一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，密封槽内部装配有O形密封圈，上固定壳内部上侧设置有密封座，密封座内部开设有定位凹槽，上固定壳内部设置有导向滑杆，导向滑杆内侧设置有支承板，导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，支承板上侧安装有定位凸块，定位凸块上端面设置有橡胶垫，导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板，该设计能够通过定位凸块与定位凹槽的匹配连接对进液管的开口位置进行密封，通过导向滑杆能够使定位凸块在逆流防止阀门内部进行上下移动，能够防止液体在阀门内部逆流。能够防止液体在阀门内部逆流。能够防止液体在阀门内部逆流。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门


[0001]本技术是一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，属于半导体制造


技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。在进行半导体制造的过程中需要使用到逆流防止阀门。
[0003]现有技术中，现有的逆流防止阀门在使用的过程中，使用效果不够好，防逆流效果不够理想，不能满足使用需求，现在急需一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门来解决上述出现的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术结构合理，便于组合安装，防逆流效果好，实用性强。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，所述上固定壳上侧安装有进液管，所述上固定壳下侧安装有第一连接板，所述上固定壳下侧设置有下固定壳，所述下固定壳上端面设置有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板内部贯穿安装有紧固螺栓，所述下固定壳下侧安装有出液管，所述进液管上端面与出液管下端面安装有法兰连接盘，所述第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，所述密封槽内部装配有O形密封圈，所述上固定壳内部上侧设置有密封座，所述密封座内部开设有定位凹槽，所述定位凹槽内部安装有密封垫，所述上固定壳内部设置有导向滑杆，所述导向滑杆内侧设置有支承板，所述导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，所述支承板上侧安装有定位凸块，所述定位凸块上端面设置有橡胶垫，所述导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板。
[0006]进一步地，所述导向滑杆上下两端面设置有固定卡座，所述固定卡座规格与导向滑杆规格相匹配，所述导向滑杆通过固定卡座与上固定壳以及下固定壳固定连接。
[0007]进一步地，所述支承板下端面内部开设有冲击槽，所述冲击槽设置为弧形结构。
[0008]进一步地，所述导向滑杆、限位挡板以及复位弹簧组成了导向复位组件，导向复位组件设置有四组，且四组所述导向复位组件规格相同，四组导向复位组件对称安装于上固定壳与下固定壳之间前后左右四侧。
[0009]进一步地，所述密封槽规格与O形密封圈规格相匹配，所述第一连接板与第二连接板通过密封槽以及O形密封圈密闭连接，所述定位凹槽规格与定位凸块规格相匹配。
[0010]进一步地，所述法兰连接盘设置有两组，且两组所述法兰连接盘规格相同，两组所述法兰连接盘分别安装于进液管上端面与出液管下端面。
[0011]本技术的有益效果：本技术的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，因本技术添加了上固定壳、第一连接板、第二连接板、下固定壳、密封座、密封垫、定位凹槽、导向滑杆、密封槽、O形密封圈、复位弹簧、限位挡板、橡胶垫、定位凸块以及支承板，该设计能够通过定位凸块与定位凹槽的匹配连接对进液管的开口位置进行密封，通过导向滑杆能够使定位凸块在逆流防止阀门内部进行上下移动，能够防止液体在阀门内部逆流。
附图说明
[0012]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0013]图1为本技术一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门的结构示意图；
[0014]图2为本技术一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门的正视剖视图；
[0015]图3为本技术一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门的俯视剖视图；
[0016]图中：1
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法兰连接盘、2
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进液管、3
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上固定壳、4
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第一连接板、5
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第二连接板、6
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紧固螺栓、7
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下固定壳、8
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出液管、9
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密封座、10
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密封垫、11
‑ꢀ
定位凹槽、12
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导向滑杆、13
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密封槽、14
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O形密封圈、15
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复位弹簧、16
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限位挡板、17
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橡胶垫、18
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定位凸块、19
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支承板、121
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固定卡座、191
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冲击槽。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]请参阅图1
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图3，本技术提供一种技术方案：一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘1、进液管2、上固定壳3、第一连接板4、第二连接板5以及紧固螺栓6，上固定壳3上侧安装有进液管2，上固定壳3下侧安装有第一连接板4，上固定壳3下侧设置有下固定壳7，下固定壳7上端面设置有第二连接板5，第一连接板4与第二连接板5内部贯穿安装有紧固螺栓6，下固定壳7下侧安装有出液管8，进液管2上端面与出液管8 下端面安装有法兰连接盘1，第一连接板4与第二连接板5内部开设有密封槽13，密封槽13内部装配有O形密封圈14，上固定壳3内部上侧设置有密封座 9，密封座9内部开设有定位凹槽11，定位凹槽11内部安装有密封垫10，上固定壳3内部设置有导向滑杆12，导向滑杆12内侧设置有支承板19，导向滑杆12环形侧面下侧安装有复位弹簧15，支承板19上侧安装有定位凸块18，定位凸块18上端面设置有橡胶垫17，导向滑杆12环形侧面下侧设置有限位挡板16，该设计能够通过定位凸块18与定位凹槽11的匹配连接对进液管2 的开口位置进行密封，通过导向滑杆12能够使定位凸块18在逆流防止阀门内部进行上下移动，能够防止液体在阀门内部逆流。
[0019]导向滑杆12上下两端面设置有固定卡座121，固定卡座121规格与导向滑杆12规格相匹配，导向滑杆12通过固定卡座121与上固定壳3以及下固定壳7固定连接，该设计便于通
过固定卡座121对导向滑杆12进行安装固定，支承板19下端面内部开设有冲击槽191，冲击槽191设置为弧形结构，该设计便于通过冲击槽191对出液管8逆流的液体进行接收，使定位凸块18能够迅速卡入定位凹槽11内部对进液管2开口进行密封。
[0020]导向滑杆12、限位挡板16以及复位弹簧15组成了导向复位组件，导向复位组件设置有四组，且四组导向复位组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，其特征在于：所述上固定壳上侧安装有进液管，所述上固定壳下侧安装有第一连接板，所述上固定壳下侧设置有下固定壳，所述下固定壳上端面设置有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板内部贯穿安装有紧固螺栓，所述下固定壳下侧安装有出液管，所述进液管上端面与出液管下端面安装有法兰连接盘，所述第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，所述密封槽内部装配有O形密封圈，所述上固定壳内部上侧设置有密封座，所述密封座内部开设有定位凹槽，所述定位凹槽内部安装有密封垫，所述上固定壳内部设置有导向滑杆，所述导向滑杆内侧设置有支承板，所述导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，所述支承板上侧安装有定位凸块，所述定位凸块上端面设置有橡胶垫，所述导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，其特征在于：所述导向滑杆上下两端面设置有固定卡座，所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉清，
申请(专利权)人：江苏阀邦半导体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：