半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法技术方案

本发明专利技术涉及一种半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法，通过将信号发生设备与待测半导体电路的第一类输入引脚连接，且将检测控制设备与待测半导体电路的第一类输出引脚连接，对待测半导体电路进行IO端口测试；在待测半导体电路的IO测试数据满足预设测试条件之后，将信号发生设备与待测半导体电路的第二类输入引脚，检测控制设备与待测半导体电路的第二类输出引脚连接，对待测半导体电路的功能测试。通过先进行IO端口测试，即采用小电流、低电压测试初步筛选出异常样品，并保留样品失效原始形貌；再进行功能端口测试，即采用大电流、高电压测试半导体电路，从而能够避免功能测试时将异常样品二次破坏，防止功能测试过程损坏后的无法拦截。损坏后的无法拦截。损坏后的无法拦截。

【技术实现步骤摘要】
半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法


[0001]本专利技术涉及一种半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法，属于半导体电路应用


技术介绍

[0002]半导体电路是一种将电力电子和集成电路技术结合的功率驱动类产品。半导体电路把功率开关器件和高压驱动电路集成在一起，并内藏有过电压、过电流和过热等故障检测电路。半导体电路一方面接收MCU的控制信号，驱动后续电路工作，另一方面将系统的状态检测信号送回MCU进行处理。与传统分立方案相比，半导体电路以其高集成度、高可靠性等优势赢得越来越大的市场，尤其适合于驱动电机的变频器及各种逆变电源，是变频调速，冶金机械，电力牵引，伺服驱动，以及变频家电的一种理想电力电子器件。这些应用大多都会受到恶劣环境条件的影响，特别是高温、湿度、高压，对半导体电路的质量和可靠性都是至关重要。另外半导体电路在应用中扮演关键的角色，因此半导体电路在出厂前都需要进行测试，只有测试通过的半导体电路才能作为合格品。
[0003]在实现过程中，专利技术人发现传统技术中至少存在如下问题：目前半导体电路的测试过程中，容易造成半导体电路二次损坏，以及功能测试过程损坏后的无法拦截。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对传统的半导体电路的测试过程中，容易造成半导体电路二次损坏，以及功能测试过程损坏后的无法拦截的问题。提供一种半导体电路的测试系统和半导体电路的测试方法。
[0005]具体地，本专利技术公开一种半导体电路的测试系统，包括：
[0006]信号发生设备，信号发生设备用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚，配置为向待测半导体电路传输第一IO测试信号，以使待测半导体电路根据第一IO测试信号，生成第一反馈信号；
[0007]检测控制设备，检测控制设备用于连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚，配置为获取待测半导体电路生成的第一反馈信号，并对第一反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的第一IO测试数据；
[0008]其中，在IO测试数据满足预设测试条件之后，信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第二类输入引脚，配置为向待测半导体电路传输功能测试信号，以使待测半导体电路根据功能测试信号，生成第二反馈信号；检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第二类输入引脚的第二类输出引脚，配置为获取待测半导体电路生成的第二反馈信号，并对第二反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的功能测试数据。
[0009]可选地，在功能测试数据满足预设测试条件之后，信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚，配置为向待测半导体电路传输第二IO测试信号，以使待测半导体电路根据第二IO测试信号，生成第三反馈信号；
[0010]检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚，配置为获取待测半导体电路生成的第三反馈信号，并对第三反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的第二IO测试数据。
[0011]可选地，检测控制设备包括控制器，以及连接控制器的检测模块；
[0012]检测模块用于依次接收第一反馈信号、第二反馈信号和第三反馈信号，并依次将接收到的第一反馈信号、第二反馈信号和第三反馈信号传输给控制器；控制器用于依次对接收到的第一反馈信号、第二反馈信号和第三反馈信号进行处理，分别得到第一IO测试数据、功能测试数据和第二IO测试数据；
[0013]控制器还用于在第一IO测试数据、功能测试数据和第二IO测试数据分别满足相应的预设测试条件时，确认待测半导体电路为合格品。
[0014]可选地，控制器还用于连接信号发生设备，配置为向信号发生设备传输信号切换指令，以使信号发生设备根据信号切换指令，切换当前的输出信号；当前的输出信号为第一IO测试信号、功能测试信号或第二IO测试信号。
[0015]可选地，第一类输入引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、
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VCC引脚、U
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引脚、V
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引脚、W
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引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或VSS引脚；第一类输出引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、
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VCC引脚、U
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引脚、V
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引脚、W
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引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或VSS引脚；
[0016]第二类输入引脚包括HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚或PFCIN引脚；第二类输出引脚包括HO1引脚、HO2引脚、HO3引脚、LO1引脚、LO2引脚、LO3引脚或PFCOUT引脚。
