一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺制造技术

本发明专利技术提供一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺，包括塑料内包装盒，包括设在塑料内包装盒中的支撑板、多个第一柔性固定件、第二柔性固定件，所述塑料内包装盒上设有透明上盖，所述塑料内包装盒的内壁上设有电气性能检测仪，所述塑料内包装盒的侧面设有操作部，所述微细绝缘式热电偶呈波浪形设在塑料内包装盒中，所述第一柔性固定件用于固定套管，所述第一柔性固定件与支撑板固定连接，所述第二柔性固定件与测温头固定连接，所述热电偶本体的一端与电气性能检测仪相连，所述支撑板上设有容纳固定部的凹槽，所述凹槽中设有阻挡部，所述塑料内包装盒采用硬质塑料。本发明专利技术的固定效果好，微细绝缘式热电偶不易折断或断裂，便于顾客验收。于顾客验收。于顾客验收。

【技术实现步骤摘要】
一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺


[0001]本专利技术涉及刻蚀机用热电偶包装
,具体涉及一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺。

技术介绍

[0002]半导体芯片制造过程中，晶圆加热基座的温度测量非常重要,随着射频工艺的加入,温度的迅速反馈是确定加热功率和冷却功率的关键因素,现有方案都是采用绝缘式铠装热电偶测量晶圆加热基座的实时温度,由于绝缘式铠装热电偶的热响应时间与外径有关,为了更快的热响应速度,在要求极高的环境会使用价格昂贵的套管外径0.2mm～0.5mm的多支装微细绝缘式铠装热电偶，因微细绝缘式热电偶本身强度低，在运输过程中容易损坏。
[0003]目前绝缘式铠装热电偶大多采用塑料包装，塑料包装内有环形槽，将绝缘式铠装热电偶绕圈后放入环形槽中，然后用海绵等减震材料进行包裹，此种包装并不合理，局部受力太大或固定不良，很容易造成密封焊接位置局部断裂导致绝缘下降，同时检测需要完全拆开包装，重新包装时也易断裂，无法判定责任方，容易导致客户遭受巨大的损失，迫切需要开发一种安全的微细绝缘式热电偶的包装工艺，保证运输安全和方便的检测热电偶是否处于正常状态；包装工艺，目前针对微细绝缘式热电偶的包装工艺几乎没有，仅是简单抽真空，而微细绝缘式热电偶应用于半导体工艺时，若时微尘颗粒过多会影响半导体的真空制作环境，而且微尘颗粒会向半导体表面迁徙，因此在运输过程中的防尘性也很重要。

