一种过滤结构及尾气管路系统技术方案

本申请提供了一种过滤结构及尾气管路系统，过滤结构包括：壳体、进气接口、出气接口、冷却组件及过滤件，进气接口、出气接口、冷却组件及过滤件分别设于壳体上，进气接口及出气接口分别连接尾气管路系统中的管路，冷却组件用于对从进气接口进入壳体中的尾气进行冷却，过滤件位于出气接口与冷却组件之间，过滤件用于对冷却后的尾气进行过滤净化，出气接口用于使过滤后的尾气排出壳体。过滤结构可对高温尾气进行冷却，并过滤掉大部分副产物，使得尾气管路系统后续的元器件接触的尾气温度降低，沉积在其上的副产物减少，减少了由于副产物沉积而导致的元器件卡死现象，从而对其进行了保护，延长了元器件的维护周期，并延长了元器件的使用寿命。寿命。寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种过滤结构及尾气管路系统


[0001]本申请涉及半导体材料制造领域，尤其涉及一种过滤结构及尾气管路系统。

技术介绍

[0002]近年来，碳化硅材料由于耐高压、耐高温、低能耗的性能，满足现阶段功率器件的需求，成为当前半导体材料领域最具前景的材料之一。随着技术的进步，碳化硅晶圆作为衬底材料已逐步进入产业化的阶段，但因为碳化硅功率器件与传统硅功率器件不同，不能直接在单晶材料上制作，必须在高质量的碳化硅外延层上制造器件，所以，碳化硅外延层的质量和良率直接制约高功率器件的发展。
[0003]目前碳化硅外延的主要技术是化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)。但是化学气相沉积在单晶晶圆上沉积出高质量的外延层的同时，也会产出部分副产物，这些副产物会缩短碳化硅外延设备的维护周期，需要频繁的进行清理。尾气管路结构是CVD设备上对副产物进行排出的重要部分，结构上多采用蝶阀/节流阀控制抽速，配合流量计和真空计来实现反应腔室的压力控制。由于CVD工艺的性质，反应室排出的尾气中包含了多余的反应源、化学源载气、压力补充气体、和工艺反应的副产物。这些混合气体伴随着高温会在器件及管壁上沉积。而蝶阀作为限制流速的主要器件，其阀板受影响最大，长时间的副产物沉积会导致阀板卡死，导致蝶阀失效，需要定期拆卸进行清理维护，影响设备产能，而一些其他功能件的使用寿命也会变短。

