一种硅片夹取机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片夹取机械手臂，涉及硅片技术领域，包括两个支撑架，两个所述支撑架的左端下表面均固定连接有连接部，两个所述支撑架的左端相对的一侧面均通过轴承转动连接有转轴，所述转轴的外表面固定连接有第一传动辊，两个所述支撑架的右端相对的一侧面固定连接有固定轴。本实用新型专利技术能均匀的对每片硅片进行夹取，不易造成硅片破损，而且每片硅片都能清洗的干净。片都能清洗的干净。片都能清洗的干净。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片夹取机械手臂


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种硅片夹取机械手臂。

技术介绍

[0002]在硅片制造工艺中，硅片清洗是获得高质量晶圆的必备工艺，主要用于去除硅片表面颗粒残留以及金属残留。目前常用的硅片清洗方式为槽式清洗和单片式清洗，槽式清洗根据清洗工艺设置有多个清洗槽，每次可以同时清洗若干片硅片。单片式清洗根据清洗工艺设置有多个独立的单片清洗模组，在一个单片清洗模组内可以完成一片硅片的清洗。由于槽式清洗可以将若干片硅片同时在一个清洗槽内进行清洗，提高了清洗效率，因此，槽式清洗被广泛应用在硅片制造
中。
[0003]在槽式清洗过程中，通常需要通过机械手臂进行硅片搬运，现有的硅片制造工艺中，一般采用粘胶、金刚线切割和脱胶，脱胶完成后，将几百上千硅片叠放在一起然后使用机械手臂进行运输从而进入清洗装置，在运输过程中机械臂经常会夹取多片硅片，容易造成硅片破损和硅片的清洗不干净，而且现有的机械手臂在搬运硅片过程中，容易发生硅片无序的进入清洗花篮，造成机器的使用压力大。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片夹取机械手臂，解决了上述
技术介绍
中提出的现有的硅片夹取机械手臂容易造成硅片破损和硅片的清洗不干净，机器的使用压力较大的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种硅片夹取机械手臂，包括两个支撑架，两个所述支撑架的左端下表面均固定连接有连接部，两个所述支撑架的左端相对的一侧面均通过轴承转动连接有转轴，所述转轴的外表面固定连接有第一传动辊，两个所述支撑架的右端相对的一侧面固定连接有固定轴，所述固定轴的外表面转动连接有第二传动辊，所述第二传动辊通过传送皮带与第一传动辊传动连接，所述传送皮带正面的支撑架的左端正面固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿位于传送皮带正面的支撑架并与转轴的一端固定连接，两个所述支撑架的右端相远离的一面均固定连接有气管，每个所述气管的一端均朝向传送皮带的右侧正上方区域，每个所述气管的另一端均与外部供气装置固定连接。
[0009]进一步的，所述硅片夹取机械手臂通过连接部固定连接到外部机器上。
[0010]进一步的，所述第一传动辊和第二传动辊均位于两个支撑架相对一侧面的内部，且第一传动辊和第二传动辊均与两个支撑架之间留有间隙。
[0011]进一步的，所述第一传动辊和第二传动辊均位于两个支撑架相对一侧面的内部，且第一传动辊和第二传动辊均与两个支撑架之间留有间隙。
[0012]硅片清洗装置包括清洗花篮，所述清洗花篮的右侧开设有硅片入口，所述清洗花篮的内部通过多个隔板开设有多个清洗槽，所述清洗花篮的正面、背面和左侧面均开设有多个由上至下的排水口，所述排水口均延伸至清洗花篮的内部并与清洗花篮的内侧壁平齐，所述清洗花篮的左侧内壁上固定连接有两个由上至下的感应器，所述清洗花篮的下表面固定连接有安装块。
[0013]进一步的，多个所述隔板厚度相等，且多个隔板等间距设置，多个隔板均固定连接在清洗花篮的内壁上。
[0014]进一步的，两个所述感应器关于清洗花篮的左侧内壁中线对称设置，两个所述感应器与多个排水口之间均互不接触。
[0015]进一步的，所述清洗花篮通过安装块安装在外部步进机器上，所述硅片清洗装置设置在硅片夹取机械手臂的左侧，且清洗花篮的硅片入口朝向传送皮带的左侧出口处。
[0016](三)有益效果
[0017]本技术提供了一种硅片夹取机械手臂，具备以下有益效果：
[0018](1)、该硅片夹取机械手臂，通过在支撑架上设置有两个气管，且气管的出气口朝向传送皮带右侧上方，传送皮带右侧上方为硅片的放置区域，出气口能通过气体带动水流流动，从而使得硅片之间出现空隙，使得传送皮带在对硅片进行运输时，每次仅运输一片硅片，在后续清洗过程中，硅片不易破损，而且能对每片硅片都清洗干净，解决了现有的硅片夹取机械手臂容易造成硅片破损和硅片的清洗不干净的问题。
[0019](2)、该硅片夹取机械手臂，通过在传送皮带的外表面等间距的设置有磨砂区，磨砂区的摩擦系数较大，能够带动硅片进行移动，非摩擦区的摩擦系数较小，不能带动硅片进行移动，可以保证每片硅片等距均匀的进入清洗花篮，减小了机器的使用压力，解决了现有的硅片夹取机械手臂机器的使用压力较大的问题。
附图说明
[0020]图1为本技术硅片夹取机械手臂的立体结构示意图；
[0021]图2为本技术硅片夹取机械手臂的平面结构示意图；
[0022]图3为本技术硅片夹取机械手臂图1中A处放大结构示意图；
[0023]图4为本技术硅片夹取机械手臂图1中B处放大结构示意图；
[0024]图5为本技术硅片清洗装置的内部剖视图。
[0025]图中：1、支撑架；2、连接部；3、转轴；4、第一传动辊；5、固定轴； 6、第二传动辊；7、传送皮带；8、电机；9、气管；10、磨砂区；11、清洗花篮；12、隔板；13、清洗槽；14、排水口；15、感应器；16、安装块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺
时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：
[0031]一种硅片夹取机械手臂，包括两个支撑架1，两个支撑架1的左端下表面均固定连接有连接部2，硅片夹取机械手臂通过连接部2固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片夹取机械手臂，包括两个支撑架(1)，其特征在于，两个所述支撑架(1)的左端下表面均固定连接有连接部(2)，两个所述支撑架(1)的左端相对的一侧面均通过轴承转动连接有转轴(3)，所述转轴(3)的外表面固定连接有第一传动辊(4)，两个所述支撑架(1)的右端相对的一侧面固定连接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的外表面转动连接有第二传动辊(6)，所述第二传动辊(6)通过传送皮带(7)与第一传动辊(4)传动连接，所述传送皮带(7)正面的支撑架(1)的左端正面固定连接有电机(8)，所述电机(8)的输出端贯穿位于传送皮带(7)正面的支撑架(1)并与转轴(3)的一端固定连接，两个所述支撑架(1)的右端相远离的一面均固定连接有气管(9)，每个所述气管(9)的一端均朝向传送皮带(7)的右侧正上方区域，每个所述气管(9)的另一端均与外部供气装置固定连接。2.根据权利要求1所述的硅片夹取机械手臂，其特征在于，所述硅片夹取机械手臂通过连接部(2)固定连接到外部机器上。3.根据权利要求1所述的硅片夹取机械手臂，其特征在于，所述第一传动辊(4)和第二传动辊(6)均位于两个支撑架(1)相对一侧面的内部，且第一传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王平喜，
申请(专利权)人：湖南尚亿智能制造有限公司，
类型：新型
国别省市：