本实用新型专利技术公开了一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架、发热板和压力泵，所述支撑架顶部固定安装反应槽，所述反应槽内部放置有铁砂，所述支撑架通过控制部件固定连接底板，所述底板位于反应槽底部，且与反应槽底部合上封闭，所述反应槽下方放置有收集槽，所述收集槽底部通过收集管固定连通压力泵一端，所述压力泵另一端通过软管连通加料管一端，所述加料管另一端固定连接分料板，所述加料管底部固定连接固定座，所述固定座可拆卸连接支撑板顶部，通过加热铁砂作为热处理的媒介，有利于合金靶材接收热量更加平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质。有利于提高热处理的品质。有利于提高热处理的品质。
【技术实现步骤摘要】
一种高致密合金靶材热处理装置
[0001]本技术涉及热处理设备
，具体为一种高致密合金靶材热处理装置。
技术介绍
[0002]靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。如Ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发，预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜，这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外，近年来平面显示器(FPD)大幅度取代原以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场.亦将大幅增加ITO靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。高密度、大容量硬盘。
[0003]热处理是金属靶材加工过程中不可或缺的工艺，热处理与塑性变形加工紧密结合，主要为了实现材料的再结晶，使得金属靶材的组织均匀。对金属靶材施加不同的热处理温度、保温时间和加热方式，可以获得具有不同金属材料组织结构的金属靶材，根据授权公告号为CN 209010574 U的中国技术，公布了一种密封性好的靶材热处理装置，通过上下两支加热管对固定的靶材进行加热处理，但是由于加热管与需要被热处理的靶材之间热量传输存在热量接收点，靶材升温和接收热量不够平稳，容易导致在靶材热处理后的晶粒不均匀，影响靶材的品质。
[0004]为此我们提出一种高致密合金靶材热处理装置用于解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种高致密合金靶材热处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架、发热板和压力泵，所述支撑架顶部固定安装反应槽，所述反应槽内部放置有铁砂，所述支撑架通过控制部件固定连接底板，所述底板位于反应槽底部，且与反应槽底部合上封闭，所述反应槽下方放置有收集槽，所述收集槽底部通过收集管固定连通压力泵一端，所述压力泵另一端通过软管连通加料管一端，所述加料管另一端固定连接分料板，所述加料管底部固定连接固定座，所述固定座可拆卸连接支撑板顶部。
[0007]优选的，所述反应槽包括侧框，所述侧框内侧壁固定安装发热板，所述发热板固定安装有若干间距相等的固定条，所述固定条之间空隙形成卡槽，且卡槽内侧设有卡板。
[0008]优选的，所述分料板形状为三角状，且内侧开设有若干通孔，所述通孔尾端的间距对应固定条间距设置。
[0009]优选的，所述控制部件包括电动推杆，所述电动推杆一端通过第一铰座铰接连接支撑架内侧壁，所述电动推杆另一端通过第二铰座铰接连接底板，所述底板与支撑架顶部内侧铰接连接。
[0010]优选的，所述固定座两侧设置有长条状限位凸出，所述支撑板顶部内侧设置有凹
槽，与固定座两侧的限位凸出配合设置。
[0011]优选的，所述收集槽底壁中部向下凸出，且中部位置与收集管一端固定连通，所述收集管固定镶嵌在收集槽底部内侧。
[0012]优选的，所述底板和控制部件共有两组，对称设置。
[0013]优选的，所述分料板远离加料管一侧向下倾斜，位于反应槽纵向方向的中心线上。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过加热铁砂作为热处理的媒介，有利于合金靶材接收热量更加平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质；
[0015]打开底板后，铁砂落入收集槽中进行收集，便于下一次热处理添加，铁砂能够进行循环使用添加，使用方便，有利于节约资源。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术中支撑架剖视图；
