玻璃板的制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种玻璃板的制造装置，其具备：处理装置，其使玻璃板通过在所述玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至所述处理空间的处理气体对所述玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗装置，其对经过了该处理装置的所述玻璃板进行清洗，其特征在于，所述清洗装置构成为擦拭而清洗在通过所述处理装置时所述玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面，所述清洗装置具备夹着该搬运路径而成对的辊刷，所述成对的辊刷配置在所述搬运路径上的比所述处理空间靠下游侧的位置，所述清洗装置利用所述成对的辊刷擦拭而清洗位于所述前端部的端面。的端面。的端面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板的制造装置


[0001]本技术涉及玻璃板的制造方法，详细而言，涉及具备利用氟化氢等处理气体来对玻璃板实施蚀刻处理的工序的制造方法。

技术介绍

[0002]众所周知，在液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)、智能手机、平板等移动终端中，组装有具有各种厚度、尺寸的玻璃板。
[0003]此外，在玻璃板的制造工序中，有时因带有静电而产生不良状况。例如，当将玻璃板载置于作业台的载置面上并实施规定的处理时，存在玻璃板粘附于载置面的情况。由此，在将结束处理后的玻璃板从载置面剥离时，存在玻璃板发生破损的情况。
[0004]于是，作为应对上述那样的问题的对策，而进行了如下尝试：利用氟化氢等处理气体对玻璃板实施蚀刻处理，使玻璃板的主面粗糙化，由此解决问题。并且，用于对玻璃板实施蚀刻处理的方法的一例被专利文献1 公开。
[0005]在该文献所公开的方法中，使玻璃板通过在玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至处理空间的处理气体来对玻璃板实施蚀刻处理。需要说明的是，在该方法中，在平置姿态的玻璃板的主面中，仅使下表面粗糙化，或者使下表面和上表面这两方粗糙化。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：国际公开第2017/043305号

