一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构制造技术

本发明专利技术公开了一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上，与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果是：该结构安设在微电子封装设备的底部，可实现X轴、Y轴以及Z轴三个方向的振幅，经过系列测试可将Z向振动振幅控制在22微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至14微米以内，可将Y向振动振幅控制在34微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至18微米以内，可将X向振动振幅控制在37微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至21微米以内。至21微米以内。至21微米以内。

【技术实现步骤摘要】
一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构


[0001]本专利技术涉及一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，具体地，为微电子封装设备组件。

技术介绍

[0002]在微电子封装设备中，需要保证很高的精确度才能达到相应的工艺要求，但是在现有产品中固定结构为简单整体结构，此类结构在工作中会导致产品固定不稳定，并因设备XY运行振动导致产品位移，并进而导致液体分配加工质量欠佳和影响产品安全。
[0003]XY运行振动的根源是高速点位运动（3G加速度，2m/s速度）工作时XZ机构重量惯性能量向基座扩散导致的，所以提高减振效果的配套结构亟待推出。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，在无额外的基座消振措施的情形下，开发出一种产品固定稳定，不受基座振动影响的结构，以满足精细流体加工时定位的一致性。
[0005]为实现上述专利技术的目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，缓冲板Ⅱ位于缓冲板Ⅰ底部，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上。
[0006]优选地，缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ为钣金件，钣金件两端为对称的双U型结构，双U型互锁固定结构，起到减振的技术效果。
[0007]优选地，缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ上包括平板部和U型部，U型部为平板部两端折弯形成的结构，U型部位于平板部两侧，形成非封闭的钣金结构，双U型互锁结构能针对XYZ三向传过的振动进行缓冲过滤。
[0008]优选地，缓冲板Ⅰ上的U型部上远离平板部的一侧设有定位孔Ⅰ，对应地，缓冲板Ⅱ的平板部上设有定位孔Ⅱ。
[0009]优选地，通过螺栓Ⅰ穿过定位孔Ⅰ和定位孔Ⅱ，实现缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位，固定结构简单，易于安装。
[0010]优选地，缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位后，缓冲板Ⅰ的U型部与缓冲板Ⅱ的U型部相互垂直，缓冲板Ⅰ针对消减X方向振动和部分Z向振动。
[0011]优选地，缓冲板Ⅰ的平板部上设有定位孔Ⅲ，螺栓Ⅱ安设在定位孔Ⅲ内，形成与外部设备连接，用于与设备基座连接。
[0012]优选地，缓冲板Ⅱ上的U型部上远离平板部的一侧设有定位孔Ⅳ，对应地，隔振板的上设有定位孔
Ⅴ
，通过螺栓Ⅲ穿过定位孔Ⅳ和定位孔
Ⅴ
形成缓冲板Ⅱ与隔振板定位。
[0013]优选地，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ固定后，缓冲板Ⅱ与隔振板固定后，形成空槽，在空槽内可安设发泡软材，提高减振性能，加设发泡材料后会有更好的减震效果。
[0014]优选地，缓冲板Ⅰ上的材料弹性系数为12500
‑
13500kg/mm
²
，抗拉强度为310
‑
350Mpa，缓冲板Ⅱ上的材料弹性系数为11500
‑
11900kg/mm
²
，抗拉强度为340
‑
390Mpa，隔振板上的材料弹性系数为7500
‑
8500kg/mm
²
，抗拉强度为430
‑
470Mpa，在调试后，将组件材料调整到该数值范围内，效果最佳。
[0015]本专利技术的有益效果是：该结构安设在微电子封装设备的底部，可实现X轴、Y轴以及Z轴三个方向的振幅，经过系列测试可将Z向振动振幅控制在22微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至14微米以内，可将Y向振动振幅控制在34微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至18微米以内，可将X向振动振幅控制在37微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至21微米以内。
附图说明
