振动元件制造技术

本发明专利技术提供一种振动元件，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。所述振动元件包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑第一端部的支撑部、以及可摆动地支撑可动部的扭力梁部；驱动源；以及保持构件，保持基板，在一对支撑梁部各自的第二端部，设有被固定于保持构件的固定部，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。保持构件。保持构件。

【技术实现步骤摘要】
振动元件


[0001]本专利技术涉及一种振动元件。

技术介绍

[0002]以往，已知有一种振动元件(例如参照专利文献1)。
[0003]所述专利文献1中公开了一种微镜元件(micro mirror device)，包括：微镜；扭杆(torsion bar)，可旋转地支撑微镜；以及驱动电极，驱动微镜。
[0004]此处，所述专利文献1所公开的微镜元件中，为了在低电压下加大镜的旋转角度，扭杆构成得柔软。但是，在扭杆上，不仅施加有使微镜旋转(摆动)时产生的旋转扭矩，还因微镜的重量等而施加有上下方向的力。因此，若使扭杆柔软，则扭杆会因上下方向的力而产生挠曲，从而对于微镜容易产生镜旋转(镜部的摆动)以外的位移。而且，尽管在所述专利文献1中未作明确记载，但认为会由于因使微镜摆动时产生的热的影响等导致扭杆产生挠曲，而对微镜产生镜旋转以外的位移。
[0005]因此，所述专利文献1所公开的微镜元件中，公开了一种结构：为了抑制镜的摆动以外的位移，对扭杆施加张力，由此，与旋转方向相比较，提高上下左右方向的刚性。具体而言，所述专利文献1所公开的结构公开了下述结构：对扭杆进行成膜以使其具备拉伸应力，由此，与旋转方向相比较，提高上下左右方向的刚性。因此，所述专利文献1所公开的结构中，通过对扭杆形成氧化膜，从而提高了扭杆的上下左右方向的刚性。
[0006][现有技术文献][0007][专利文献][0008]专利文献1：日本专利特开2005
‑
321663号公报

