本发明专利技术涉及密封性检测领域，具体是涉及一种密封升降结构的密封性能检测设备，包括工作台和设置在工作台上用以转盘式输送密封升降结构的转台，还包括气密性检测装置，该气密性检测装置包括设置在转台下方的机架和设置在转台上方的注水容器以及设置在机架上的接水容器和设置在接水容器内的压力感应机构，注水容器和接水容器之间能够在工作台上沿着密封升降结构的升降方向相对移动，并且工作台上还设有一个用以带动注水容器和接水容器之间相对移动的双向驱动装置，双向驱动装置上还安装有一个储水容器，本申请通过气密性检测装置对密封升降结构的密封性能的检测，保证密封升降结构在使用时不会出现溶液泄露的现象，提高了密封升降结构的品质。密封升降结构的品质。密封升降结构的品质。
【技术实现步骤摘要】
一种密封升降结构的密封性能检测设备
[0001]本专利技术涉及密封性检测领域，具体是涉及一种密封升降结构的密封性能检测设备。
技术介绍
[0002]密封升降结构是一种风囊密封伸缩结构，可应用于半导体湿法制程工艺，风囊密封伸缩结构的腔体中可有效防止溶液泄露，本结构主要包括：中空风囊管、升固定座、下固定座、活塞杆等，该结构的风囊管上端固定在一底座上，下端固定在底板上，底板是固定不动的，活塞杆穿过风囊结构固定在上底座上，用于带动上底座上下运动，当活塞杆向上运动，风囊管被拉伸伸长，当活塞杆向下运动，风囊管被压缩，由于在升降过程中，活塞杆与外部环境始终处于被隔离的情况下，可以很好地保证活塞杆的升降孔不会有液体进入，风囊管采用PTFE材质加工而来，该材质可以保证很好地耐腐蚀性。
[0003]然而，现有的密封升降结构在装配完成后，没有对其进行密封性检测的工序，在使用时若密封升降结构的密封性不佳，容易导致溶液的泄露，为了能够保证密封升降机构在装配后，中空风囊管的密封效果良好，需要检测活塞杆在升降过程中中空风囊管的密封性能；如中国技术专利CN211927197U所公开的具有密封性能自检的气体密度继电器及气体密度监测装置，其并不能适用于半导体湿法制程工艺中密封升降结构的密封性能检测，因此需要一种能够对密封升降结构进行密封检测的装置。
技术实现思路
[0004]一、要解决的技术问题
[0005]本专利技术是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种密封升降结构的密封性能检测设备，解决了半导体湿法制程工艺的现有技术中，密封升降结构的密封性不能很好的进行检测的问题。
[0006]二、技术方案
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种密封升降结构的密封性能检测设备，包括工作台和设置在工作台上用以转盘式输送密封升降结构的转台，还包括气密性检测装置，该气密性检测装置包括设置在转台下方的机架和设置在转台上方的注水容器以及设置在机架上的接水容器和设置在接水容器内的压力感应机构，注水容器和接水容器之间能够在工作台上沿着密封升降结构的升降方向相对移动，并且工作台上还设有一个用以带动注水容器和接水容器之间相对移动的双向驱动装置，双向驱动装置上还安装有一个储水容器。
[0008]优选地，注水容器为漏斗结构，注水容器的小口端朝下设置，注水容器的小口端上还设有密封垫圈，注水容器的大口端上还盖有盖子，并且盖子上设有进水口，注水容器的侧壁下端还设有出水口。
[0009]优选地，接水容器具有两个，两个接水容器能够对称设置在密封升降结构的两侧，两个接水容器的对称面是密封升降结构的中间截面，接水容器为半圆块结构，接水容器的
中心直面开设有半圆凹槽，两个接水容器相接后形成回转体结构且两个接水容器的半圆凹槽相接后形成圆形凹槽，接水容器的半圆凹槽内还嵌设有密封胶垫，接水容器内设有接水腔，并且接水容器的直面上还开设有连通至接水腔内的壁口，接水腔的腔口处还设有台阶。
[0010]优选地，每个接水容器的接水腔内均具有一个压力感应机构，该压力感应机构包括触发件和感应件，触发件设置在接水容器的台阶上且触发件位于接水腔内，感应件设置在接水容器的外侧底部，并且触发件接触于感应件。
[0011]优选地，触发件包括有橡胶垫片和浮板，橡胶垫片设置在接水容器的台阶上且橡胶垫片的边部与台阶固定连接，浮板设置在接水容器的接水腔内且浮板位于橡胶垫片的底面，浮板的边缘轮廓为接水腔的轮廓形状，浮板能够在接水腔内竖直移动，浮板的底部还竖直向下穿过接水容器的底部延伸有一个导向杆，并且导向杆上还套设有一个缓冲弹簧，该缓冲弹簧的两端分别固定在浮板的底部和接水容器的底部。
[0012]优选地，感应件包括有一个压力传感器，该压力传感器通过一个安装架固定安装在接水容器的底部，压力传感器的感应端面向导向杆且压力传感器与导向杆之间共轴线，导向杆伸出接水容器的一端和压力传感器的感应端之间还连接有一个压缩弹簧。
[0013]优选地，每个接水容器内还均设有一个吸水管，该吸水管为硬管结构，接水容器的上端开设有一个管槽，吸水管的一端螺纹固定在管槽内，吸水管的另一端竖直向下伸出且吸水管的端部接触于橡胶垫片未变形状态时的表面，吸水管接触在橡胶垫片表面的端部还开设有连通至吸水管内部的吸水口，并且接水容器的上端侧壁上还开设有用以接通吸水管的接口。
[0014]优选地，每个接水容器内还均设有一个吹风件，该吹风件包括有多个小型风扇，接水容器的顶部开设有安装口，多个小型风扇均安装在安装口内，每个小型风扇的扇叶还均处于接水腔内且每个小型风扇的吹风方向均面向橡胶垫片，接水容器的弧面上还设有夹层，夹层内设有加热片，并且接水容器的内弧面上还开设有多个连通至夹层内的透气孔。