[0017]本专利技术还公开一种根据上述的半导体电路的测试方法，包括以下步骤：
[0018]将信号发生设备连接待测半导体电路的第一类输入引脚，且将检测控制设备连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚；
[0019]通过信号发生设备向待测半导体电路传输第一IO测试信号，以使待测半导体电路根据第一IO测试信号，生成第一反馈信号；通过检测控制设备获取待测半导体电路生成的第一反馈信号，并对第一反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的第一IO测试数据；
[0020]在IO测试数据满足预设测试条件之后，将信号发生设备连接待测半导体电路的第二类输入引脚，且将检测控制设备连接待测半导体电路的对应第二类输入引脚的第二类输出引脚；
[0021]通过信号发生设备向待测半导体电路传输功能测试信号，以使待测半导体电路根据功能测试信号，生成第二反馈信号；通过检测控制设备获取待测半导体电路生成的第二反馈信号，并对第二反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的功能测试数据。
[0022]可选地，得到待测半导体电路的功能测试数据的步骤之后还包括：
[0023]在功能测试数据满足预设测试条件时，将信号发生设备连接待测半导体电路的第一类输入引脚，且将检测控制设备连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输
出引脚；
[0024]通过信号发生设备向待测半导体电路传输第二IO测试信号，以使待测半导体电路根据第二IO测试信号，生成第三反馈信号；通过检测控制设备获取待测半导体电路生成的第三反馈信号，并对第三反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到待测半导体电路的第二IO测试数据。
[0025]可选地，得到待测半导体电路的第二IO测试数据的步骤之后还包括：
[0026]通过检测控制设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体电路的测试系统，其特征在于，包括：信号发生设备，所述信号发生设备用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚，配置为向所述待测半导体电路传输第一IO测试信号，以使所述待测半导体电路根据所述第一IO测试信号，生成第一反馈信号；检测控制设备，所述检测控制设备用于连接所述待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚，配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第一反馈信号，并对所述第一反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到所述待测半导体电路的第一IO测试数据；其中，在所述IO测试数据满足预设测试条件之后，所述信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第二类输入引脚，配置为向所述待测半导体电路传输功能测试信号，以使所述待测半导体电路根据所述功能测试信号，生成第二反馈信号；所述检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第二类输入引脚的第二类输出引脚，配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第二反馈信号，并对所述第二反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到所述待测半导体电路的功能测试数据。2.根据权利要求1所述的半导体电路的测试系统，其特征在于，在所述功能测试数据满足预设测试条件之后，所述信号发生设备还用于连接待测半导体电路的第一类输入引脚，配置为向所述待测半导体电路传输第二IO测试信号，以使所述待测半导体电路根据所述第二IO测试信号，生成第三反馈信号；所述检测控制设备还用于连接待测半导体电路的对应第一类输入引脚的第一类输出引脚，配置为获取所述待测半导体电路生成的所述第三反馈信号，并对所述第三反馈信号进行处理，根据处理的结果，得到所述待测半导体电路的第二IO测试数据。3.根据权利要求2所述的半导体电路的测试系统，其特征在于，所述检测控制设备包括控制器，以及连接所述控制器的检测模块；所述检测模块用于依次接收所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号，并依次将接收到的所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号传输给所述控制器；所述控制器用于依次对接收到的所述第一反馈信号、所述第二反馈信号和所述第三反馈信号进行处理，分别得到所述第一IO测试数据、所述功能测试数据和所述第二IO测试数据；所述控制器还用于在所述第一IO测试数据、所述功能测试数据和所述第二IO测试数据分别满足相应的预设测试条件时，确认所述待测半导体电路为合格品。4.根据权利要求3所述的半导体电路的测试系统，其特征在于，所述控制器还用于连接所述信号发生设备，配置为向所述信号发生设备传输信号切换指令，以使所述信号发生设备根据所述信号切换指令，切换当前的输出信号；所述当前的输出信号为所述第一IO测试信号、所述功能测试信号或所述第二IO测试信号。5.根据权利要求1所述的半导体电路的测试系统，其特征在于，所述第一类输入引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、
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VCC引脚、U
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引脚、V
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引脚、W
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引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或VSS引脚；所述第一类输出引脚包括P引脚、VB1引脚、U引脚、VB2引脚、V引脚、VB3引脚、W引脚、PFC引脚、
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VCC引脚、U
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引脚、V
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引脚、W
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引脚、HIN1引脚、HIN2引脚、HIN3引脚、LIN1引脚、LIN2引脚、LIN3引脚、PFCIN引脚、
FAULT引脚、ITRIP引脚、VDD引脚、VSS引脚、VDD引脚或...

【专利技术属性】
技术研发人员：左安超，谢荣才，王敏，
申请(专利权)人：广东汇芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：