本实用新型专利技术公开了一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置及包含它的切割液循环装置，锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，包括进口管路、过滤管路和出口管路；过滤管路结构相同、且相互并联的两路以上；每条过滤管路均包括过滤进液管、过滤筒和过滤出液管，过滤筒包括外筒和内筒，内筒活动卡合在外筒内，内筒上分布有微孔，外筒和内筒之间形成滤液腔体，过滤进液管一端与进口管路的出液端连通、另一端通向内筒内，过滤出液管一端与外筒侧壁连通、另一端汇合至出口管路的进液端，过滤筒上游的过滤进液管上设有第一止流阀，过滤筒下游的过滤出液管上设有第二止流阀。上述装置，提高了过滤效果和稳定性；可随时在线拆装过滤筒，提高了产品良率。提高了产品良率。提高了产品良率。
【技术实现步骤摘要】
一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置及包含它的切割液循环装置
[0001]本技术涉及一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置及包含它的切割液循环装置，属于锗晶体多线切割
技术介绍
[0002]为了降低生产成本，节约资源，现有技术中，在进行锗晶体多线切割时，会将切割液过滤后，循环使用。现有的过滤方法为在回流管的出口处安装过滤网进行过滤，为了满足回流使用的要求，过滤网的孔径需要很小，很容易发生堵网的情况，一旦出现堵网情况，必须采用停机处理方法进行滤网清洗，容易出现锯纹及报废现象。也有通过更换孔径大一号的滤网来解决堵塞问题，但由于大一号的过滤网孔径变大，时有细残渣过滤不掉而产生跳线并引起断线的情况发生。
技术实现思路
[0003]本技术提供一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置及包含它的切割液循环装置，大大降低了停机、跳线等问题的发生，减免了停机过程中产生的锯纹，提高了生产效率，降低了报废率。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案如下：
[0005]一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，包括进口管路、过滤管路和出口管路；过滤管路结构相同、且相互并联的两路以上；每条过滤管路均包括过滤进液管、过滤筒和过滤出液管，过滤筒包括外筒和内筒，内筒活动卡合在外筒内，内筒上分布有微孔，外筒和内筒之间形成滤液腔体，过滤进液管一端与进口管路的出液端连通、另一端通向内筒内，过滤出液管一端与外筒侧壁连通、另一端汇合至出口管路的进液端，过滤筒上游的过滤进液管上设有第一止流阀，过滤筒下游的过滤出液管上设有第二止流阀。
[0006]上述出口管路用于回流切割液的输入，过滤管路用于回流切割液的过滤，进口管路用于过滤后切割液的输出。
[0007]上述并联了多路过滤管路，各路过滤管路启停方便，当某一过滤筒被堵、影响到切割液的通过时，可关闭所在过滤管路上的止流阀，进行清洗更换，而不影响其他过滤管路的正常运行，无需停机作业，避免了停机而产生的锯纹和台阶现象，实现了在线拆装、清洁、更换过滤筒的效果，提升了产品良率。
[0008]上述过滤筒通过微滤的方式进行过滤，回流液先进入内筒，经微滤渗透，滤液进入到滤液腔体内，而杂质留在内筒内，可以有效过滤回流液中的大颗粒及渣滓，进而确保生产的顺利进行。
[0009]本申请“多向”，指并联了多路过滤管路，可在各过滤管路之间任意切换。
[0010]本申请各管路，一端为进液端、另一端为出液端。
[0011]为了提高内筒的结构强度，延长使用寿命，内筒为金属微孔结构或陶瓷微孔结构。
[0012]为了很好地满足回流液使用需求，内筒上微孔孔径为1μm～30μm，优选为5μm～20μm。
[0013]为了满足一般生产需求，过滤管路结构相同、且相互并联的两路。这样可一用一备，当一路过滤管路发生堵塞问题时，可启动另一路过滤管路，将堵塞的过滤管路停掉，进行清洁或更换，确保了生产的连续性，无需停机操作，避免了因停机而导致的质量等一系列问题。
[0014]一种锗晶体切割液循环装置，包括上述锗晶体多线切割双向在线可拆卸过滤装置，还包括供液管、供液缸、供液泵、多线切割机、回流管、回流缸和回流泵；供液管一端伸入与液缸内、另一端通向多线切割机，供液泵设在供液管上，供液缸内设有搅拌装置；回流管一端与多线切割机的出液口连通、另一端通向回流缸内；进口管路的进液端伸入回流缸内，回流泵设在进口管路上；出口管路的出液端通向供液缸。
[0015]为了延长过滤筒的使用时间，回流管位于回流缸内一端端部设有回流粗过滤网。回流粗过滤网的孔径为70～80目。
[0016]为了方便液位的观察，供液缸和回流缸上均设有液位计。