[0015]优选地，两个接水容器还能够在机架上水平移动，接水容器水平移动的方向垂直于双向驱动装置的驱动方向，并且机架上还设有能够带动两个接水容器相对移动的开闭驱动装置。
[0016]优选地，还包括升降驱动装置，该升降驱动装置用以带动密封升降结构的升降运动，升降驱动装置设置在工装台上且升降驱动装置位于接水容器的正下方，升降驱动装置上还安装有一个三爪卡盘。
[0017]三、有益效果
[0018]与现有技术相比，本专利技术通过气密性检测装置对密封升降结构的密封性能的检测，实现了密封升降结构在装配后判断出密封性能是否合格，保证密封升降结构在使用时不会出现溶液泄露的现象；具体通过两个接水容器的对接，实现了有水顺着活塞杆流入后能够顺利的流入到两个接水容器内，并且通过压力感应机构以及触发件和感应件之间配合的判断，能够得知该密封升降结构的密封性能是否合格。
[0019]具体的，通过橡胶垫片的变形对浮板的触发，实现了浮板上的导向杆对感应件的触发，保证感应件能够感应到水的压力，以及通过压缩弹簧与导向杆和压力传感器的连接，实现了压力传感器对接水腔内是否存在水的判断。
[0020]还通过吸水管对接水容器内水的吸取，实现了接水容器内的水能够被排出至储水
容器内，从而能够将水进行循环利用；通过小型风扇与加热片的配合，实现了橡胶垫片和接水容器的内壁均得到了吹干，保证压力传感器能够做出准确的判断。
附图说明
[0021]图1是一种实现本专利技术的立体结构示意图；
[0022]图2是一种实现本专利技术的主视图；
[0023]图3是一种实现本专利技术的俯视图；
[0024]图4是图3的A
‑
A处剖视图；
[0025]图5是密封升降结构的立体结构示意图；
[0026]图6是一种实现本专利技术的局部立体结构示意图；
[0027]图7是图6的主视图；
[0028]图8是注水容器的立体结构示意图；
[0029]图9是图8的左视图；
[0030]图10是图9的B
‑
B处剖视图；
[0031]图11是接水容器和压力感应机构的立体结构示意图；
[0032]图12是图11的主视图；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种密封升降结构的密封性能检测设备，其特征在于，所述密封升降结构的密封性能检测设备包括工作台(1)和设置在工作台(1)上用以转盘式输送密封升降结构(7)的转台(2)，气密性检测装置(3)；所述气密性检测装置(3)包括设置在转台(2)下方的机架(3a)和设置在转台(2)上方的注水容器(3b)以及设置在机架(3a)上的接水容器(3c)和设置在接水容器(3c)内的压力感应机构(3d)，注水容器(3b)和接水容器(3c)之间能够在工作台(1)上沿着密封升降结构(7)的升降方向相对移动，并且工作台(1)上还设有一个用以带动注水容器(3b)和接水容器(3c)之间相对移动的双向驱动装置(4)，双向驱动装置(4)上还安装有一个储水容器(4a)。2.根据权利要求1所述的一种密封升降结构的密封性能检测设备，其特征在于，注水容器(3b)为漏斗结构，注水容器(3b)的小口端朝下设置，注水容器(3b)的小口端上还设有密封垫圈(3b4)，注水容器(3b)的大口端上还盖有盖子(3b1)，并且盖子(3b1)上设有进水口(3b2)，注水容器(3b)的侧壁下端还设有出水口(3b3)。3.根据权利要求1所述的一种密封升降结构的密封性能检测设备，其特征在于，接水容器(3c)具有两个，两个接水容器(3c)能够对称设置在密封升降结构(7)的两侧，两个接水容器(3c)的对称面是密封升降结构(7)的中间截面，接水容器(3c)为半圆块结构，接水容器(3c)的中心直面开设有半圆凹槽(3c1)，两个接水容器(3c)相接后形成回转体结构且两个接水容器(3c)的半圆凹槽(3c1)相接后形成圆形凹槽，接水容器(3c)的半圆凹槽(3c1)内还嵌设有密封胶垫(3c2)，接水容器(3c)内设有接水腔(3c3)，并且接水容器(3c)的直面上还开设有连通至接水腔(3c3)内的壁口(3c4)，接水腔(3c3)的腔口处还设有台阶(3c31)。4.根据权利要求1所述的一种密封升降结构的密封性能检测设备，其特征在于，每个接水容器(3c)的接水腔(3c3)内均具有一个压力感应机构(3d)，该压力感应机构(3d)包括触发件(3d1)和感应件(3d2)，触发件(3d1)设置在接水容器(3c)的台阶(3c31)上且触发件(3d1)位于接水腔(3c3)内，感应件(3d2)设置在接水容器(3c)的外侧底部，并且触发件(3d1)接触于感应件(3d2)。5.根据权利要求4所述的一种密封升降结构的密封性能检测设备，其特征在于，触发件(3d1)包括有橡胶垫片(3d11)和浮板(3d12)，橡胶垫片(3d11)设置在接水容器(3c)的台阶(3c31)上且橡胶垫片(3d11)的边部与台阶(3c31)固定连接，浮板(3d12)设置在接水容器(3c)的接水腔(3c3)内且浮板(3d12)位于橡胶垫片(3d11)的底面，浮板(3d12)的边缘轮廓...
【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，沈云清，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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