技术实现思路

[0009]技术要解决的课题
[0010]然而，在上述的方法中，存在有下述那样的应解决的问题。
[0011]即，在该方法那样的方案中，实施了蚀刻处理的玻璃板存在玻璃粉容易附着于主面这样的问题。因此，存在如下难点：当在之后的工序中对玻璃板实施透明导电膜等的成膜处理那样的情况下，容易因在主面附着的玻璃粉而产生电路的断线等不良状况。
[0012]鉴于上述的情况而完成的本技术的技术课题在于，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，尽可能地防止玻璃粉向其主面的附着。
[0013]用于解决课题的方案
[0014]本技术的专利技术人等进行了深入研究，结果发现，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，容易在其主面附着玻璃粉是由下述的理由引起的。也就是说，在玻璃板通过处理空间时，不仅该玻璃板的主面被粗糙化，该玻璃板的端面也被粗糙化。并且，在通过处理空间时位于前端部的端面特别容易被粗糙化，且容易伴随着粗糙化而从该端面产生玻璃粉。并且，发现了从该端面产生的玻璃粉成为附着于主面的玻璃粉。
[0015]基于该发现，为了解决上述的课题而作出的本技术是一种玻璃板的制造方法，其具备：处理工序，其使玻璃板通过在玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至处理空间的处理气体对玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗工序，其对经过了处理工序的玻璃板进行清洗，其特征在于，在清洗工序中，擦拭而清洗在处理工序的执行时玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面。
[0016]在本方法中，在清洗工序中，擦拭而清洗在执行处理工序时玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面(以下记为前方端面)。这样一来，能够减少在前方端面残留处理气体的情况，从而能够抑制由于残留的处理气体使前方端面粗糙化而产生玻璃粉的情况。另外，能够将存在之后从前方端面产生并附着于玻璃板的主面的风险的玻璃粉预先从前方端面去除。其结果是，能够尽可能地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
[0017]在上述的方法中，优选的是，在搬运路径上的比处理空间靠下游侧的位置，配置有夹着搬运路径而成对的辊刷，在清洗工序中，利用成对的辊刷擦拭而清洗位于前端部的端面(前方端面)。
[0018]这样一来，利用在搬运路径上配置的成对的辊刷擦拭而清洗前方端面，因此能够高效并且可靠地减少之后从前方端面产生玻璃粉的情况。
[0019]在上述的方法中，优选的是，在清洗工序中，擦拭而清洗在处理工序的执行时玻璃板的位于搬运方向的最后部的端面。
[0020]这样一来，伴随着清洗工序的执行，不仅能够减少之后从前方端面产生玻璃粉的情况，还能够减少之后从位于最后部的端面(以下记为后方端面)产生玻璃粉的情况。其结果是，能够更可靠地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
[0021]在上述的方法中，优选的是，玻璃板呈矩形，在处理工序中，在使玻璃板的平行的两个端面延伸的方向与玻璃板的搬运方向一致的状态下，使玻璃板通过处理空间，在搬运路径上的比处理空间靠下游侧的位置，配置有夹着搬运路径而成对的盘刷，在清洗工序中，利用成对的盘刷擦拭而清洗两个端面。
[0022]这样一来，伴随着清洗工序的执行，能够减少之后从平行的两个端面产生玻璃粉的情况。其结果是，能够进一步可靠地防止玻璃粉向玻璃板的主面的附着。
[0023]技术效果
[0024]根据本技术，对于在通过处理气体所供给的处理空间的同时实施了蚀刻处理的玻璃板，能够尽可能地防止玻璃粉向其主面的附着。
附图说明
[0025]图1是示出在本技术的实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的纵剖侧视图。
[0026]图2是示出在本技术的实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的俯视图。
[0027]图3a是示出本技术的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
[0028]图3b是示出本技术的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
[0029]图3c是示出本技术的实施方式的玻璃板的制造方法中的清洗工序的纵剖侧视图。
[0030]图4是示出在本技术的其他实施方式的玻璃板的制造方法中使用的制造装置的纵剖侧视图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对本技术的实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。
[0032]首先，对用于玻璃板的制造方法的制造装置进行说明。在此，在以下的说明中，将相对于图1中的纸面垂直的方向记为“宽度方向”。另外，图中箭头所示的A方向为玻璃板的搬运方向，且在以下的说明中简记为“搬运方向”。
[0033]如图1及图2所示，制造装置1具备：搬运装置4，其将矩形的玻璃板2沿着搬运路径3以平置姿态搬运；处理装置7，其在使玻璃板2通过在搬运路径3上配置的处理空间5的同时，利用处理气体6实施蚀刻处理；喷射装置9，其喷射沿着通过处理空间5的过程中的玻璃板2的上表面2a 流动的气体8(非处理气体)；第一清洗装置10，其将处理后的玻璃板2 中的位于搬运方向的前端部的端面2x(以下记为前方端面2x)及位于最后部的端面2y(以下记为后方端面2y)擦拭而清洗；以及第二清洗装置 11，其将处理后的玻璃板2中的分别位于宽度方向两端的两端面2z、2z (以下分别记为宽度方向端面2z)擦拭而清洗。
[0034]搬运装置4具备沿着搬运路径3排列的多个搬运辊4a。这些搬运辊 4a有时是驱动辊，也有时是自由辊。玻璃板2在使宽度方向两端面2z、 2z的延伸方向与搬运方向一致的状态下，由搬运装置4搬运出去。因此，搬运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种玻璃板的制造装置，其具备：处理装置，其使玻璃板通过在所述玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时，利用供给至所述处理空间的处理气体对所述玻璃板实施蚀刻处理；以及清洗装置，其对经过了该处理装置的所述玻璃板进行清洗，其特征在于，所述清洗装置构成为擦拭而清洗在通过所述处理装置时所述玻璃板的位于搬运方向的前端部的端面，所述清洗装置具备夹着该搬运路径而成对的辊刷，所述成对的辊刷配置在所述搬运路径上的比所述处理空间靠下游侧的位置，所述清洗装置利用所述成对的辊刷擦拭而清洗位于所述前端部的端面。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥隼人，中塚弘树，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：新型
国别省市：