一种高真空度真空机组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高真空度真空机组，包括依次连通的第一真空泵以及第二真空泵，第一真空泵与待抽真空件连通且第一真空泵的抽真空度大于第二真空泵的抽真空度，高真空度真空机组还包括与第一真空泵和第二真空泵电连接的控制组件，控制组件控制第一真空泵和第二真空泵依次将待抽真空件内的气体抽至外界。通过依次抽吸，不仅降低了将待抽真空件内的真空度直接抽吸至第二真空度的难度，同时能够满足使用者对更低真空度的需求，且第一真空泵和第二真空泵依次抽吸，也避免了第二真空泵在抽吸时对第一真空泵的影响，避免第一真空泵损坏。避免第一真空泵损坏。避免第一真空泵损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空度真空机组


[0001]本技术属于真空泵领域，具体涉及一种高真空度真空机组。

技术介绍

[0002]真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。且所需的抽真空度越低，相应的抽吸难度也会较大，对于一些需要低真空度的环境来说，为了获得所需的真空度，需要的真空泵的抽真空能力不仅需要达到要求，且在抽吸时由于待抽吸的环境的真空度与所需的真空度之间差值较大以及抽吸时操作的原因，很难达到真空泵实际能够达到的水平，不仅无法满足使用者的需求，在抽吸时也会增加工作成本。