技术实现思路

[0004]为克服现有技术中的不足，本申请提供一种过滤结构及尾气管路系统。
[0005]本申请提供的一种过滤结构，用于尾气管路系统中，包括：壳体、进气接口、出气接口、冷却组件及过滤件，所述进气接口、所述出气接口、所述冷却组件及所述过滤件分别设于所述壳体上，所述进气接口及所述出气接口分别连接所述尾气管路系统中的管路，所述冷却组件用于对从所述进气接口进入所述壳体中的尾气进行冷却，所述过滤件位于所述出气接口与所述冷却组件之间，所述过滤件用于对冷却后的尾气进行过滤净化，所述出气接口用于使过滤后的尾气排出所述壳体。
[0006]在一种可能的实施方式中，所述过滤结构还包括设于所述壳体内的分隔架，所述分隔架将所述壳体分隔成冷却层及过滤层，所述进气接口、所述冷却组件位于所述冷却层，所述出气接口及所述过滤件位于所述过滤层。
[0007]在一种可能的实施方式中，所述分隔架包括分隔板及支撑柱，所述分隔板设于所述支撑柱上，所述分隔板将所述壳体分隔成位于所述分隔板下侧的所述冷却层及位于所述分隔板上侧的所述过滤层，所述分隔板上设有用于连通所述冷却层及所述过滤层的连通孔。
[0008]在一种可能的实施方式中，所述过滤结构还包括排污组件，所述排污组件位于所述冷却层，所述排污组件用于对所述壳体中的杂质进行回收。
[0009]在一种可能的实施方式中，所述排污组件包括排污接口及收集件，所述排污接口设于所述壳体的底部，所述排污接口一侧与所述壳体连接，另一侧连接所述收集件。
[0010]在一种可能的实施方式中，所述过滤结构还包括内衬层，所述内衬层设于所述壳体的内壁，所述内衬层用于防止杂质吸附于所述壳体内壁，以便于对杂质进行去除。
[0011]在一种可能的实施方式中，所述分隔架包括分隔板及连通管，所述分隔板设于所述过滤件上，所述分隔板将所述壳体分隔成位于所述分隔板上侧的所述冷却层及位于所述分隔板下侧的所述过滤层，所述连通管穿设于所述分隔板上，所述连通管一侧位于所述冷却层中且靠近壳体的顶部，另一侧位于所述过滤层中。
[0012]在一种可能的实施方式中，所述冷却组件包括冷却管路及密封法兰，所述密封法兰设于所述壳体的侧壁上，所述冷却管路设于所述冷却层中，所述冷却管路一侧与所述密封法兰连接，另一侧朝向所述进气接口延伸。
[0013]本申请还提供一种尾气管路系统，包括尾气管路及上述的过滤结构、蝶阀及第一泵，其中，所述过滤结构、所述蝶阀及所述第一泵依次设于所述尾气管路上。
[0014]在一种可能的实施方式中，所述过滤结构的进气端及出气端均设有手阀，所述过滤结构的管路上还并联设有单向阀。
[0015]相比现有技术，本申请的有益效果：
[0016]上述过滤结构通过冷却组件可对高温尾气进行有效的冷却，并过滤掉大部分吸附性强的冷凝物质及颗粒等副产物，过滤件对冷却后的尾气进行过滤净化，使得尾气管路系统后续的元器件接触的尾气温度降低，沉积在其上的副产物减少，较大程度的减少了由于副产物沉积而导致的元器件卡死现象，从而对其进行了保护，延长了元器件的维护周期，减少了元器件的损伤几率，并延长了元器件的使用寿命。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1示出了本申请实施例一提供的一种过滤结构的结构示意图；
[0019]图2示出了图1所示过滤结构的部分分解示意图；
[0020]图3示出了图1所示过滤结构的剖视图；
[0021]图4示出了本申请实施例二提供的一种过滤结构的结构示意图；
[0022]图5示出了图4所示过滤结构的部分分解示意图；
[0023]图6示出了图4所示过滤结构的剖视图；
[0024]图7示出了本申请实施例三提供的一种尾气管路系统的结构示意图。
[0025]主要元件符号说明：
[0026]100
‑
过滤结构；10
‑
壳体；11
‑
分隔架；111
‑
分隔板；112
‑
支撑柱；113
‑
连通孔；114
‑
连通管；12
‑
冷却层；13
‑
过滤层；20
‑
进气接口；30
‑
出气接口；40
‑
冷却组件；41
‑
冷却管路；42
‑
密封法兰；421
‑
冷却接口；50
‑
过滤件；60
‑
排污组件；61
‑
排污接口；62
‑
收集件；70
‑
内衬层；200
‑
尾气管路系统；201
‑
尾气管路；202
‑
蝶阀；203
‑
第一泵；204
‑
压力检测器；205
‑
本底
压力管路；206
‑
第二泵；207
‑
隔膜阀；208
‑
手阀；209
‑
单向阀；210
‑
截止阀；211
‑
检漏口。
具体实施方式
[0027]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤结构，其特征在于，用于尾气管路系统中，包括：壳体、进气接口、出气接口、冷却组件及过滤件，所述进气接口、所述出气接口、所述冷却组件及所述过滤件分别设于所述壳体上，所述进气接口及所述出气接口分别连接所述尾气管路系统中的管路，所述冷却组件用于对从所述进气接口进入所述壳体中的尾气进行冷却，所述过滤件位于所述出气接口与所述冷却组件之间，所述过滤件用于对冷却后的尾气进行过滤净化，所述出气接口用于使过滤后的尾气排出所述壳体。2.根据权利要求1所述的过滤结构，其特征在于，所述过滤结构还包括设于所述壳体内的分隔架，所述分隔架将所述壳体分隔成冷却层及过滤层，所述进气接口、所述冷却组件位于所述冷却层，所述出气接口及所述过滤件位于所述过滤层。3.根据权利要求2所述的过滤结构，其特征在于，所述分隔架包括分隔板及支撑柱，所述分隔板设于所述支撑柱上，所述分隔板将所述壳体分隔成位于所述分隔板下侧的所述冷却层及位于所述分隔板上侧的所述过滤层，所述分隔板上设有用于连通所述冷却层及所述过滤层的连通孔。4.根据权利要求3所述的过滤结构，其特征在于，所述过滤结构还包括排污组件，所述排污组件位于所述冷却层，所述排污组件用于对所述壳体中的杂质进行回收。5.根据权利要求4所述的过滤结构，其特征在于，所述排污组件包括排污接口及收...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄帅帅，肖蕴章，陈炳安，钟国仿，
申请(专利权)人：深圳市纳设智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：