一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，属于靶材制备技术领域，该高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，包括机体，机体的左右内壁之间固定连接支撑块，机体的上端固定连接有L型板，L型板水平部的上端固定连接有驱动电机，驱动电机的下端固定连接有主动转轴，主动转轴向下活动贯穿L型板的下端并向下延伸，主动转轴的下端固定连接有打磨头，主动转轴的圆周表面固定连接有主动齿轮，可以使被打磨的靶材更加的光滑，不会出现死角，通过吸盘固定靶材，可以防止靶材出现损伤，有效的提高了靶材制备的合格率，也提高了靶材制备的质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置


[0001]本技术属于靶材制备
，具体涉及一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]现有的铝合金靶材打磨时通常使用夹具进行夹持，但因铝合金的质地较软容易使铝合金靶材表面出现夹痕，影响铝合金靶材的质量，导致铝合金靶材加工的合格率较低，另外，目前铝合金靶材在打磨时产生较多碎屑没有及时收集，造成一定的浪费，增加铝合金靶材制备的成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，旨在解决现有技术中的现有的铝合金靶材打磨时通常使用夹具进行夹持，但因铜的质地较软容易使铝合金靶材表面出现夹痕，影响铝合金靶材的质量，导致铝合金靶材加工的合格率较低，另外，目前铝合金靶材在打磨时产生较多碎屑没有及时收集，造成一定的浪费，增加铝合金靶材制备的成本的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，包括机体，所述机体的左右内壁之间固定连接支撑块，所述机体的上端固定连接有L型板，所述L型板水平部的上端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的下端固定连接有主动转轴，所述主动转轴的下端贯穿L型板的水平部并向下延伸，所述主动转轴的下端固定连接有打磨头，所述主动转轴的圆周表面固定连接有主动齿轮，所述L型板水平部的下端转动连接有从动转轴，且从动转轴的下端转动连接于支撑块的上端，所述从动转轴的圆周表面固定连接有从动齿轮，所述主动齿轮和从动齿轮的圆周表面啮合连接有齿带，所述从动转轴的圆周表面固定连接有半齿齿轮，所述支撑块上端的前后两侧均固定连接有安装板，两个所述安装板相靠近的一侧均开设有第一滑槽，两个所述第一滑槽内均滑动连接有第一滑块，两个所述第一滑块相靠近的端部之间固定连接有齿环，所述齿环与半齿齿轮间歇啮合。
[0007]作为本技术一种优选的方案，所述支撑块的上端开设有两个第二滑槽，两个所述第二滑槽均滑动连接有两个第二滑块，四个所述第二滑块的上端固定连接有放置板，位于右侧的两个所述第二滑块和两个第一滑块相靠近的端部之间均固定连接有连接杆。
[0008]作为本技术一种优选的方案，所述机体的左端固定连接有抽气机，所述放置板的上端固定连接有三个吸盘，所述放置板的下端固定连接有空心块，三个所述吸盘均与空心块相连通，所述抽气机的上端固定连接有软管，所述软管的另一端固定连接于空心块的左端。
[0009]作为本技术一种优选的方案，所述机体的下端四角处均固定连接有支撑杆，四个所述支撑杆的下端均固定连接有防滑垫。
[0010]作为本技术一种优选的方案，所述机体的内壁之间固定连接有收集斗，所述收集斗的下端开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定连接有过滤网。
[0011]作为本技术一种优选的方案，所述机体的下内壁固定连接有置水盒，所述置水盒的下内壁固定连接有水泵，所述水泵的右端固定连接有水管，所述水管的另一端固定连接有喷头，所述喷头的下端贯穿L型板的水平部并向下延伸。
[0012]作为本技术一种优选的方案，所述机体的右端和L型板竖直部的右端均固定连接有安装块，两个所述安装块均套设于水管的圆周表面，所述L型板水平部的上端固定连接有两个固定块，两个所述固定块分别固定连于驱动电机的左右两端。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本装置中，通过驱动电机带动主动齿轮和从动齿轮进行转动，可以驱动主动转轴进行打磨的同时，驱动从动转轴带动半齿齿轮转动，带动齿环进行往复循环运动，可以使被打磨的靶材更加的光滑，不会出现死角，通过吸盘固定靶材，可以防止靶材出现损伤，有效的提高了靶材制备的合格率，也提高了靶材制备的质量。