技术实现思路

[0004]本专利技术目的是提供一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺，能够很好地固定微细绝缘式热电偶，防止微细绝缘式热电偶在运输过程中断裂，并且不拆封就能检测微细绝缘式热电偶的电气性能，便于顾客验收，包装工艺则能够提升整个包装结构的密封性。
[0005]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本专利技术所采用的技术方案是：一种微细绝缘式热电偶包装结构，包括塑料内包装盒，所述塑料内包装盒中设有微细绝缘式热电偶，所述微细绝缘式热电偶包括偶丝、套设在偶丝上的套管、测温头、固定部，还包括设在塑料内包装盒中的支撑板、多个第一柔性固定件、第二柔性固定件，所述塑料内包装盒上设有透明上盖，所述塑料内包装盒的内壁上设有电气性能检测仪，所述塑料内包装盒的侧面设有操作部，所述微细绝缘式热电偶呈波浪形设在塑料内包装盒中，所述第一柔性固定件用于固定套管，所述第一柔性固定件与支撑板固定连接，所述第二柔性固定件与测温头固定连接，所述热电偶本体的一端与电气性能检测仪相连，所述支撑板上设有容纳固定部的凹槽，所述凹槽中设有阻挡部，所述塑料内包装盒采用硬质塑料。
[0006]作为优选的技术方案：所述第一柔性固定件为圆形柔性固定件，所述圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成。
[0007]作为优选的技术方案：所述第二柔性固定件为U型柔性固定件，所述U型柔性固定
件夹住测温头。
[0008]作为优选的技术方案：所述阻挡部由两个竖直的方形挡块组成，两个所述挡块间隔设置，所述测温头从两个挡块的中间穿过，所述固定部与挡块固定连接。
[0009]作为优选的技术方案：所述U型柔性固定件上设有固定杆。
[0010]作为优选的技术方案：所述挡块上设有固定杆。
[0011]作为优选的技术方案：所述塑料内包装盒上还套设有外包装箱，所述外包装箱上设有观察口，所述外包装箱的四周设有用于打开和关闭外包装箱的盖板。
[0012]作为优选的技术方案：所述外包装箱的底端设有保护支架，所述保护支架包括保护支架本体，所述保护支架本体为矩形框架结构，所述保护支架本体上设有加强筋。
[0013]本专利技术还提供一种微细绝缘式热电偶包装工艺，使用了权利要求6所述的微细绝缘式热电偶的包装结构，包括以下步骤：
[0014]S1：在千级无尘室将加工好的微细绝缘式热电偶放入塑料内包装盒，将固定部嵌设在凹槽中，并通过阻挡部压紧，将热电偶本体一端与电气性能检测仪1
‑
3连接，使用第二柔性固定件1
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7将测温头固定，使用圆形柔性固定件1
‑
4将热电偶本体固定成波浪形，检测微细绝缘式热电偶的电气性能，没有问题后，盖好透明上盖1
‑
2，使用尼龙袋将塑料内包装盒抽真空进行第一层密封；
[0015]S2：在S1结束后，在万级无尘室使用尼龙袋将S1得到的塑料内包装盒抽真空，进行第二层密封，装入外包装箱中，外包装箱上的观察口要对准电气性能检测仪，再将保护支架安装在外包装箱的底部，再次检测微细绝缘式热电偶的电气性能，没有问题后发货。
[0016]本专利技术的有益效果是：一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺，与传统方案相比：
[0017]1)通过多个第一柔性固定件将微细绝缘式热电偶固定成波浪形，取代绕圈的方式，防止过度弯曲而损坏，再利用第二柔性固定件保护测温头，第一柔性固定件和第二柔性固定件还具有减振的作用，支撑板的凹槽用于容纳微细绝缘式热电偶上的固定部，并采用阻挡部对固定部进行固定，此包装结构固定效果好，能够很好地保护微细绝缘式热电偶；电气性能检测仪还能对微细绝缘式热电偶进行电气性能检测，通过操作块进行操作，无需打开塑料内包装盒即可完成检测，设置的透明上盖也能观察微细绝缘式热电偶的状态；
[0018]2)优选的，第一柔性固定件为圆形柔性固定件，且圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成，由于微细绝缘式热电偶柔软，会弯曲，因此圆形柔性固定片的固定范围更大，更适合柔软的微细绝缘式热电偶；第二柔性固定件为U型柔性固定件，结构简单，固定效果好；
[0019]3)优选的，外包装箱上设有观察口，可以在观察口处在操作块上操作，检测微细绝缘式热电偶的电气性能；
[0020]4)优选的，保护支架能够进一步保护外包装箱，有减振的效果；
[0021]5)包装工艺采用两层真空密封提升防尘性和密封性。
附图说明
[0022]图1为塑料内包装盒的结构图；
[0023]图2为塑料内包装盒的三维图；
[0024]图3为图2中局部A的放大图；
[0025]图4为外包装箱的三维图；
[0026]图5为保护支架的三维图；
[0027]图6为实施例结构图。
[0028]在图1
‑
6中，1、塑料内包装盒；1
‑
1、第一柔性固定件；1
‑
2、透明上盖；1
‑
3、电气性能检测仪；1
‑
4、第二柔性固定件；1
‑
5、支撑板；1
‑
51、凹槽；1
‑
6、阻挡部；1
‑
61、挡块；2、外包装箱；2
‑
1、盖板；2
‑
2、观察口；3、保护支架；3
‑
1、保护支架本体；3
‑
2、加强筋；4、微细绝缘式热电偶；4
‑
1、套管；4
‑
2、固定部；5、固定杆。
具体实施方式...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微细绝缘式热电偶包装结构，包括塑料内包装盒(1)，所述塑料内包装盒(1)中设有微细绝缘式热电偶(4)，所述微细绝缘式热电偶(4)包括偶丝、套设在偶丝上的套管(4
‑
1)、测温头、固定部(4
‑
2)，其特征在于：还包括设在塑料内包装盒(1)中的支撑板(1
‑
5)、多个第一柔性固定件(1
‑
1)、第二柔性固定件(1
‑
4)，所述塑料内包装盒(1)上设有透明上盖(1
‑
2)，所述塑料内包装盒(1)的内壁上设有电气性能检测仪(1
‑
3)，所述塑料内包装盒(1)的侧面设有操作部，所述微细绝缘式热电偶(4)呈波浪形设在塑料内包装盒(1)中，所述第一柔性固定件(1
‑
1)用于固定套管(4
‑
1)，所述第一柔性固定件(1
‑
1)与支撑板(1
‑
5)固定连接，所述第二柔性固定件(1
‑
4)与测温头固定连接，所述热电偶本体的一端与电气性能检测仪(1
‑
3)相连，所述支撑板(1
‑
5)上设有容纳固定部(4
‑
2)的凹槽(1
‑
51)，所述凹槽(1
‑
51)中设有阻挡部(1
‑
6)，所述塑料内包装盒(1)采用硬质塑料。2.根据权利要求1所述的一种微细绝缘式热电偶包装结构，其特征在于：所述第一柔性固定件(1
‑
1)为圆形柔性固定件，所述圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成。3.根据权利要求1所述的一种微细绝缘式热电偶包装结构，其特征在于：所述第二柔性固定件(1
‑
4)为U型柔性固定件，所述U型柔性固定件夹住测温头。4.根据权利要求1所述的一种微细绝缘式热电偶包装结构，其特征在于：所述阻挡部(1
‑
6)由两个竖直的方形挡块(1
‑
61)组成，两个所述挡块(1
‑
61)间隔设置，所述测温头从两个挡块(1
‑
61)的中间穿过，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾坤良，游利，管明月，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：