[0018]图3为本技术中分料板剖视图；
[0019]图4为本技术中收集槽剖视图。
[0020]图中：1、支撑架；2、控制部件；3、收集槽；4、收集管；5、压力泵；6、软管；7、反应槽；8、固定座；9、加料管；10、分料板；11、底板；12、支撑板；21、第一铰座；22、电动推杆；23、第二铰座；71、发热板；72、固定条；73、卡板；74、侧框。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架1、发热板71和压力泵5，支撑架1顶部固定安装反应槽7，反应槽7内部放置有铁砂，通过加热铁砂作为热处理的媒介，有利于合金靶材接收热量更加平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质，支撑架1通过控制部件2固定连接底板11，能够控制打开或者合上底板11；
[0023]底板11位于反应槽7底部，且与反应槽7底部合上封闭，底板11合上时，反应槽7内部能够放置铁砂和靶材，打开时铁砂落入收集槽3中，反应槽7下方放置有收集槽3，收集槽3底部通过收集管4固定连通压力泵5一端，压力泵5另一端通过软管6连通加料管9一端，在需要添加铁砂时，压力泵5能够通过收集管4和软管6把铁砂泵入加料管9中，加料管9另一端固定连接分料板10，加料管9中的铁砂能够进入分料板10，分料板10能够在添加铁砂时均匀的分布在靶材间隙之间，加料管9底部固定连接固定座8，固定座8可拆卸连接支撑板12顶部，便于拆下和安装固定座8，避免放置靶材时，分料板10碍手；
[0024]反应槽7包括侧框74，侧框74内侧壁固定安装发热板71，有利靶材于均匀受热，发热板71能够发出热量，进行热处理加热，发热板71固定安装有若干间距相等的固定条72，固
定条72之间空隙形成卡槽，且卡槽内侧设有卡板73，通过把卡板73夹在靶材两侧，放入卡槽中，能够对靶材进行固定；
[0025]分料板10形状为三角状，且内侧开设有若干通孔，通孔尾端的间距对应固定条72间距设置，能够使添加的铁砂均匀落入到靶材间的空隙中；
[0026]控制部件2包括电动推杆22，电动推杆22一端通过第一铰座21铰接连接支撑架1内侧壁，电动推杆22另一端通过第二铰座23铰接连接底板11，底板11与支撑架1顶部内侧铰接连接，电动推杆22伸缩时能够控制底板11的开闭，第一铰座21和第二铰座23能够保时电动推杆22两端保持活动，防止伸缩时，被底板12和支撑架1卡住；
[0027]固定座8两侧设置有长条状限位凸出，支撑板12顶部内侧设置有凹槽，与固定座8两侧的限位凸出配合设置，限位凸出能够滑入凹槽中，增加固定座8安装后的稳定性；
[0028]收集槽3底壁中部向下凸出，且中部位置与收集管4一端固定连通，收集管4固定镶嵌在收集槽3底部内侧，有利于进行收集铁砂。避免其积聚在收集槽3底壁位置；
[0029]底板11和控制部件2共有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高致密合金靶材热处理装置，包括支撑架(1)、发热板(71)和压力泵(5)，其特征在于：所述支撑架(1)顶部固定安装反应槽(7)，所述反应槽(7)内部放置有铁砂，所述支撑架(1)通过控制部件(2)固定连接底板(11)，所述底板(11)位于反应槽(7)底部，且与反应槽(7)底部合上封闭，所述反应槽(7)下方放置有收集槽(3)，所述收集槽(3)底部通过收集管(4)固定连通压力泵(5)一端，所述压力泵(5)另一端通过软管(6)连通加料管(9)一端，所述加料管(9)另一端固定连接分料板(10)，所述加料管(9)底部固定连接固定座(8)，所述固定座(8)可拆卸连接支撑板(12)顶部。2.根据权利要求1所述的一种高致密合金靶材热处理装置，其特征在于：所述反应槽(7)包括侧框(74)，所述侧框(74)内侧壁固定安装发热板(71)，所述发热板(71)固定安装有若干间距相等的固定条(72)，所述固定条(72)之间空隙形成卡槽，且卡槽内侧设有卡板(73)。3.根据权利要求2所述的一种高致密合金靶材热处理装置，其特征在于：所述分料板(10)形状为三角状，且内侧开设有若干通孔，所述通孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽君，覃雪峰，陈淑娇，
申请(专利权)人：漳州市合琦靶材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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