一种光学真空镀膜机抽气装置制造方法及图纸

技术编号:31190087 阅读:25 留言:0更新日期:2021-12-04 16:45
本实用新型专利技术提供一种光学真空镀膜机抽气装置,属于光学产品加工技术领域,包括储气箱、连接卡板和抽气管,连接卡板设有四个且分别两个为一组的固定连接于储气箱的前后两侧,抽气管设有四个且分别与连接卡板贯穿连接,且四个抽气管分别通过贯穿连接卡板而与储气箱贯通连接,四个抽气管内部的上下两端均设有抽气副管,八个抽气副管远离储气箱的一端均连通设置有连接箱,每个连接箱的左右两端均连通设置有连接管。该种光学真空镀膜机抽气装置通过结构的改进,可扩大对储气箱内抽气的面积,进而可及时将储气部件内的各个部位的灰尘及时抽出,不易使灰尘附着到产品表面造成污染,使用的可靠性强。靠性强。靠性强。

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜机抽气装置


[0001]本技术涉及光学产品加工
,尤其是涉及一种光学真空镀膜机抽气装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是一种在较高真空度下对材料进行的镀膜的设备,具体镀膜方法包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射。
[0003]现有的光学真空镀膜机抽气装置在实际使用时,在抽气的过程中,只是对单一的固定角度进行抽气,而由于光学真空镀膜机的储气部件较大,对单一的一个角度进行抽气,不利于将储气部件内的各个部位的灰尘及时抽出,易使灰尘附着到产品表面造成污染,并且,现有的光学真空镀膜机抽气装置对气体未经处理的排出会对空气造成污染,实用性不足。
[0004]因此,需要在现有光学真空镀膜机抽气装置的基础上进行升级和改造,以克服现有问题和不足。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种光学真空镀膜机抽气装置,以解决现有技术中存在的缺点。
[0006]上述目的通过以下技术方案来解决:
[0007]一种光学真空镀膜机抽气装置,包括储气箱、连接卡板和抽气管,所述连接卡板设有四个且分别两个为一组的固定连接于储气箱的前后两侧,所述抽气管设有四个且分别与连接卡板贯穿连接,且四个所述抽气管分别通过贯穿连接卡板而与储气箱贯通连接,四个所述抽气管内部的上下两端均设有抽气副管,八个所述抽气副管远离储气箱的一端均连通设置有连接箱,每个所述连接箱的左右两端均连通设置有连接管,所述连接管和连接箱的一端分别均匀开设有若干个抽气孔,四个所述抽气管内部的中端均设有支撑杆,所述支撑杆的上下两端分别均匀分布有若干个焊接杆,且若干个所述焊接杆远离支撑杆的一端均与抽气副管固定连接,每个所述抽气副管偏向于储气箱内部中端的一侧和支撑杆偏向于储气箱内部中端的一侧末端均转动连接有抽气扇,四个所述抽气管远离储气箱的一侧均连通设置有输气管,且每两个所述输气管的顶部之间均连通设置有热熔箱,并且每个所述连接箱均位于抽气副管与输气管之间,同时每个所述输气管、连接箱和抽气副管之间分别为连通设置。
[0008]优选的,所述热熔箱呈长方体状,且热熔箱内部的四个端面均设置有两层沿着内部端面均匀分布的电热管,并且电热管均与外部电源连接,同时热熔箱顶部的一侧均开设有出气口。
[0009]优选的,若干个所述焊接杆均呈V形状,且若干个所述焊接杆依次为等距排列分
布。
[0010]优选的,若干个所述抽气孔分别朝着偏向于抽气管的上端面和下端面排列分布。
[0011]优选的,上下相邻的所述连接箱之间的间距均为8