[0017]本技术未提及的技术均参照现有技术。
[0018]本技术锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，采用筒式微滤方法，筒式滤芯过滤相比普通袋式滤芯及网式滤芯过滤效果要好、且稳定，不易膨胀变形、不易损坏；可随时在线拆装、清洁、更换过滤筒，机动性要好，避免了因停机而产生的锯纹、台阶及报废，使得切割过程更加稳定可靠，提高了产品良率。
附图说明
[0019]图1为本技术包括锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置的切割液循环装置；
[0020]图中，1为进口管路，2为过滤管路，21为过滤进液管，22为过滤筒，221为内筒，222为外筒，23为过滤出液管，24为第一止流阀，25为第二止流阀，3为出口管路，4为供液管，5为供液缸，51为搅拌装置，6为供液泵，7为液位计，8为回流管，9为回流缸，10为回流泵，11为切割液。
具体实施方式
[0021]为了更好地理解本技术，下面结合实施例进一步阐明本技术的内容，但本技术的内容不仅仅局限于下面的实施例。
[0022]本申请“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等方位词为基于附图所示或使用状态时的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0023]实施例1
[0024]如图1所示，一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，包括进口管路、过滤管路和出口管路；过滤管路结构相同、且相互并联的两路；每条过滤管路均包括过滤进液管、过滤筒和过滤出液管，过滤筒包括外筒和内筒，内筒活动卡合在外筒内，内筒上分布有
微孔，外筒和内筒之间形成滤液腔体，过滤进液管一端与进口管路的出液端连通、另一端通向内筒内，过滤出液管一端与外筒侧壁连通、另一端汇合至出口管路的进液端，过滤筒上游的过滤进液管上设有第一止流阀，过滤筒下游的过滤出液管上设有第二止流阀。
[0025]上述并联了两路过滤管路，可一用一备，当一路过滤管路发生堵塞问题时，可启动另一路过滤管路，将堵塞的过滤管路停掉，进行清洁或更换，确保了生产的连续性，无需停机操作，避免了因停机而导致的质量等一系列问题，实现了在线拆装、清洁、更换过滤筒的效果，提升了产品良率。
[0026]上述过滤筒通过微滤的方式进行过滤，回流液先进入内筒，经微滤渗透，滤液进入到滤液腔体内，而杂质留在内筒内，可以有效过滤回流液中的大颗粒及渣滓，进而确保生产的顺利进行。
[0027]实施例2
[0028]在实施例1的基础上，进一步作了如下改进：为了提高内筒的结构强度，延长使用寿命，内筒为金属微孔结构或陶瓷微孔结构。为了很好地满足回流液使用需求，内筒上微孔孔径为5μm～20μm。
[0029]一种锗晶体切割液循环装置，包括上述锗晶体多线切割双向在线可拆卸过滤装置，还包括供液管、供液缸、供液泵、多线切割机、回流管、回流缸和回流泵；供液管一端伸入与液缸内、另一端通向多线切割机，供液泵设在供液管上，供液缸内设有搅拌装置；回流管一端与多线切割机的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，其特征在于：包括进口管路、过滤管路和出口管路；过滤管路结构相同、且相互并联的两路以上；每条过滤管路均包括过滤进液管、过滤筒和过滤出液管，过滤筒包括外筒和内筒，内筒活动卡合在外筒内，内筒上分布有微孔，外筒和内筒之间形成滤液腔体，过滤进液管一端与进口管路的出液端连通、另一端通向内筒内，过滤出液管一端与外筒侧壁连通、另一端汇合至出口管路的进液端，过滤筒上游的过滤进液管上设有第一止流阀，过滤筒下游的过滤出液管上设有第二止流阀。2.如权利要求1所述的锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，其特征在于：内筒为金属微孔结构或陶瓷微孔结构。3.如权利要求1或2所述的锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，其特征在于：内筒上微孔孔径为1μm～30μm。4.如权利要求3所述的锗晶体多线切割多向在线可拆卸过滤装置，其特征在于：内筒上微孔孔径为5μm～20μm。5.如权利要求1或2所述的锗晶体多线切割...
【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，刘兴达，柯尊斌，王卿伟，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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