一种用于圆坩埚的护板装置及圆坩埚组件制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于圆坩埚的护板装置及圆坩埚组件，该护板装置包括多个护板，多个护板能够沿圆坩埚的周向方向相互拼装，且每一护板的内侧面为沿圆坩埚的周向方向设置的圆弧形面，多个护板拼装完成后，多个护板的圆弧形面相互连接成圆筒形，圆筒形的形状大小与圆坩埚的形状大小相适配；多个护板沿圆坩埚的周向方向相互拼装后，能够拆卸地安装在圆坩埚的外侧壁上。在该方案中，护板装置包括多个护板，两两护板之间通过直连接板进行连接，且多个护板拼接后能够拆卸地安装到圆坩埚外侧四周，且还能够与圆坩埚外侧壁相贴靠，这样通过多个护板拼接的装置便能够对圆坩埚进行可靠有效地支撑保护。靠有效地支撑保护。靠有效地支撑保护。

【技术实现步骤摘要】
一种用于圆坩埚的护板装置及圆坩埚组件


[0001]本技术涉及多晶硅锭制备领域，更具体地，涉及一种用于圆坩埚的护板装置及圆坩埚组件。

技术介绍

[0002]硅环是芯片制造领域中重要的辅材，它是由单晶硅棒或多晶硅锭经过切割加工而成。在多晶硅铸锭领域，常规的多晶硅铸锭生产使用的是方坩埚，保护坩埚的是矩形直护板拼接形成的护板装置，护板装置的多个直护板围在方坩埚四周成正方形状。而为了解决方坩埚耗材大，材料浪费的问题，出现了一种多晶硅铸锭用的圆坩埚，而使用圆坩埚后，原来的直护板并不适用圆坩埚，直护板与圆坩埚在几何上形成相切，没有起到保护圆坩埚的作用。
[0003]因此，提出一种能够保护圆坩埚的护板装置就成为目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的技术问题，本申请提出了一种用于圆坩埚的护板装置及圆坩埚组件。
[0005]本技术第一方面的技术方案提供了一种用于圆坩埚的护板装置，包括：
[0006]多个护板，多个所述护板能够沿圆坩埚的周向方向相互拼装，且每一所述护板的内侧面为沿所述圆坩埚的周向方向设置的圆弧形面，多个所述护板拼装完成后，多个所述护板的圆弧形面相互连接成圆筒形，所述圆筒形的形状大小与圆坩埚的形状大小相适配；
[0007]其中，多个所述护板沿所述圆坩埚的周向方向相互拼装后，能够拆卸地安在所述圆坩埚的外侧壁上。
[0008]在上述技术方案中，优选地，多个所述护板的形状、大小、高度及结构均相同。
[0009]在上述技术方案中，优选地，所述护板的高度大于等于所述圆坩埚的高度的三分之一小于等于所述圆坩埚的高度。
[0010]在上述技术方案中，优选地，所述圆坩埚为石英锅，所述护板为等静压石墨板。
[0011]在上述任一技术方案中，优选地，多个所述护板均沿所述圆坩埚的周向方向依次围设在所述圆坩埚的外侧。
[0012]进一步优选地，任意相邻两个所述护板之间通过连接装置连接。
[0013]进一步优选地，多个所述护板拼装形成的整体的外侧壁面的横截面为正多边形。
[0014]进一步优选地，每一所述护板的外侧壁面均由多个沿所述圆坩埚周向方向依次连接的多个平面组成，所述多个平面中任意相邻两个平面之间的夹角相等；所述多个平面包括一个或多个中间平面和两个宽度相等的边缘平面，多个所述中间平面沿所述圆坩埚的周向方向的宽度相等，所述边缘平面的宽度等于所述中间平面的宽度的一半。
[0015]进一步优选地，所述连接装置为直连接板，所述直连接板的两端分别固定安装在相邻两个所述护板的边缘平面上。直连接板可为矩形或方形。当然，连接装置也可为由多个
连接条组成。直连接板优选为等静压石墨板。
[0016]进一步优选地，所述边缘平面上设置有多个螺纹孔，所述直连接板的两端对应多个所述螺纹孔分别设置有多个安装孔，所述直连接板和相邻两个所述护板的边缘通过与所述螺纹孔和所述安装孔相适配的螺纹紧固件固定连接。其中，所述安装孔优选为腰形孔、圆形孔或葫芦形孔。
[0017]在上述任一技术方案中，优选地，所述护板的数量为4个，所述护板的内侧面为沿所述圆坩埚的周向方向设置的圆弧形面，所述圆弧形面所对应的圆心角为90
°
，4个所述护板拼装形成的整体的外侧壁面的横截面为正八边形。
[0018]本技术第二方面的技术方案提供了一种圆坩埚组件，包括圆坩埚和第一方面任一技术方案提供的用于圆坩埚的护板装置，所述用于圆坩埚的护板装置沿所述圆坩埚的周向方向可拆卸地拼装在所述圆坩埚的外侧壁上。
[0019]根据本技术提供的用于圆坩埚的护板装置，包括多个护板，两两护板之间通过矩形或方形连接板进行连接，且多个护板拼接后能够拆卸地安装到圆坩埚外侧四周，且还能够与圆坩埚外侧壁相贴靠，这样通过该护板装置便能够对圆坩埚进行可靠有效地支撑保护。优选地，护板装置由4块护板组成，且多个护板拼接后，其内部形成与圆坩埚外侧壁适配的圆筒形。同时，多个护板拼接形成的整体结构的外侧壁面的横截面为正多变形。进一步优选地，多个护板的尺寸结构一致，所有的直连接板的尺寸结构一致。
