本实用新型专利技术公开了一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体正面的左侧开设有操作仓，所述操作仓内腔的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有刻蚀机构，所述刻蚀机构的右侧连通有软管。本实用新型专利技术通过刻蚀机本体、操作仓、电动推杆、刻蚀机构、软管、吸风板、真空机、滑槽、电动伸缩杆、滑块、活动板、凹槽、滑杆、移动块、移动板、夹持机构、电动调节杆、显示屏和操作按钮的配合，使等离子体刻蚀机可以通过调节机构，对待加工基片的位置进行调节后加工，以此实现了等离子体刻蚀机刻蚀精度高的目的，极大地提高了等离子体刻蚀机的工作效率以及实用性。高了等离子体刻蚀机的工作效率以及实用性。高了等离子体刻蚀机的工作效率以及实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机
[0001]本技术涉及等离子体刻蚀机
，具体为一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机。
技术介绍
[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，但是现有的等离子体刻蚀机的刻蚀精度不高，不符合实际使用需求，为解决这一问题，这里推出一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机，具备刻蚀精度高的优点，解决了刻蚀精度低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体正面的左侧开设有操作仓，所述操作仓内腔的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有刻蚀机构，所述刻蚀机构的右侧连通有软管，所述软管远离刻蚀机构的一端与操作仓内腔右侧的顶部连通，所述操作仓内腔左侧的顶部固定连接有吸风板，所述刻蚀机本体左侧的顶部通过支撑板固定连接有真空机，所述真空机的右侧与吸风板的左侧连通，所述操作仓内腔底部的两侧均开设有滑槽，所述滑槽内腔的后侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有活动板，所述活动板的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内腔固定连接有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有移动块，所述移动块的顶部固定连接有移动板，所述移动板顶部的两侧均固定连接有夹持机构，所述移动板的右侧通过活动块活动连接有电动调节杆，所述电动调节杆远离活动块的一端与操作仓内腔的右侧活动连接，所述刻蚀机本体正面右侧的顶部设置有显示屏，所述刻蚀机本体正面右侧顶部，且位于显示屏的底部设置有操作按钮。
[0005]优选的，所述刻蚀机本体底部的四角均固定连接有固定柱，所述固定柱的底部固定连接有稳定板。
[0006]优选的，所述刻蚀机本体正面底部的两侧均设置有门体，所述门体正面相对的一侧均固定连接有拉把。
[0007]优选的，所述门体正面的底部设置有观察窗，所述观察窗的内壁固定连接有透明玻璃。
[0008]优选的，所述操作仓的正面设置有操作门，所述操作门正面的右侧固定连接有把手。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0010]1、本技术通过刻蚀机本体、操作仓、电动推杆、刻蚀机构、软管、吸风板、真空机、滑槽、电动伸缩杆、滑块、活动板、凹槽、滑杆、移动块、移动板、夹持机构、电动调节杆、显示屏和操作按钮的配合，使等离子体刻蚀机可以通过调节机构，对待加工基片的位置进行调节后加工，以此实现了等离子体刻蚀机刻蚀精度高的目的，极大地提高了等离子体刻蚀机的工作效率以及实用性。
[0011]2、本技术通过设置固定柱和稳定板，使等离子体刻蚀机可以固定在指定位置，通过设置门体，可以对加工工具以及物料进行收纳，通过设置观察窗，可以实时观察到机箱内腔工作部件的运行状态，通过设置操作门，可以对操作仓的内腔进行防护。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术结构主视示意图；
[0014]图3为本技术操作仓与活动板的结构示意图。