技术实现思路

[0003]针对上述的不足，本技术提供了一种高真空度真空机组，本高真空度真空机组能够提高抽真空度的效果。
[0004]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种高真空度真空机组，包括依次连通的第一真空泵以及第二真空泵，第一真空泵与待抽真空件连通且第一真空泵的抽真空度大于第二真空泵的抽真空度，高真空度真空机组还包括与第一真空泵和第二真空泵电连接的控制组件，控制组件控制第一真空泵和第二真空泵依次将待抽真空件内的气体抽至外界。
[0006]进一步地，第一真空泵的抽真空度为0.6～1pa，第二真空泵的抽真空度为0.4～0.6pa。
[0007]进一步地，第一真空泵通过波纹管与待抽真空件连通。
[0008]进一步地，高真空度真空机组还包括设置于波纹管与待抽真空件连接处的密封件。/>[0009]进一步地，高真空度真空机组还包括与控制组件电连接的第三真空泵，第三真空泵连通外界与第二真空泵，第二真空泵的抽真空度大于第三真空泵的抽真空度，第一真空泵和第二真空泵依次将待抽真空件内的气体抽至外界后，第三真空泵再次将待抽真空件内的气体抽至外界。
[0010]进一步地，第二真空泵与第三真空泵通过波纹管连通。
[0011]进一步地，第三真空泵的抽真空度为0.1～0.4pa。
[0012]进一步地，第一真空泵为螺杆真空泵，第二真空泵和第三真空泵均为罗茨真空泵。
[0013]进一步地，高真空度真空机组还包括用于支撑第一真空泵、第二真空泵以及控制组件的架体，架体的底端连接有数个万向轮。
[0014]进一步地，控制组件包括PLC控制器。
[0015]本技术具有以下有益效果：
[0016]1、在通过高真空度真空机组进行抽真空时，首先通过第一真空泵将待抽真空件内抽至第一真空度下，随后关闭第一真空泵，开启第二真空泵，将待抽真空件内由第一真空度抽至第二真空度，通过依次抽吸，不仅降低了将待抽真空件内的真空度直接抽吸至第二真空度的难度，同时能够满足使用者对更低真空度的需求，且第一真空泵和第二真空泵依次抽吸，也避免了第二真空泵在抽吸时对第一真空泵的影响，避免第一真空泵损坏。
[0017]2、波纹管在仪器仪表中应用广泛，主要用途是作为压力测量仪表的测量元件，将压力转换成位移或力。波纹管管壁较薄，灵敏度较高，测量范围为数十帕至数十兆帕。它的开口端固定，密封端处于自由状态，并利用辅助的螺旋弹簧或簧片增加弹性。工作时在内部压力的作用下沿管子长度方向伸长，使活动端产生与压力成一定关系的位移。活动端带动指针即可直接指示压力的大小。
[0018]3、通过密封件能够防止波纹管与待抽真空件连接处有气体流动，抽真空效果更好；优选的，密封件为柔性密封件，更好地与波纹管进行适配。
[0019]4、通过第三真空泵能够将待抽真空件内抽吸至第二真空泵无法达到的真空度，且由于通过第一真空泵与第二真空泵的作用，将待抽真空件内抽吸至接近第三真空泵能够达到的真空度附近，第三真空泵在进行抽吸时能够更加快速的抽吸到指定真空度。
附图说明
[0020]图1用以说明本技术高真空度真空机组的一种示意性实施方式的正视结构示意图；
[0021]图2用以说明本技术高真空度真空机组的一种示意性实施方式的侧视结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1、第一真空泵，2、第二真空泵，3、控制组件，4、波纹管，5、架体，51、万向轮，6、待抽真空件，7、缓冲罐。
具体实施方式
[0024]下面将接合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]需要说明的是，本技术实施例中的左、右、上、下、前、后等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态，即产品的行进方向为参考的，而不应该认为是具有限定性的。
[0026]另外，还需要说明的是，本技术实施例中所提到的“相对运动”等动态用语，不仅是位置上的变动，还包括转动、滚动等位置上没有发生相对变化，但状态却发生改变的运动。
[0027]最后，需要说明的是，当组件被称为“位于”或“设置于”另一个组件，它可以在另一个组件上或可能同时存在居中组件。当一个组件被称为是“连接于”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。
[0028]如图1和图2所示的一种高真空度真空机组，包括依次连通的第一真空泵1以及第二真空泵2，第一真空泵1与待抽真空件6连通且第一真空泵1的抽真空度大于第二真空泵2的抽真空度，高真空度真空机组还包括与第一真空泵1和第二真空泵2电连接的控制组件3，控制组件3控制第一真空泵1和第二真空泵2依次将待抽真空件6内的气体抽至外界；第一真空泵1和第二真空泵2的抽真空度为第一真空泵1和第二真空泵2能够分别将待抽真空件6抽真空时，待抽真空件6内的真空度数值，第一真空泵1的抽真空度大于第二真空泵2的抽真空度，代表第二真空泵2优于第一真空泵1；在通过高真空度真空机组进行抽真空时，首先通过第一真空泵1将待抽真空件6内抽至第一真空度下，随后关闭第一真空泵1，开启第二真空泵2，将待抽真空件6内由第一真空度抽至第二真空度，通过依次抽吸，不仅降低了将待抽真空件6内的真空度直接抽吸至第二真空度的难度，同时能够满足使用者对更低真空度的需求，且第一真空泵1和第二真空泵2依次抽吸，也避免了第二真空泵2在抽吸时对第一真空泵1的影响，避免第一真空泵1损坏。
[0029]优选的，第一真空泵1与待抽真空件6之间设有缓冲罐7，通过首先对缓冲罐7进行抽真空后，再对待抽真空件6进行抽真空处理，能够提高待抽真空件6抽真空时的稳定性。
[0030]高真空度真空机组还包括用于支撑第一真空泵1、第二真空泵2以及控制组件3的架体5，架体5的底端连接有数个万向轮51；架体5用于对第一真空泵1、第二真空泵2、控制组件3以及其它零部件进行支撑，且架体5的底端连接有万向轮51，通过万向轮51便于推动架体5沿任意方向移动，以调整高真空度真空机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空度真空机组，其特征在于，包括依次连通的第一真空泵以及第二真空泵，所述第一真空泵与待抽真空件连通且所述第一真空泵的抽真空度大于所述第二真空泵的抽真空度，所述高真空度真空机组还包括与所述第一真空泵和所述第二真空泵电连接的控制组件，所述控制组件控制所述第一真空泵和所述第二真空泵依次将所述待抽真空件内的气体抽至外界。2.根据权利要求1所述的一种高真空度真空机组，其特征在于，所述第一真空泵的抽真空度为0.6～1pa，所述第二真空泵的抽真空度为0.4～0.6pa。3.根据权利要求1所述的一种高真空度真空机组，其特征在于，所述第一真空泵通过波纹管与所述待抽真空件连通。4.根据权利要求3所述的一种高真空度真空机组，其特征在于，还包括设置于所述波纹管与所述待抽真空件连接处的密封件。5.根据权利要求1所述的一种高真空度真空机组，其特征在于，还包括与所述控制组件电连接的第三真空泵，所述第三真空泵连...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵彬彬，尚玉静，
申请(专利权)人：山东凯恩真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：