载板回传装置和镀膜载板回传系统制造方法及图纸

本申请实提供了一种载板回传装置和镀膜载板回传系统，属于光伏电池制备技术领域，载板回传装置包括机架以及设置于机架两端的载板进口和载板出口，机架内部设有平铺的托盘，托盘在机架内的水平位置低于载板进口和载板出口的位置；托盘上中间区域固定设有第一加热盘；托盘上还设有第一温度反馈部件，第一温度反馈部件靠近第一加热盘；机架沿载板传输方向的两侧设有传输机构，传输机构用于传输载板，以使得载板从托盘的上方通过。通过本申请的处理方案，减少载板传输过程中温度流失，提升工艺节拍时间，提高载板使用寿命。提高载板使用寿命。提高载板使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
载板回传装置和镀膜载板回传系统


[0001]本申请涉及光伏电池制备
，尤其涉及一种载板回传装置和镀膜载板回传系统。

技术介绍

[0002]随着科技的进步，光伏产业在不断的发展，对其制备工艺也提出了更高的要求。现有光伏生产线的镀膜设备，例如PECVD、LPCVD、PVD、RPD等设备，载板是重复利用的部件，在镀膜设备中根据工艺流程将硅片输送到对应的工艺腔室，直至镀膜工艺制备完成。每一轮制备工艺完成，硅片卸料后，需要将载板回传到入料端重新上料，即重新在载板上放置新的硅片，或者使载板进行其他工序。一般情况下，制备工艺中所需温度为190
‑
220℃(不同工艺温度要求不同)，卸料后载板在回传过程中温度会流失，到达入料端时温度仅在80℃左右，造成工艺制程中的温差较大，载板在工艺制程前的真空腔加热时间会较长，从而影响工艺节拍；而且，载板冷热变化温差大，长期使用会影响载板寿命。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种载板回传装置和镀膜载板回传系统，至少部分解决现有技术中存在的问题。
[0004]本技术提供了一种载板回传装置，包括机架以及设置于所述机架两端的载板进口和载板出口，
[0005]所述机架内部设有平铺的托盘，所述托盘在所述机架内的水平位置低于所述载板进口和所述载板出口的位置；
[0006]所述托盘至少在中间区域固定设有第一加热盘；
[0007]所述托盘上还设有第一温度反馈部件，所述第一温度反馈部件靠近所述第一加热盘；
[0008]所述机架沿所述载板传输方向的两侧设有传输机构，所述传输机构用于传输所述载板，以使得所述载板从所述托盘的上方通过。
[0009]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述托盘沿载板传输方向的两侧分别设有第二加热盘；所述托盘上还设有第二温度反馈部件，所述第二温度反馈部件靠近所述第二加热盘。
[0010]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述第一加热盘设置为蛇形结构，所述蛇形结构的多个凹部、凸部均匀分布；
[0011]所述第二加热盘设置为蛇形结构，所述蛇形结构的多个凹部、凸部均匀分布。
[0012]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述传输机构包括传动电机、传动轴承、传动辊、同步带和同步轮；
[0013]所述传动辊沿所述载板传输方向均匀的设置有若干个；
[0014]所述机架相对的两侧壁沿所述载板传输方向对应均匀的开设有通孔，所述传动轴
承设置于所述通孔中，所述传动轴承用于支撑所述传动辊；
[0015]所述传动电机、所述同步带、所述同步轮均位于所述机架侧壁外侧，每一所述传动辊位于机架侧壁外侧的一端均连接有所述同步轮，位于单侧其中一边界的所述同步轮连接所述传动电机，所述同步带套设于所述同步轮外，非端头的每一所述同步轮均连接相邻的两根所述同步带。
[0016]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述传动辊位于所述机架侧壁内侧的一端部分且仅部分位于所述托盘的正投影范围内，位于所述托盘的正投影范围内的所述传动辊间隔套有耐高温垫圈。
[0017]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述耐高温垫圈采用硅胶掺杂材料形成。
[0018]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述耐高温垫圈的层截面形状为方形。
