一种具有散热功能的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有散热功能的真空镀膜机，涉及真空镀膜机领域。本实用新型专利技术包括底座、真空镀膜机、密封门、抽水泵以及水箱，真空镀膜机以及水箱为中空结构，底座包括底座本体以及电机箱，电机箱上表面与底座本体下表面焊接，真空镀膜机包括真空镀膜机本体、第一密封圈以及第二密封圈，真空镀膜机本体一表面设有第一通孔以及第二通孔，第一密封圈一表面安装于第一通孔内，第二密封圈安装于第二通孔内，密封门一表面与真空镀膜机本体一表面连接，抽水泵一表面安装于水箱一表面。本实用新型专利技术的主要目的在于提供一种具有散热功能的真空镀膜机,通过设置制冷箱、抽水管和回收管形成冷却水循环系统从而达到散热的效果，循环利用水资源也更加环保。用水资源也更加环保。用水资源也更加环保。

【技术实现步骤摘要】
一种具有散热功能的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机领域，特别涉及一种具有散热功能的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具有很多种类型，例如真空离子蒸发、磁控溅射等，主要思路分为蒸发和溅射两种，蒸发镀膜机是加热靶材使表面组分以原子团或者离子的形式蒸发出来从而沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，而溅射类镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]现有的一些真空镀膜机由于缺乏散热的功能使得真空镀膜机内腔具有较高的温度，温度过高会造成镀膜效果差、粗糙无光以及镀膜机使用寿命缩短等结果，因此现有的缺乏散热功能的真空镀膜机存在一定的局限性。为此，我们提出一种具有散热功能的真空镀膜机。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种具有散热功能的真空镀膜机,通过设置制冷箱、抽水管和回收管形成冷却水循环系统从而达到散热的效果，循环利用水资源也更加环保。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种具有散热功能的真空镀膜机，包括底座、真空镀膜机、密封门、水箱以及抽水泵，所述真空镀膜机以及水箱为中空结构，所述底座包括底座本体以及电机箱，所述电机箱上表面与底座本体下表面焊接，所述真空镀膜机包括真空镀膜机本体、第一密封圈以及第二密封圈，所述真空镀膜机本体一表面设有第一通孔以及第二通孔，所述第一密封圈一表面安装于第一通孔内，所述第二密封圈安装于第二通孔内，所述密封门一表面与真空镀膜机本体一表面连接，所述抽水泵一表面安装于水箱一表面。
[0006]优选地，所述底座还包括支腿以及电机，所述底座本体下表面设有若干固定槽，若干所述支腿一端分别安装于固定槽内，所述电机安装于电机箱内部一表面，设置若干支腿增加装置的稳定性。
[0007]优选地，所述真空镀膜机还包括抽水管以及回收管，所述抽水管一端安装于第一密封圈一表面，回收管一端安装于第二密封圈一表面，设置抽水管是为了给真空镀膜机提供冷却水降温，设置回收管是为了带走吸热之后的水重新回到水箱达到散热效果。
[0008]优选地，所述密封门包括密封门本体、手柄以及观察镜，所述手柄两端均安装于密封门本体一表面，所述密封门本体一表面设有安装孔，所述观察镜安装于安装孔内，设置观察镜可以有效观察到真空镀膜机内部的工作情况。
[0009]优选地，所述抽水泵包括抽水泵本体、支撑板以及加强板，所述水箱一表面设有限位槽，所述支撑板一表面安装于限位槽内，所述加强板安装于水箱与支撑板之间，所述抽水
泵本体下表面安装于支撑板上表面，设置加强板是为了提高支撑板的稳定性。
[0010]优选地，所述水箱包括水箱本体、第三密封圈、第四密封圈、制冷箱以及控制面板，所述水箱本体一表面设有第三通孔以及第四通孔，所述第三密封圈一表面安装于第三通孔内，所述第四密封圈一表面安装于第四通孔内，所述制冷箱上表面与水箱本体下表面连接，所述制冷箱下表面安装于底座本体上表面，所述水箱本体一表面设有安装槽，所述控制面板一表面安装于安装槽内，设置制冷箱能够维持水温在一定范围内。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]本技术中，通过设置制冷箱能够有效的维持水温在一定范围内，从而带走真空镀膜机内部的热量达到散热的效果。
