一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，包括第一相机、第二相机、镜组主体、分光镜和反射镜，第一相机固定安装于镜组主体的上端，第二相机固定安装于镜组主体的一侧，分光镜和反射镜均设置于镜组主体腔内且置于同一水平线上，使得进入镜组主体内的光线经分光镜后分为两部分光线，一部分光线进入第一相机，另一部分光线折射到反射镜后进入第二相机。通过光路共用，极大地简化了晶圆检测光学系统，降低了设备的制备成本；而且第一相机和第二相机的轴线呈平行关系，可方便使用者检测观察、提高检测效率。提高检测效率。提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置


[0001]本技术属于检测设备
，具体涉及一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆在制备过程中，会出现晶圆表面冗余物、晶体缺陷、机械损伤等多种缺陷。因此，需要通过晶圆检测设备来检测晶圆表面的微观形貌分布情况及晶圆的缺陷。全自动晶圆检测设备的显微检测系统包含一套自动显微检测装置和一套人工复判显微取像装置，现有的设计是将显微检测系统与人工复判显微取像系统做成两套独立的光学检测系统，该设计方式使得晶圆检测设备的制造成本十分昂贵，设备机构过于复杂，而且会占据较大的空间。提供一种能够简化机构、降低成本、提高空间利用率的双相机晶圆显微检测装置，是目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]为了解决现有晶圆显微检测装置成本较高、结构复杂且占用空间较大等问题，本申请提供一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，以解决晶圆限位检测装置在使用过程中存在的技术缺陷问题。
[0004]本技术提出了一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，包括第一相机、第二相机、镜组主体、分光镜和反射镜，第一相机固定安装于镜组主体的上端，第二相机固定安装于镜组主体的一侧，分光镜和反射镜均设置于镜组主体腔内且置于同一水平线上，使得进入镜组主体内的光线经分光镜后分为两部分光线，一部分光线进入第一相机，另一部分光线折射到反射镜后进入第二相机。通过第一相机与第二相机之间共用光路，使得能够在一个镜组主体上安装有两个相机，结构紧凑、极大地提高了空间利用率，同时简化显微光学系统、降低设备成本。
[0005]优选的，第一相机的轴线与第二相机的轴线呈平行关系。方便使用者对晶圆进行检测观察。
[0006]优选的，第一相机为线扫相机，第二相机为面阵相机。线扫相机用于自动显微检测，面阵相机用于人工复判显微取像。
[0007]优选的，镜组主体内设置有安装面，分光镜和反射镜通过UV胶固化在安装面上。可通过自动机械点胶或网印施胶，方便操作、极大地提高了工作效率，而UV胶有极好的粘接效果，可快速固定分光镜和反射镜。
[0008]优选的，反射镜与水平面的角度为45
°
，分光镜的反射面与反射镜平行。以顺利将一部分光线折射到反射镜。
[0009]优选的，分光镜为三棱柱体分光镜。通过分光镜将进入镜组主体的光线分为两部分光线。
[0010]优选的，还包括物镜，物镜通过螺纹锁附于镜组主体的末端。物镜利用光线使被检
物体第一次成象，直接关系和影响成象的质量和各项光学技术参数，通过螺纹可牢靠固定在镜组主体上。
[0011]进一步优选的，还包括镜筒透镜，镜筒透镜嵌入镜组主体内并置于物镜的上方，镜筒透镜的两侧通过止付螺丝固定住。镜筒透镜与物镜相配使用，两者结合起来把物镜的像差作十分完善的校正，而且物镜的视域相当宽阔，比传统物镜的视域扩大约40％。
[0012]优选的，第一相机通过螺纹锁附于镜组主体的上端。通过螺纹锁附，结实牢靠。
[0013]优选的，还包括连接件，连接件安装于镜组主体上，第二相机与连接件螺纹连接。通过连接件以便固定连接第二相机。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益成果在于：
[0015]通过分光镜与反射镜的设置，使得进入镜组主体的的光线能够一分为二，一部分光线进入第一相机，另一部分光线经反射镜进入第二相机，极大地简化了晶圆检测光学系统，降低了设备的制备成本。而且第一相机和第二相机的轴线呈平行关系，可方便使用者检测观察、提高检测效率。
附图说明