[0019]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述托盘下方设有若干个托盘支撑座，所述托盘支撑座与所述机架的底部连接，所述托盘与所述托盘支撑座通过托盘固定件连接，所述托盘固定件包括托盘固定螺栓和托盘固定卡。
[0020]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述托盘靠近所述载板进口的一侧设有第三加热盘，所述第三加热盘临近设置有第三温度反馈部件。
[0021]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述第一加热盘、所述第二加热盘或所述第三加热盘与所述托盘之间通过加热盘固定卡连接。
[0022]根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述机架上方设有可拆卸连接的盖板。
[0023]本技术还提供了一种镀膜载板回传系统，其包括多个上述的载板回传装置，前一所述载板回传装置的所述载板出口与下一所述载板回传装置的所述载板进口接驳。
[0024]有益效果
[0025]根据本技术提供的载板回传装置，通过在载板回传装置的机架内部设置加热组件，可有效的减少载板在传输过程中的温度流失，缩短载板在工艺制程前的真空腔中加热的时间，提升工艺节拍时间；镀膜载板回传系统内通过设置多级的载板回传装置，使载板加热模块化，阶梯升温，减少载板频繁变化的大温差范围，有效提高载板使用寿命，方便组装和维护。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0027]图1为现有技术的载板回传装置示意图；
[0028]图2为根据本技术一实施例的载板回传装置的俯视图；
[0029]图3为根据本技术一实施例的载板回传装置的主视图；
[0030]图4为根据本技术一实施例的镀膜载板回传系统的俯视图；
[0031]图中：101、机架；102、驱动组件；103、传动组件；104；传动滚轴；105、载板进口；106、载板出口；2、托盘；3、第一加热盘；4、第一热电偶；5、第二加热盘；6、第二热电偶；7、第三加热盘；8、托盘固定卡；9、加热盘固定卡；10、加热盘接线端子；11、热电偶接线端子；12、
传动辊；13、耐高温垫圈；14、同步带；15、同步轮；16、传动轴承；17、传动电机；18、托盘支撑座；19、托盘固定螺栓。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0033]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0034]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载板回传装置，包括机架以及设置于所述机架两端的载板进口和载板出口，其特征在于，所述机架内部设有平铺的托盘，所述托盘在所述机架内的水平位置低于所述载板进口和所述载板出口的位置；所述托盘至少在中间区域固定设有第一加热盘；所述托盘上还设有第一温度反馈部件，所述第一温度反馈部件靠近所述第一加热盘；所述机架沿所述载板传输方向的两侧设有传输机构，所述传输机构用于传输所述载板，以使得所述载板从所述托盘的上方通过。2.根据权利要求1所述的载板回传装置，其特征在于，所述托盘沿所述载板传输方向的两侧分别设有第二加热盘；所述托盘上还设有第二温度反馈部件，所述第二温度反馈部件靠近所述第二加热盘。3.根据权利要求2所述的载板回传装置，其特征在于，所述第一加热盘设置为蛇形结构，所述蛇形结构的多个凹部、凸部均匀分布；所述第二加热盘设置为蛇形结构，所述蛇形结构的多个凹部、凸部均匀分布。4.根据权利要求1所述的载板回传装置，其特征在于，所述传输机构包括传动电机、传动轴承、传动辊、同步带和同步轮；所述传动辊沿所述载板传输方向均匀的设置有若干个；所述机架相对的两侧壁沿所述载板传输方向对应均匀的开设有通孔，所述传动轴承设置于所述通孔中，所述传动轴承用于支撑所述传动辊；所述传动电机、所述同步带、所述同步轮均位于所述机架侧壁外侧，每一所述传动辊位于机架侧壁外侧的一端均连接有所述同步轮，位于单侧其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建晓，
申请(专利权)人：安徽华晟新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：