[0015]2、本装置中，通过设置有喷头、水泵和过滤网，当靶材进行打磨的时候，通过水循环机构防止靶材打磨时温度过高发生热涨，进而影响靶材的质量，同时水还能够把打磨产生的碎屑携带到收集斗中，之后经过过滤网过滤后碎屑能够被收集，且碎屑收集后进入熔化再次制造靶材，避免材料浪费，该结构能够及时收集碎屑，避免造成材料浪费，降低了靶材的制备成本。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0017]图1为本技术中的前视图；
[0018]图2为本技术中的局部立体图；
[0019]图3为本技术中的后剖图；
[0020]图4为本技术中的左视图。
[0021]图中：1、机体；2、支撑块；3、支撑杆；4、防滑垫；5、抽气机；6、软管；7、L型板；8、固定块；9、驱动电机；10、水管；11、喷头；12、安装块；13、主动转轴；14、主动齿轮；15、齿带；16、从动齿轮；17、从动转轴；18、打磨头；19、齿环；20、第一滑块；21、半齿齿轮；22、连接杆；23、第二滑块；24、放置板；25、吸盘；26、水泵；27、收集斗；28、过滤网；29、安装板；30、置水盒；31、空心块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供以下技术方案：
[0025]一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，包括机体1，机体1的左右内壁之间固定连接支撑块2，机体1的上端固定连接有L型板7，L型板7水平部的上端固定连接有驱动电机9，驱动电机9的下端固定连接有主动转轴13，主动转轴13的下端贯穿L型板7的水平部并向下延伸，主动转轴13的下端固定连接有打磨头18，主动转轴13的圆周表面固定连接有主动齿轮14，L型板7水平部的下端转动连接有从动转轴17，且从动转轴17的下端转动连接于支撑块2的上端，从动转轴17的圆周表面固定连接有从动齿轮16，主动齿轮14和从动齿轮16的圆周表面啮合连接有齿带15，从动转轴17的圆周表面固定连接有半齿齿轮21，支撑块2上端的前后两侧均固定连接有安装板29，两个安装板29相靠近的一侧均开设有第一滑槽，两个第一滑槽内均滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的左右内壁之间固定连接支撑块(2)，所述机体(1)的上端固定连接有L型板(7)，所述L型板(7)水平部的上端固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的下端固定连接有主动转轴(13)，所述主动转轴(13)的下端贯穿L型板(7)的水平部并向下延伸，所述主动转轴(13)的下端固定连接有打磨头(18)，所述主动转轴(13)的圆周表面固定连接有主动齿轮(14)，所述L型板(7)水平部的下端转动连接有从动转轴(17)，且从动转轴(17)的下端转动连接于支撑块(2)的上端，所述从动转轴(17)的圆周表面固定连接有从动齿轮(16)，所述主动齿轮(14)与从动齿轮(16)的圆周表面啮合连接有齿带(15)，所述从动转轴(17)的圆周表面固定连接有半齿齿轮(21)，所述支撑块(2)的前后两侧均固定连接有安装板(29)，两个所述安装板(29)相靠近的一侧均开设有第一滑槽，两个所述第一滑槽内均滑动连接有第一滑块(20)，两个所述第一滑块(20)之间固定连接有齿环(19)，所述齿环(19)与半齿齿轮(21)间歇啮合。2.根据权利要求1所述的一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置，其特征在于：所述支撑块(2)的上端开设有两个第二滑槽，两个所述第二滑槽内均滑动连接有两个第二滑块(23)，四个所述第二滑块(23)的上端固定连接有放置板(24)，位于右侧的两个所述第二滑块(23)与两个第一滑块(20)之间固定连接有两个连接杆(22)。3.根据权利要求2所述的一种高纯圆形铝合金靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴丽君，覃雪峰，陈淑娇，
申请(专利权)人：漳州市合琦靶材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：