[0013]本技术中，设置抽水管和回收管形成水循环系统能够做到散热且环保的效果。
附图说明
[0014]图1为本技术一种具有散热功能的真空镀膜机的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术一种具有散热功能的真空镀膜机的前视结构示意图；
[0016]图3为本技术一种具有散热功能的真空镀膜机的右视结构示意图；
[0017]图4为本技术一种具有散热功能的真空镀膜机的图3E
‑
E处剖视结构示意图。
[0018]图中：1、底座；101、支腿；102、电机箱；103、电机；2、真空镀膜机； 201、第一密封圈；202、第二密封圈；203、抽水管；204、回收管；3、密封门；301、手柄；302、观察镜；4、抽水泵；401、支撑板；402、加强板；5、水箱；501、第三密封圈；502、第四密封圈；503、制冷箱；504、控制面板。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]实施例一：
[0023]请参照图1—4所示，本技术为一种具有散热功能的真空镀膜机，包括底座1、真空镀膜机2、密封门3、抽水泵4以及水箱5，真空镀膜机2以及水箱5为中空结构，底座1包括底座本体以及电机箱102，电机箱102上表面与底座本体下表面焊接，真空镀膜机2包括真空
镀膜机本体、第一密封圈201以及第二密封圈202，真空镀膜机本体一表面设有第一通孔以及第二通孔，第一密封圈201一表面安装于第一通孔内，第二密封圈202安装于第二通孔内，密封门3一表面与真空镀膜机本体一表面连接，抽水泵4一表面安装于水箱5一表面。
[0024]进一步地，底座1还包括支腿101以及电机103，底座本体下表面设有若干固定槽，若干支腿101一端分别安装于固定槽内，电机103安装于电机箱102内部一表面，设置若干支腿101增加装置的稳定性。
[0025]进一步地，真空镀膜机2还包括抽水管203以及回收管204，抽水管203 一端安装于第一密封圈201一表面，回收管204一端安装于第二密封圈202 一表面，设置抽水管203是为了给真空镀膜机2提供冷却水降温，设置回收管204是为了带走吸热之后的水重新回到水箱5达到散热效果。
[0026]进一步地，密封门3密封门本体、手柄301以及观察镜302，手柄301 两端均安装于密封门本体一表面，密封门本体一表面设有安装孔，观察镜302本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有散热功能的真空镀膜机，包括底座(1)、真空镀膜机(2)、密封门(3)、抽水泵(4)以及水箱(5)，其特征在于：所述真空镀膜机(2)以及水箱(5)为中空结构，所述底座(1)包括底座本体以及电机箱(102)，所述电机箱(102)上表面与底座本体下表面焊接，所述真空镀膜机(2)包括真空镀膜机本体、第一密封圈(201)以及第二密封圈(202)，所述真空镀膜机本体一表面设有第一通孔以及第二通孔，所述第一密封圈(201)一表面安装于第一通孔内，所述第二密封圈(202)安装于第二通孔内，所述密封门(3)一表面与真空镀膜机本体一表面连接，所述抽水泵(4)一表面安装于水箱(5)一表面。2.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的真空镀膜机，其特征在于：所述底座(1)还包括支腿(101)以及电机(103)，所述底座本体下表面设有若干固定槽，若干所述支腿(101)一端分别安装于固定槽内，所述电机(103)安装于电机箱(102)内部一表面。3.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜机(2)还包括抽水管(203)以及回收管(204)，所述抽水管(203)一端安装于第一密封圈(201)一表面，回收管(204)一端安装于第二密封圈(202)一表...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖礼，
申请(专利权)人：曜昀光电科技厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：