[0016]图1是本专利技术提供的应用双U型钣金的XYZ三向减振结构的优选实施例的结构示意图；图2是本专利技术提供的应用双U型钣金的XYZ三向减振结构的优选实施例的结构示意图；图3是本专利技术提供的应用双U型钣金的XYZ三向减振结构的优选实施例的结构示意图；图4是本专利技术提供的应用双U型钣金的XYZ三向减振结构的优选实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和优选实施例对本专利技术作进一步详细完整地说明。
[0018]图1
‑
4为本专利技术提供的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构的优选实施例示意图。如图1
‑
4所示该应用双U型钣金的XYZ三向减振结构包括缓冲板1和隔振板2，缓冲板1包括缓冲板Ⅰ101和缓冲板Ⅱ102，缓冲板Ⅰ101与缓冲板Ⅱ102通过螺栓连接固定，缓冲板Ⅱ102位于缓冲板Ⅰ101底部，隔振板2安设在缓冲板Ⅰ101上，缓冲板Ⅰ101和缓冲板Ⅱ102为钣金件，钣金件102两端为对称的双U型结构，缓冲板Ⅰ101和缓冲板Ⅱ102上包括平板部103和U型部104，U型部104为平板部101两端折弯形成的结构，U型部104位于平板部103两侧，形成非封闭的钣金结构，缓冲板Ⅰ101上的U型部104上远离平板部103的一侧设有定位孔Ⅰ105，对应地，缓冲板Ⅱ102的平板部103上设有定位孔Ⅱ106，通过螺栓Ⅰ3穿过定位孔Ⅰ105和定位孔Ⅱ106，实现缓冲板Ⅰ101和缓冲板Ⅱ102定位，缓冲板Ⅰ101和缓冲板Ⅱ102定位后，缓冲板Ⅰ101的U型部104与缓冲板Ⅱ102的U型部104相互垂直，缓冲板Ⅰ101的平板部103上设有定位孔Ⅲ107，螺栓Ⅱ4安设在定位孔Ⅲ107内，形成与外部设备连接，缓冲板Ⅱ102上的U型部104上远离平板部103的一侧设有定位孔Ⅳ108，对应地，隔振板2的上设有定位孔
Ⅴ
201，通过螺栓Ⅲ5穿过定位孔Ⅳ108和定位孔
Ⅴ
201形成缓冲板Ⅱ102与隔振板2定位，缓冲板Ⅰ101与缓冲板Ⅱ102固定后，缓冲板Ⅱ102与隔振板2固定后，形成空槽109，在空槽109内可安设发泡软材，提高减振性能，缓冲板Ⅰ101上的材料弹性系数为12500
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13500kg/mm
²
，抗拉强度为310
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350Mpa，缓冲板Ⅱ102上的材料弹性系数为11500
‑
11900kg/mm
²
，抗拉强度为340
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390Mpa，隔振板2上的材料弹性系数为7500
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8500kg/mm
²
，抗拉强度为430
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470Mpa。
[0019]双U型互锁结构，配合上部锁固和底部螺栓锁固，在多层隔振板及其以上产品质量达至缓冲板结构最大承重质量40%
‑
50%时，XYZ三向从底部锁固4螺栓传递而来的高频振动被有效消减；缓冲板Ⅱ结构消减X方向振动和部分Z向振动；缓冲板Ⅰ结构消减Y向振动和部分Z向振动。双U结构的振动消减效果取决于U型钣金折弯成品的弹性系数和厚度。
[0020]经过数据测试：1、Z向振动振幅：同类结构振幅可达120微米左右偏差，该结构经过系列测试可控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，其特征在于：缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，缓冲板Ⅱ位于缓冲板Ⅰ底部，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上。2.根据权利要求1所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ为钣金件，钣金件两端为对称的双U型结构。3.根据权利要求2所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ上包括平板部和U型部，U型部为平板部两端折弯形成的结构，U型部位于平板部两侧，形成非封闭的钣金结构。4.根据权利要求3所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ上的U型部上远离平板部的一侧设有定位孔Ⅰ，对应地，缓冲板Ⅱ的平板部上设有定位孔Ⅱ。5.根据权利要求4所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：通过螺栓Ⅰ穿过定位孔Ⅰ和定位孔Ⅱ，实现缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位。6.根据权利要求5所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位后，缓冲板Ⅰ的U型部与缓冲板Ⅱ的U型部相互垂直。7.根据权利要求3所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ的平板部上设有定位孔Ⅲ，螺栓Ⅱ安设在定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘玉刚，
申请(专利权)人：东莞市恒发电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：