本实用新型专利技术公开了MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳，所述外壳一侧底端设置有腔体，所述腔体内部设置有销钉，所述销钉顶端设置有贯通轴步进电机，所述贯通轴步进电机内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆，所述联杆底端与销钉相连接，所述外壳一侧设置有水冷铜管；通过贯通轴步进电机来自动调节销钉的高度，具有导程小精度高的特点，可以使微波的反射调节更加精确，采用通轴步进电机可以及时准确的对设备微波反射率进行主动调节，解放人员，避免人员实时的观测设备微波的反射率，再去根据要求调节三销钉的繁复工作，销钉与贯通轴步进电机直接连接，使得装置结构紧凑，重量轻，避免占用太多设备的空间。间。间。
【技术实现步骤摘要】
MPCVD微波反射自动调节三销钉装置
[0001]本技术涉及MPCVD
，特别涉及MPCVD微波反射自动调节三销钉装置。
技术介绍
[0002]MPCVD在工作中，需要通过三销钉来调节微波发生器产生的微波在谐振腔和反应室的反射，让微波达到最大化利用，使设备的效率最大。
[0003]目前采用的三销钉都是手动调节销钉的运动，手动调节不能及时对设备中微波反射的变化做出反应，且需要人员实时观察设备反射率，来做出调节，并且销钉调节过程中微波的泄露也会对人员有所伤害。
[0004]因此，有必要提供MPCVD微波反射自动调节三销钉装置解决上述技术问题。
技术实现思路
[0005]一要解决的技术问题
[0006]本技术的目的在于提供MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，以解决上述
技术介绍
中现有手动调节不能及时对设备中微波反射的变化做出反应，且需要人员实时观察设备反射率，来做出调节，并且销钉调节过程中微波的泄露也会对人员有所伤害的问题。
[0007]二技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳，所述外壳一侧底端设置有腔体，所述腔体内部设置有销钉，所述销钉顶端设置有贯通轴步进电机，所述贯通轴步进电机内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆，所述联杆底端与销钉相连接，所述外壳一侧设置有水冷铜管，所述外壳另一侧设置有卡套快拧接头，所述卡套快拧接头与水冷铜管相连通。
[0009]具体使用时，通过联杆可以带动其底部的销钉上下运动，从而调节销钉的位置，而在联杆的外侧设置有限位环，有利于在销钉向下运动至最低位置时对其进行限位，此结构通过贯通轴步进电机来自动调节销钉的高度，具有导程小精度高的特点，可以使微波的反射调节更加精确，采用通轴步进电机可以及时准确的对设备微波反射率进行主动调节，解放人员，销钉与贯通轴步进电机直接连接，使得装置结构紧凑，重量轻，避免占用太多设备的空间。
[0010]作为本技术的进一步方案，所述贯通轴螺杆底端设置有螺丝，所述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆相连接。
[0011]具体使用时，述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆相连接有利于联杆的安装。
[0012]作为本技术的进一步方案，所述联杆底部设置有第一顶丝，所述联杆通过第一顶丝与销钉相连接。
[0013]具体使用时，联杆通过第一顶丝与销钉相连接有利于销钉的安装。
[0014]作为本技术的进一步方案，所述联杆外侧设置有限位环并与联杆相固定。
[0015]具体使用时，在联杆的外侧设置有限位环，有利于在销钉向下运动至最低位置时
对其进行限位。
[0016]作为本技术的进一步方案，所述水冷铜管外侧设置有铜管固定夹，所述水冷铜管通过铜管固定夹与腔体相固定，同时通过卡套快拧接头与外壳相连接。
[0017]具体使用时，在装置中增加了水冷铜管，利用设备的水冷系统，高效的将销钉中的热量带走，保证装置在合适的温度区间工作。
[0018]作为本技术的进一步方案，所述贯通轴步进电机底部设置有电机固定板，所述电机固定板通过螺钉与腔体固定连接。
[0019]具体使用时，电机固定板有利于贯通轴步进电机的安装。
[0020]作为本技术的进一步方案，所述贯通轴步进电机的数量设置为多个，多个所述贯通轴步进电机在外壳一侧均匀分布。
[0021]三有益效果