10cm。
[0012]优选的,所述抽气扇均与外部电源连接。
[0013]有益效果:
[0014](1)该种光学真空镀膜机抽气装置通过结构的改进,使本装置在实际使用时,可扩大对储气箱内抽气的面积,进而可及时将储气部件内的各个部位的灰尘及时抽出,不易使灰尘附着到产品表面造成污染,使用的可靠性强,并且本装置在实际使用时,可对灰尘内的微细杂质进行热熔,以降低对环境造成的污染,实用性强。
[0015](2)该种光学真空镀膜机抽气装置之优点在于:通过连接箱、连接管和抽气孔的配合使用,且由于若干个抽气孔分别朝着偏向于抽气管的上端面和下端面排列分布,使本装置在实际使用时,通过抽气扇的同步运作,可同时三个方位的在抽气管内进行抽气,以扩大对储气箱内抽气的面积,进而可及时将储气箱内的各个部位的灰尘及时抽出,不易使灰尘附着到产品表面造成污染,使用的可靠性强。
[0016](3)其次:通过输气管和热熔箱的配合使用,且由于热熔箱内部的四个端面均设置有两层沿着内部端面均匀分布的电热管,并且由于热熔箱顶部的一侧均开设有出气口,使本装置在实际使用时,抽气管抽出的气体可通过输气管传入热熔箱内,进而通过热熔箱内的高温将灰尘内的微细杂质进行热熔,以使微细颗粒融化,进而降低对环境造成的污染,实用性强。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图。
[0018]图2为本技术的抽气副管和连接箱侧视结构示意图。
[0019]图3为本技术的抽气管局部剖面结构示意图。
[0020]图4为本技术的输气管和热熔箱结构示意图。
[0021]图1

4中:1

储气箱;2

连接卡板;3

抽气管;301

抽气副管;3011

抽气扇;302

连接箱;303

连接管;304

抽气孔;305

支撑杆;306

焊接杆;4

输气管;5

热熔箱。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0023]实施例:
[0024]请一并参考图1至图4:
[0025]本实施例提供的一种光学真空镀膜机抽气装置,包括储气箱1、连接卡板2和抽气管3,连接卡板2设有四个且分别两个为一组的固定连接于储气箱1的前后两侧,抽气管3设有四个且分别与连接卡板2贯穿连接,且四个抽气管3分别通过贯穿连接卡板2而与储气箱1贯通连接,四个抽气管3内部的上下两端均设有抽气副管301,八个抽气副管301远离储气箱1的一端均连通设置有连接箱302,每个连接箱302的左右两端均连通设置有连接管303,连
接管303和连接箱302的一端分别均匀开设有若干个抽气孔304,四个抽气管3内部的中端均设有支撑杆305,支撑杆305的上下两端分别均匀分布有若干个焊接杆306,且若干个焊接杆306远离支撑杆305的一端均与抽气副管301固定连接,每个抽气副管301偏向于储气箱1内部中端的一侧和支撑杆305偏向于储气箱1内部中端的一侧末端均转动连接有抽气扇3011,四个抽气管3远离储气箱1的一侧均连通设置有输气管4,且每两个输气管4的顶部之间均连通设置有热熔箱5,并且每个连接箱302均位于抽气副管301与输气管4之间,同时每个输气管4、连接箱302和抽气副管301之间分别为连通设置。
[0026]进一步的,热熔箱5呈长方体状,且热熔箱5内部的四个端面均设置有两层沿着内部端面均匀分布的电热管,并且电热管均与外部电源连接,同时热熔箱5顶部的一侧均开设有出气口,通过此种设计,使本装置在实际使用时,抽气管3抽出的气体可通过输气管4传入热熔箱5内,进而通过热熔箱5内的高温将灰尘内的微细杂质进行热熔,以使微细颗粒融化,使气体在通过出气口排出时,可降低对环境造成的污染,实用性强。
[0027]进一步的,若干个焊接杆306均呈V形状,且若干个焊接杆306依次本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜机抽气装置,包括储气箱(1)、连接卡板(2)和抽气管(3),其特征在于,所述连接卡板(2)设有四个且分别两个为一组的固定连接于储气箱(1)的前后两侧,所述抽气管(3)设有四个且分别与连接卡板(2)贯穿连接,且四个所述抽气管(3)分别通过贯穿连接卡板(2)而与储气箱(1)贯通连接,四个所述抽气管(3)内部的上下两端均设有抽气副管(301),八个所述抽气副管(301)远离储气箱(1)的一端均连通设置有连接箱(302),每个所述连接箱(302)的左右两端均连通设置有连接管(303),所述连接管(303)和连接箱(302)的一端分别均匀开设有若干个抽气孔(304),四个所述抽气管(3)内部的中端均设有支撑杆(305),所述支撑杆(305)的上下两端分别均匀分布有若干个焊接杆(306),且若干个所述焊接杆(306)远离支撑杆(305)的一端均与抽气副管(301)固定连接,每个所述抽气副管(301)偏向于储气箱(1)内部中端的一侧和支撑杆(305)偏向于储气箱(1)内部中端的一侧末端均转动连接有抽气扇(3011),四个所述抽气管(3)远离储气箱(1)的一侧均连通设置有输气管(4),...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴付豪
申请(专利权)人:苏州中磐激光科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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