[0016]包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本技术的原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。
[0017]图1是根据本技术的一个具体实施例的双相机晶圆显微检测装置的爆炸图；
[0018]图2是根据本技术的一个具体实施例的双相机晶圆显微检测装置的剖面图；
[0019]图3是根据本技术的一个具体实施例的双相机晶圆显微检测装置的光路结构图。
[0020]图中各编号的含义：1
‑
第一相机、2
‑
第二相机、3
‑
镜组主体、4
‑
分光镜、
‑5‑
反射镜、6
‑
连接件、7
‑
物镜、8
‑
镜筒透镜、9
‑
端盖、10
‑
光线、11
‑
竖直光线、12
‑
水平光线。
具体实施方式
[0021]在以下详细描述中，参考附图，该附图形成详细描述的一部分，并且通过其中可实践本技术的说明性具体实施例来示出。对此，参考描述的图的取向来使用方向术语，例如“顶”、“底”、“左”、“右”、“上”、“下”等。因为实施例的部件可被定位于若干不同取向中，为了图示的目的使用方向术语并且方向术语绝非限制。应当理解的是，可以利用其他实施例或可以做出逻辑改变，而不背离本技术的范围。因此以下详细描述不应当在限制的意义上被采用，并且本技术的范围由所附权利要求来限定。
[0022]本技术提出了一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，图1示出了一个具体实施例的双相机晶圆显微检测装置的爆炸图，图2示出了一个具体实施例的双相机晶圆显微检测装置的剖面图，结合参考图1和图2，该装置包括第一相机1、第二相机2、镜组主体3、分光镜4、反射镜5、连接件6、物镜7、镜筒透镜8和端盖9。其中，第一相机1通过螺纹锁附固定安装在镜组主体3的上端，连接件6固定安装在镜组主体3的一侧，第二相机2通过螺纹与该连接件6固定连接，第一相机1的轴线与第二相机2的轴线呈平行关系，以方便使用者对晶
圆进行检测观察。分光镜4、反射镜5、镜筒透镜8均设置在镜组主体3的腔内，镜组主体4内设置有安装面(图中未示出)，分光镜4和反射镜5通过UV胶固化在该安装面上，可通过自动机械点胶或网印施胶，方便操作、极大地提高了工作效率，而且UV胶有极好的粘接效果，可快速固定分光镜4和反射镜5。
[0023]分光镜4、镜筒透镜8和物镜7设置在第一相机1的正下方，优选的分光镜4为三棱柱体分光镜，安装镜筒透镜8的镜组主体3两侧设有螺栓通孔，通过将止付螺丝插入该螺栓通孔以将镜筒透镜8固定住，物镜7通过螺纹锁附于镜组主体3的末端。反射镜5设置在第二相机2的正下方，镜组主体3还设有端盖9，在组装过程中，只需拆卸掉端盖9即可将反射镜5快速安装在镜组主体3上。反射镜5与水平面的角度为45
°
，分光镜4和反射镜5处于同一水平线上，使得分光镜4的反射面与反射镜5平行。镜筒透镜8与物镜7相配使用，将物镜7的像差作十分完善的校正。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，其特征在于，包括第一相机、第二相机、镜组主体、分光镜和反射镜，所述第一相机固定安装于所述镜组主体的上端，第二相机固定安装于所述镜组主体的一侧，所述分光镜和反射镜均设置于所述镜组主体腔内且置于同一水平线上，使得进入镜组主体内的光线经所述分光镜后分为两部分光线，一部分光线进入第一相机，另一部分光线折射到反射镜后进入第二相机。2.如权利要求1所述一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，其特征在于，所述第一相机的轴线与所述第二相机的轴线呈平行关系。3.如权利要求1所述一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，其特征在于，所述第一相机为线扫相机，所述第二相机为面阵相机。4.如权利要求1所述一种光路共用的双相机晶圆显微检测装置，其特征在于，所述镜组主体内设置有安装面，所述分光镜和所述反射镜通过UV胶固化在所述安装面上。5.如权利要求1所述一种光路共用的双相机晶圆显微...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊林，
申请(专利权)人：厦门柯尔自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：