[0020]其中，本申请中的用于圆坩埚的护板装置既可作为一个独立的装置，也可装配到圆坩埚上，和圆坩埚组成一个圆坩埚组件。
[0021]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0022]结合附图并参考以下详细说明，本技术各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
[0023]图1示出了本技术第一个实施例提供的护板装置的结构示意图；
[0024]图2示出了本技术第一个实施例提供的护板装置的护板的结构示意图；
[0025]图3示出了本技术第一个实施例提供的护板装置的护板的另一结构示意图；
[0026]图4示出了本技术第一个实施例提供的护板装置的直连接板的结构示意图；
[0027]图5示出了本技术第一个实施例提供的圆坩埚组件的结构示意图。
[0028]其中，图1至图5中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
[0029]1护板装置，12护板，122螺纹孔，124圆弧形面，126边缘平面，128中间平面，14直连接板，142安装孔，16圆筒形，2圆坩埚。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、实施例和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的实施例进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本
领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的全部其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]下面参照图1至图5来描述本技术的实施例提供的用于圆坩埚2的护板装置1及圆坩埚组件。
[0032]如图1所示，本技术的实施例提供了一种用于圆坩埚2的护板装置1，该装置包括多个护板12，多个护板12能够沿圆坩埚2的周向方向相互拼装，且每一护板12的内侧面为沿圆坩埚2的周向方向设置的圆弧形面124，多个护板12拼装完成后，多个护板12的圆弧形面124相互连接成圆筒形16，圆筒形16的形状大小与圆坩埚2的形状大小相适配；其中，多个护板12沿圆坩埚2的周向方向相互拼装后，能够拆卸地安在圆坩埚2的外侧壁上。
[0033]根据本技术提供的用于圆坩埚2的护板装置1，包括多个护板12，两两护板12之间通过连接板等进行连接，且多个护板12拼接后能够拆卸地安装到圆坩埚2外侧四周，且还能够与圆坩埚2外侧壁相贴靠，这样通过该护板装置1便能够对圆坩埚2进行可靠有效地支撑保护。
[0034]优选地，如图1所示，多个护板12的形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于圆坩埚的护板装置，其特征在于，包括：多个护板，多个所述护板能够沿圆坩埚的周向方向相互拼装，且每一所述护板的内侧面为沿所述圆坩埚的周向方向设置的圆弧形面，多个所述护板拼装完成后，多个所述护板的圆弧形面相互连接成圆筒形，所述圆筒形的形状大小与圆坩埚的形状大小相适配；其中，多个所述护板沿所述圆坩埚的周向方向相互拼装后，能够拆卸地安在所述圆坩埚的外侧壁上。2.根据权利要求1所述的用于圆坩埚的护板装置，其特征在于，所述圆坩埚为石英锅，所述护板为等静压石墨板；和/或多个所述护板的形状、大小、高度及结构均相同；和/或所述护板的高度大于等于所述圆坩埚的高度的三分之一小于等于所述圆坩埚的高度。3.根据权利要求1所述的用于圆坩埚的护板装置，其特征在于，多个所述护板均沿所述圆坩埚的周向方向依次围设在所述圆坩埚的外侧。4.根据权利要求3所述的用于圆坩埚的护板装置，其特征在于，任意相邻两个所述护板之间通过连接装置连接；多个所述护板拼装形成的整体的外侧壁面的横截面为正多边形。5.根据权利要求4所述的用于圆坩埚的护板装置，其特征在于，每一所述护板的外侧壁面均由多个沿所述圆坩埚周向方向依次连接的多个平面组成，所述多个平面中任意相邻两个平面之间的夹角相等；所述多个平面包括一个或多...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈富伦，
申请(专利权)人：陈富伦，
类型：新型
国别省市：