技术实现思路

[0009][专利技术所要解决的问题][0010]但是，所述专利文献1所记载的微镜元件(振动元件)中，为了抑制微镜(可动部)的摆动以外的位移，采用了对扭杆(扭力梁部)进行成膜的结构。成膜的工序包含掩模的形成、抗蚀剂的涂布、薄膜的形成、抗蚀剂的去除等多个工序，因此存在制造工序复杂化的问题。
[0011]本专利技术是为了解决如上所述的问题而完成，本专利技术的一个目的在于，提供一种振动元件，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0012][解决问题的技术手段][0013]本专利技术的第一方面的振动元件包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑一对支撑梁部各自的第一端部的支撑部、以及能摆动地支撑可动部的扭力梁部；驱动源，被设在支撑部，产生使可动部摆动的板波；以及保持构件，保持基板，在一对支撑梁部各自的第二端部，设有被固定于保持构件的固定部，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜、沿着基板的表面的固定面内的相对于保持构件的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸
的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。
[0014]本专利技术的一方面的振动元件中，如上所述，固定部通过调整相对于保持构件的倾斜、沿着基板的表面的固定面内的相对于保持构件的固定位置、以及固定面内的固定的方向中的任一个，从而以一对支撑梁部各自在扭力梁部所延伸的第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态而固定于保持构件。由此，通过调整固定部相对于保持构件的固定方式，从而无须通过成膜而在支撑梁部设置用于对扭力梁部施加张力的构件，便能够在第一方向上对扭力梁部朝远离可动部的方向施加(赋予)张力。其结果，无须在扭力梁部进行成膜，便能够对扭力梁部施加张力，因此与通过制造工序复杂化的成膜来对扭力梁部形成施加张力的构件的结构相比较，既能抑制制造工序复杂化，又能抑制可动部发生位移。
[0015]所述一方面的振动元件中，优选的是，固定部是以如下的状态被固定：通过彼此朝相反方向扭曲，调整了相对于保持构件的倾斜的状态，或者通过一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲，调整了固定面内的相对于保持构件的固定位置的状态。若像这样构成，则在固定部以通过使固定部彼此朝相反方向扭曲来调整了相对于保持构件的倾斜的状态而固定的情况下，通过固定部彼此朝相反方向扭曲，从而支撑梁部彼此朝相反方向扭曲，因此能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力。而且，在固定部以通过一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲来调整了固定面内的相对于保持构件的固定位置的状态而固定的情况下，通过一对支撑梁部朝相反方向弯曲，从而能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力。它们的结果是，能够容易地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能容易地抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0016]此时，优选的是，固定部是以如下的状态固定于所述保持构件：固定部的第一方向上的部分中的靠近可动部一侧的第一部分以朝从可动部的背面侧朝向表面侧的方向旋转的方式而扭曲的状态，或者固定部的第一方向上的部分中的远离可动部一侧的第二部分以朝从可动部的表面侧朝向背面侧的方向旋转方式而扭曲的状态，而固定于保持构件，或者，固定部是以一对支撑梁部以一对支撑梁部的第二端部彼此之间的距离比一对支撑梁部的第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲的状态。若像这样构成，则通过使固定部的第一部分朝从可动部的背面侧朝向表面侧的方向扭曲，或者使第二部分朝从可动部的表面侧朝向背面侧的方向扭曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部施加远离可动部的方向的张力。而且，通过使一对支撑梁部以第二端部彼此之间的距离比第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲，从而能够容易且切实地在第一方向上对扭力梁部施加远离可动部的方向的张力。它们的结果是，能够容易且切实地经由支撑梁部来对扭力梁部朝远离可动部的方向施加张力，因此既能抑制制造工序复杂化，又能更容易地抑制可动部产生摆动以外的位移。
[0017]在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，在固定部以扭曲的状态固定于保持构件的情况下，保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与固定部抵接的抵接面，抵接面以下述方式而倾斜，即，第一抵接部分与第二抵接部分在与可动部的表面正交的第二方向上处于互不相同的位置，所述第一抵接部分在第一方向上靠近可动部的一侧，所述第二抵接部分在第一
方向上远离可动部的一侧。若像这样构成，则能够容易地使抵接面倾斜，因此通过使固定部以抵接于抵接面的状态而固定，从而能够容易地将固定部扭曲的方向设为相反方向。其结果，能够以成为在第一方向上由一对支撑梁部对扭力梁部朝远离可动部的方向施加有张力的状态的方式，而容易地将固定部固定至保持构件。
[0018]此时，优选的是，抵接部包含抵接构件，所述抵接构件与保持构件独立地设置，振动元件还包括固定角度调整机构，所述固定角度调整机构能对抵接面的倾斜角度进行调整。若像这样构成，则通过调整抵接面的倾斜角度，能够容易地调整固定部相对于保持构件的倾斜。其结果，能够容易地调整对扭力梁部施加的张力的大小。
[0019]在所述固定部以扭曲的状态固定于保持构件，或者固定部以一对支撑梁部弯曲的状态而固定于保持构件的结构中，优选的是，在固定部以扭曲的状态固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动元件，其特征在于，包括：可动部；金属制的基板，包含各自具有第一端部及第二端部的一对支撑梁部、支撑所述一对支撑梁部各自的所述第一端部的支撑部、以及能摆动地支撑所述可动部的扭力梁部；驱动源，被设在所述支撑部，产生使所述可动部摆动的板波；以及保持构件，保持所述基板，在所述一对支撑梁部各自的所述第二端部，设有被固定于所述保持构件的固定部，所述固定部通过调整相对于所述保持构件的倾斜、沿着所述基板的表面的固定面内的相对于所述保持构件的固定位置、以及所述固定面内的固定的方向中的任一个，从而以所述一对支撑梁部各自在所述扭力梁部所延伸的第一方向上对所述扭力梁部朝远离所述可动部的方向施加有张力的状态而固定于所述保持构件。2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态被固定：通过彼此朝相反方向扭曲，调整了相对于所述保持构件的倾斜的状态，或者，通过所述一对支撑梁部彼此朝相反方向弯曲，调整了所述固定面内的相对于所述保持构件的固定位置的状态。3.根据权利要求2所述的振动元件，其特征在于，所述固定部是以如下的状态固定于所述保持构件：所述固定部的所述第一方向上的部分中的靠近所述可动部一侧的第一部分以朝从所述可动部的背面侧朝向表面侧的方向旋转的方式而扭曲的状态，或者所述固定部的所述第一方向上的部分中的远离所述可动部一侧的第二部分以朝从所述可动部的表面侧朝向背面侧的方向旋转方式而扭曲的状态，或者所述一对支撑梁部以所述一对支撑梁部的所述第二端部彼此之间的距离比所述一对支撑梁部的所述第一端部彼此之间的距离大的方式弯曲的状态。4.根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，在所述固定部以扭曲的状态固定于所述保持构件的情况下，所述保持构件包含抵接部，所述抵接部具有与所述固定部抵接的抵接面，所述抵接面以下述方式而倾斜，即，第一抵接部分与第二抵接部分在与所述可动部的表面正交的第二方向上处于互不相同的位置，所述第一抵接部分在所述第一方向上靠近所述可动部的一侧，所述第二抵接部分在所述第一方向上远离所述可动部的一侧。5.根据权利要求4所述的振动元件，其特征在于，所述抵接部包含抵接构件，所述抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田健一，种桥健治，田中史记，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，
类型：发明
国别省市：