[0015]图中：1、刻蚀机本体；2、操作仓；3、电动推杆；4、刻蚀机构；5、软管；6、吸风板；7、真空机；8、滑槽；9、电动伸缩杆；10、滑块；11、活动板；12、凹槽；13、滑杆；14、移动块；15、移动板；16、夹持机构；17、电动调节杆；18、显示屏；19、操作按钮；20、固定柱；21、稳定板；22、门体；23、观察窗；24、操作门。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]本技术的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0018]请参阅图1
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3，一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体1，刻蚀机本体1正面的左侧开设有操作仓2，操作仓2内腔的顶部固定连接有电动推杆3，电动推杆3的底部固定连接有刻蚀机构4，刻蚀机构4的右侧连通有软管5，软管5远离刻蚀机构4的一端与操作仓2内腔右侧的顶部连通，操作仓2内腔左侧的顶部固定连接有吸风板6，刻蚀机本体1左侧的顶部通过支撑板固定连接有真空机7，真空机7的右侧与吸风板6的左侧连通，操作仓2内腔底部的两侧均开设有滑槽8，滑槽8内腔的后侧固定连接有电动伸缩杆9，电动伸缩杆9的输出端固定连接有滑块10，滑块10的顶部固定连接有活动板11，活动板11的顶部开设有凹槽12，凹槽12的内腔固定连接有滑杆13，滑杆13的表面滑动连接有移动块14，移动块14的顶部固定连接有移动板15，移动板15顶部的两侧均固定连接有夹持机构16，移动板15的右侧通过活动块活动连接有电动调节杆17，电动调节杆17远离活动块的一端与操作仓2内腔的右侧活动连接，刻蚀机本体1正面右侧的顶部设置有显示屏18，刻蚀机本体1正面右侧顶部，且位于显示屏18的底部设置有操作按钮19，刻蚀机本体1底部的四角均固定连接有固定柱20，固定柱20的底部固定连接有稳定板21，刻蚀机本体1正面底部的两侧均设置有门体22，
门体22正面相对的一侧均固定连接有拉把，门体22正面的底部设置有观察窗23，观察窗23的内壁固定连接有透明玻璃，操作仓2的正面设置有操作门24，操作门24正面的右侧固定连接有把手，通过设置固定柱20和稳定板21，使等离子体刻蚀机可以固定在指定位置，通过设置门体22，可以对加工工具以及物料进行收纳，通过设置观察窗23，可以实时观察到机箱内腔工作部件的运行状态，通过设置操作门24，可以对操作仓2的内腔进行防护，通过刻蚀机本体1、操作仓2、电动推杆3、刻蚀机构4、软管5、吸风板6、真空机7、滑槽8、电动伸缩杆9、滑块10、活动板11、凹槽12、滑杆13、移动块14、移动板15、夹持机构16、电动调节杆17、显示屏18和操作按钮19的配合，使等离子体刻蚀机可以通过调节机构，对待加工基片的位置进行调节后加工，以此实现了等离子体刻蚀机刻蚀精度高的目的，极大地提高了等离子体刻蚀机的工作效率以及实用性。
[0019]使用时，工作人员打开操作门24，将基片放置在移动板15的顶部，并通过夹持机构16进行定位，根据操作需求启动电动调节杆17，电动调节杆17的输出端带动移动板15左右移动，紧接着启动电动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀精度高的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体（1），其特征在于：所述刻蚀机本体（1）正面的左侧开设有操作仓（2），所述操作仓（2）内腔的顶部固定连接有电动推杆（3），所述电动推杆（3）的底部固定连接有刻蚀机构（4），所述刻蚀机构（4）的右侧连通有软管（5），所述软管（5）远离刻蚀机构（4）的一端与操作仓（2）内腔右侧的顶部连通，所述操作仓（2）内腔左侧的顶部固定连接有吸风板（6），所述刻蚀机本体（1）左侧的顶部通过支撑板固定连接有真空机（7），所述真空机（7）的右侧与吸风板（6）的左侧连通，所述操作仓（2）内腔底部的两侧均开设有滑槽（8），所述滑槽（8）内腔的后侧固定连接有电动伸缩杆（9），所述电动伸缩杆（9）的输出端固定连接有滑块（10），所述滑块（10）的顶部固定连接有活动板（11），所述活动板（11）的顶部开设有凹槽（12），所述凹槽（12）的内腔固定连接有滑杆（13），所述滑杆（13）的表面滑动连接有移动块（14），所述移动块（14）的顶部固定连接有移动板（15），所述移动板（15）顶部的两侧均固定连接有夹持机构（16），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：石教远，
申请(专利权)人：上海帅印标识标牌工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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