一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置制造方法及图纸

一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门，本开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC模块单元电连接，所述的PLC模块单元与交流接触器电连接，所述的交流接触器与空气开关连接。有效的提高了产品一致性及批产效率。保证在有人进入时，单晶硅片全自动清洗机自动停止工作，起到对操作不当或误入人员有效的保护作用。到对操作不当或误入人员有效的保护作用。到对操作不当或误入人员有效的保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置


[0001]本技术涉及开门安全保护装置，更具体的说涉及一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，属于安全保护


技术介绍

[0002]单晶硅片全自动清洗机是一台无需任何人进入即可完成全部清洗工作的机器，其设计有上下两层门。但是，该清洗机没有进入防护装置，若有人进入清洗机极有可能造成严重的人员伤害（行车在不停行走和机械臂在不停的操作）。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术中存在的上述问题，提供一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术解决方案是：一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门，本开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC模块单元电连接，所述的PLC模块单元与交流接触器电连接，所述的交流接触器与空气开关连接。
[0005]所述的防护门为四个，所述的闭合接近开关为四套，每个防护门均安装有一套闭合接近开关。
[0006]与现有技术相比较，本技术的有益效果是：
[0007]本技术能够保证在有人进入时，单晶硅片全自动清洗机自动停止工作，从而起到对操作不当或误入人员有效的保护作用。
附图说明
[0008]图1是本技术示意图。
具体实施方式
[0009]以下结合附图说明和具体实施方式对本技术作进一步的详细描述。<br/>[0010]参见图1，一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门。本开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC模块单元电连接，所述的PLC模块单元与交流接触器电连接，所述的交流接触器与空气开关连接。
[0011]参见图1，所述的防护门为四个，所述的闭合接近开关为四套，每个防护门均安装有一套闭合接近开关。
[0012]参见图1，在单晶硅片全自动清洗机工作时，当有人从该单晶硅片全自动清洗机前方的任一防护门进入时，该防护门所在的接近开关就会产生断开信号，断开信号很快传给
PLC模块单元，PLC模块单元经处理后就会反馈出关机信号；关机信号再传给交流接触器，交流接触器指挥空气开关执行关机动作，全自动清洗机自动断电关机，从而达到保护进入清洗机的操作人员安全。整个控制过程迅速、简单、方便，并且能够真正起到对操作不当或误入人员有效的保护作用。
[0013]以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，上述结构都应当视为属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门，其特征在于：所述开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC模块单元电连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛佳勇，薛佳伟，王海军，
申请(专利权)人：天津众晶半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：