定性。
附图说明
[0041]图1为本专利技术实施例提供的面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱的结构示意图；
[0042]图2为本专利技术实施例中，载体抽屉的结构示意图；
[0043]图3为本专利技术实施例中，腔室门的结构示意图；
[0044]图4为本专利技术实施例提供的多腔体防错自动控制烘烤方法的流程图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于包括：烘烤箱本体，内部具有多个相互连通的烘烤腔，各所述烘烤腔朝向所述烘烤箱本体正面的一侧均具有烘烤入口；各所述烘烤腔与所述烘烤箱本体的正面相对的内侧均设有检测传感器，用于检测所述烘烤腔内是否存在待烘烤物料；多个腔室门，均安装在所述烘烤箱本体的正面，并且所述多个腔室门分别与所述多个烘烤腔的烘烤入口相对应，以封堵或打开所述烘烤入口；多个载体抽屉，分别可抽拉地安装在所述多个烘烤腔内，所述载体抽屉内用于承载所述待烘烤物料。2.如权利要求1所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述腔室门上安装有腔室标签，所述腔室标签的一侧设有标签伸缩机构，所述标签伸缩机构能够沿设定方向伸缩移动，以遮挡或曝露所述腔室标签。3.如权利要求2所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述标签伸缩机构包括伸缩气缸、固定块和遮挡板，所述伸缩气缸固定在所述腔室标签的一侧，所述固定块固定在所述伸缩气缸的动力输出端上，所述遮挡板固定在所述固定块上靠近所述腔室门的一侧，所述伸缩气缸的动力输出端能够带动所述固定块沿靠近或远离所述腔室标签的方向伸缩移动，以带动所述遮挡板遮挡或曝露所述腔室标签。4.如权利要求1所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述载体抽屉具有容纳腔，所述容纳腔底部的四角均设有支撑座，所述容纳腔两侧的侧壁上开设有相互对称的取放槽。5.如权利要求4所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述载体抽屉上靠近所述检测传感器的一端开设有检测通孔，所述载体抽屉上远离所述检测传感器的一端设有把手。6.如权利要求1所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：范建华，戴俊玺，
申请(专利权)人：北京唯捷创芯精测科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：