[0022]本技术所述的MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，本技术通过贯通轴螺杆可以带动联杆上下运动，通过联杆可以带动其底部的销钉上下运动，从而调节销钉的位置，而在联杆的外侧设置有限位环，有利于在销钉向下运动至最低位置时对其进行限位，此结构通过贯通轴步进电机来自动调节销钉的高度，具有导程小精度高的特点，可以使微波的反射调节更加精确，采用通轴步进电机可以及时准确的对设备微波反射率进行主动调节，解放人员，避免人员实时的观测设备微波的反射率，再去根据要求调节三销钉的繁复工作，销钉与贯通轴步进电机直接连接，使得装置结构紧凑，重量轻，避免占用太多设备的空间。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0024]图1是本技术的整体结构示意图；
[0025]图2是本技术的主视图；
[0026]图3是本技术的腔体结构示意图；
[0027]图4是本技术的C
‑
C的剖视图。
[0028]图中：1、外壳；2、贯通轴步进电机；3、限位环；4、联杆；5、销钉；6、腔体；7、卡套快拧接头；8、水冷铜管；9、电机固定板；10、铜管固定夹。
具体实施方式
[0029]下面参考附图对本技术的实施例进行说明。在此过程中，为确保说明的明确性和便利性，我们可能对图示中线条的宽度或构成要素的大小进行夸张的标示。
[0030]另外，下文中的用语基于本技术中的功能而定义，可以根据使用者、运用者的意图或惯例而不同。因此，这些用语基于本说明书的全部内容进行定义。
[0031]如图1至图4所示，一种MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳1，所述外壳1一侧底端设置有腔体6，所述腔体6内部设置有销钉5，所述销钉5顶端设置有贯通轴步进电机2，所述贯通轴步进电机2内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆4，所述联杆4底端与销钉5相连接，所述外壳1一侧设置有水冷铜管8，所述外壳1另一侧设置有卡套快拧接头7，所述卡套快拧接头7与水冷铜管8相连通。
[0032]具体使用时，通过联杆4可以带动其底部的销钉5上下运动，从而调节销钉5的位置，而在联杆4的外侧设置有限位环3，有利于在销钉5向下运动至最低位置时对其进行限位，此结构通过贯通轴步进电机2来自动调节销钉5的高度，具有导程小精度高的特点，可以使微波的反射调节更加精确，采用通轴步进电机可以及时准确的对设备微波反射率进行主动调节，解放人员，销钉5与贯通轴步进电机2直接连接，使得装置结构紧凑，重量轻，避免占用太多设备的空间。
[0033]作为本技术的进一步方案，所述贯通轴螺杆底端设置有螺丝，所述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆4相连接。
[0034]具体使用时，述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆4相连接有利于联杆4的安装。
[0035]作为本技术的进一步方案，所述联杆4底部设置有第一顶丝，所述联杆4通过第一顶丝与销钉5相连接。
[0036]具体使用时，联杆4通过第一顶丝与销钉5相连接有利于销钉5的安装。
[0037]作为本技术的进一步方案，所述联杆4外侧设置有限位环3并与联杆4相固定。
[0038]具体使用时，在联杆4的外侧设置有限位环3，有利于在销钉5向下运动至最低位置时对其进行限位。
[0039]作为本技术的进一步方案，所述水冷铜管8外侧设置有铜管固定夹10，所述水冷铜管8通过铜管固定夹10本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)一侧底端设置有腔体(6)，所述腔体(6)内部设置有销钉(5)，所述销钉(5)顶端设置有贯通轴步进电机(2)，所述贯通轴步进电机(2)内布设置有贯通轴螺杆，所述贯通轴螺杆底端设置有联杆(4)，所述联杆(4)底端与销钉(5)相连接，所述外壳(1)一侧设置有水冷铜管(8)，所述外壳(1)另一侧设置有卡套快拧接头(7)，所述卡套快拧接头(7)与水冷铜管(8)相连通。2.根据权利要求1所述的MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，其特征在于：所述贯通轴螺杆底端设置有螺丝，所述贯通轴螺杆通过螺丝与联杆(4)相连接。3.根据权利要求2所述的MPCVD微波反射自动调节三销钉装置，其特征在于：所述联杆(4)底部设置有第一顶丝，所述联杆(4)通过第一顶丝与销钉(...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊芳，郭志刚，刘永宁，康勇，
申请(专利权)人：碳方程新材料山西有限公司，
类型：新型
国别省市：
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