一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及工装治具领域，公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，包括：用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件。本实用新型专利技术通过流水线和推料机构将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并通过定位组件对其进行准确定位，员工可一次放置多个晶圆片于流水线上，然后只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置


[0001]本技术涉及工装治具领域，尤其是一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置。

技术介绍

[0002]使用再制造的晶圆料片进行制造加工成符合要求的晶圆片，需要对晶圆料片进行切割、研磨、倒角等加工工序。现市场上通常使用的晶圆片倒角设备，通过人工将待加工的晶圆片放置于用于放置晶圆片的支撑盘中，固定，进行倒角工序，等待倒角完后，再将加工完的晶圆片取出。在倒角过程中，员工处于等待闲置状态，导致工作效率低下；同时使用人工定位放置，不仅会出现定位不准，产生质量问题，而且还浪费人力，降低工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，能够将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并进行准确定位，员工只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其包括用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件；所述旋转组件设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台上；所述推料机构设置于流水线的侧边。所述定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆和用于限制晶圆片前端位置的触控开关；所述定位杆可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆接触的传感器；所述触控开关设置于旋转组件的正前方。
[0006]进一步地，所述定位杆上设有与晶圆片相配合的定位槽，所述定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。
[0007]进一步地，所述推料机构包括固定架、气缸和推块。所述气缸固定于固定架上，气缸的轴端与推块连接。
[0008]进一步地，所述推块上设置有与晶圆片相配合的推槽。所述推槽内设置有用于保护晶圆片的缓冲胶。
[0009]进一步地，所述固定架与流水线的架体连接。
[0010]进一步地，所述旋转组件包括旋转电机、真空发生器和支撑盘。所述支撑盘设置于真空发生器上端，支撑盘上设置有若干与真空发生器相匹配的气孔，所述真空发生器与旋转电机的轴端连接。所述旋转电机与晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台连接。所述触控开关通过有线或无线与真空发生器连接，用于控制真空发生器的启停。
[0011]本技术的有益之处为：
[0012]1、本技术通过流水线和推料机构将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并通过定位组件对其进行准确定位，员工可一次放置多个晶圆片于流水线上，然后只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。
[0013]2、本用新型中触控开关的设置，不仅起到对晶圆片前端限位的作用，而且还起到真空发生器开关的作用。当晶圆片推到与触控开关接触后，触控开关闭合，打开旋转组件的真空发生器将待加工的晶圆片牢牢吸附于支撑盘上，方便快捷。
[0014]3、本技术的定位杆和推块上分别设置有与晶圆片相配合的定位槽和推槽，定位槽和推槽上分别设置有光滑垫条和缓冲胶，不仅能够更好的保护产品，而且还使得输送晶圆片过程中更加稳定。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图。
[0016]主要组件符号说明：
[0017]1、流水线；
[0018]2、旋转组件，21、旋转电机，22、真空发生器，23、支撑盘，24、气孔；
[0019]3、推料机构，31、固定架，32、气缸，33、推块；
[0020]4、定位组件，41、定位杆，42、传感器，43、触控开关；
[0021]5、平面坐标移动平台；
[0022]6、晶圆片。
具体实施方式
[0023]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细的描述。
[0024]如图1所示，本技术公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其包括用于运输晶圆片的流水线1、用于放置晶圆片的旋转组件2、用于将流水线1中的晶圆片推入旋转组件2中的推料机构3、以及用于限制晶圆片位置的定位组件4。
[0025]旋转组件2设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台5上。旋转组件2包括旋转电机21、真空发生器22和支撑盘23。支撑盘23设置于真空发生器22上端，支撑盘23上设置有若干与真空发生器22相匹配的气孔24，真空发生器22与旋转电机21的轴端连接。旋转电机21与晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台5连接。
[0026]推料机构3设置于流水线1的侧边。推料机构3包括固定架31、气缸32和推块33。气缸32固定于固定架31上，气缸32的轴端与推块33连接。固定架31与流水线1的架体连接。
[0027]定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆41和用于限制晶圆片前端位置的触控开关43。
[0028]触控开关43设置于旋转组件2的正前方，触控开关43通过有线或无线与真空发生器22连接，用于控制真空发生器22的启停。触控开关43的设置，不仅起到对晶圆片6前端限位的作用，而且还起到真空发生器22开关的作用。当晶圆片6推到与触控开关43接触后，触控开关43闭合，打开旋转组件2的真空发生器22将待加工的晶圆片6牢牢吸附于支撑盘23
上，方便快捷。
[0029]定位杆41可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆41上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆41接触的传感器42，传感器42可使用漫反射传感器、红外线传感器或者接近开关。
[0030]为了更好的保护产品和输送晶圆片6过程中更加稳定，定位杆41上设有与晶圆片相配合的定位槽，定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。推块33上设置有与晶圆片相配合的推槽。所述推槽内设置有用于保护晶圆片的缓冲胶。
[0031]工作原理：
[0032]使用前，先对设备的平面坐标移动平台5进行位置矫正，使得晶圆片的一侧贴于定位杆41上时，推块33、待加工晶圆片6、支撑盘23和触控开关43的中心线处于同一条直线上。然后将待加工的晶圆片6依次放置于流水线1上，流水线1将晶圆片6输送到流水线1终端，当传感器42检测到晶圆片6与定位杆41接触时，停止流水线1运行，同时检测到支撑盘23处于待机位置时，则启动推料机构3，将晶圆片6缓慢推入支撑盘23中，当晶圆片6的前端与触控开关43接触时，触控开关43闭合，启动真空发生器22将晶圆片6吸附于支撑盘23中，同时将推料机构3收回。当推杆收回到位后，再次启动流水线1，将晶圆片6输送于流水线1终端。
[0033]综上，本技术通过流水线和推本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于：包括用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件；所述旋转组件设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台上；所述推料机构设置于流水线的侧边；所述定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆和用于限制晶圆片前端位置的触控开关；所述定位杆可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆接触的传感器；所述触控开关设置于旋转组件的正前方。2.根据权利要求1所述的适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其特征在于：所述定位杆上设有与晶圆片相配合的定位槽，所述定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。3.根据权利要求1所述的适用于晶圆片倒角的自动进料定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，洪章源，
申请(专利权)人：厦门陆远科技有限公司，
类型：新型
国别省市：