一种硅片顶齿装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片顶齿装置，包括：平行设置的第一顶齿组和第二顶齿组；所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于容置硅片的顶升槽；所述第一顶齿组和第二顶齿组相对设置以形成用于顶片的空间单元；所述第一顶齿组的首尾两端和第二顶齿组的首尾两端均设置有端齿，所述端齿呈片状，所述端齿远离所述顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片。由于端齿为片状，端齿远离顶齿的侧面设置有避让部，在对石英舟或者花篮中的硅片进行部分顶出操作时，端齿不易误碰到位于端齿旁侧需留存的硅片，保证有较高的产品质量且工作效率更高。保证有较高的产品质量且工作效率更高。保证有较高的产品质量且工作效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片顶齿装置


[0001]本技术涉及硅片
，尤其是指一种硅片顶齿装置。

技术介绍

[0002]随着科技发展，对硅片的生产质量要求也愈发严格，在硅片的生产过程中，通常会使用由多个顶齿组成的顶齿组，将硅片从石英舟的槽中或者花篮的槽中顶出。
[0003]中国专利CN211789062U，公开了一种硅片用顶齿组，其能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，降低硅片表面被划伤的风险。然而，此种顶齿组一般用于将花篮或者石英舟中的硅片一次性全部顶出，且花篮或者石英舟中承载的硅片较多，相邻两硅片间的间距较小，当需要对石英舟或者花篮中的硅片进行全部顶出时，顶齿组首端以及尾端的柱形顶齿极易对旁侧需留存的硅片造成磕碰，使得硅片发生损坏。
[0004]因此，需要设计一种新的硅片顶齿装置。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种硅片顶齿装置，其第一顶齿组和第二顶齿组的首端和尾端均固定有薄片状的端齿；由于端齿为片状，端齿远离顶齿的侧面设置有避让部，在对石英舟或者花篮中的硅片进行部分顶出操作时，端齿能够避让相邻的硅片，不易误碰到位于端齿旁侧需留存的硅片，保证有较高的产品质量且工作效率更高。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片顶齿装置，包括平行设置的第一顶齿组和第二顶齿组；所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于容置硅片的顶升槽；所述第一顶齿组和第二顶齿组相对设置以形成用于顶片的空间单元；所述第一顶齿组的首尾两端和第二顶齿组的首尾两端均设置有端齿，所述端齿呈片状，所述端齿远离所述顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片。
[0007]作为优选的,所述端齿包括安装板以及设置在所述安装板顶部的齿尖，所述安装板与齿尖一体成型。
[0008]作为优选的,所述端齿的厚度为2
‑
5mm。
[0009]作为优选的,所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括插板、端齿和顶齿；两个所述端齿分别固定在所述插板的首端和尾端，多个所述顶齿排列设置在所述插板上。
[0010]作为优选的,所述插板上开设有多个插孔，所述插孔的内壁设置有光滑部和螺纹部；所述顶齿穿过所述光滑部并与所述螺纹部螺纹配合。
[0011]作为优选的,所述顶齿包括呈圆柱状的第一段部和呈圆锥状的第二段部，所述第二段部位于所述第一段部的顶端。
[0012]作为优选的,所述顶齿的表面粗糙度为Ra0.05μm
‑
Ra0.08μm。
[0013]作为优选的,所述的硅片顶齿装置，其特征在于，包括安装座，所述第一顶齿组和第二顶齿组分别设置在所述安装座的两侧。
[0014]作为优选的,所述的硅片顶齿装置，其特征在于，还包括驱动组件，所述驱动组件
与安装座连接以驱动所述安装座顶升运动。
[0015]作为优选的,所述端齿的材料为可抛光的陶瓷材料，所述端齿的长度为45mm。
[0016]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0017]1、本技术通过设置第一顶齿组和第二顶齿组，第一顶齿组和第二顶齿组中均包括多个线性排布的顶齿，使得硅片顶齿装置能够对花篮或者石英舟中的硅片进行部分顶出，工作效率高，方便作业。
[0018]2、本技术通过在第一顶齿组和第二顶齿组的首端和尾端均设置端齿，端齿为片状，厚度较薄；且端齿的侧面设置有避让部，在对花篮或者石英舟内的硅片进行部分顶出时，端齿不易触碰到位于端齿旁侧需留存的硅片，硅片不易产生破损，实用性更强。
附图说明
[0019]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中：
[0020]图1为本技术的结构示意图。
[0021]图2为图1中A区域的局部放大结构示意图。
[0022]说明书附图标记说明：10
‑
第一顶齿组，11
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第二顶齿组，12
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端齿，13
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插板，14
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镂空部，15
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安装座，16
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驱动电机，20
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安装板，21
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齿尖，22
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顶升槽，23
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第二段部，24
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第一段部，25
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插孔。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0024]参照图1
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图2所示，本技术公开了一种硅片顶齿装置，包括：
[0025]安装座15和分别设置在上述安装座15两侧的第一顶齿组10和第二顶齿组11，第一顶齿组10和第二顶齿组11中均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于放置硅片的顶升槽。上述第一顶齿组10和第二顶齿组11相互配合以用于顶取硅片。
[0026]具体的，在上述安装座15的底部设置有驱动组件，上述驱动组件包括驱动电机16，上述驱动电机16与安装座15连接，其能够驱动安装座15进行顶升运动。
[0027]上述第一顶齿组10与第二顶齿组11平行设置在安装座15上，上述第一顶齿组10与第二顶齿组11相对设置以形成用于容置硅片的空间单元。通过设置第一顶齿组10和第二顶齿组11，使得硅片顶齿装置能够对花篮或者石英舟中的硅片进行部分顶出，工作效率高，方便作业。
[0028]优选的，上述第一顶齿组10和上述第二顶齿组11均包括插板13、端齿12和顶齿。上述插板13固定在安装座15上，上述端齿12和顶齿均设置在插板13的顶部。具体的，上述端齿12的数量为二，两个所述端齿12分别设置在插板13的首端和尾端。上述顶齿设置有多个，多个所述顶齿排列设置在所述插板13上，所述顶齿位于上述两个端齿12之间，相邻两个顶齿之间形成有能够放置硅片的顶升槽22。
[0029]其中，上述插板13的顶部沿着长度方向开设有插孔25，插孔25开设有多个，上述插孔25的内壁设置有光滑部和螺纹部，上述顶齿与插孔25过渡配合。具体的，上述顶齿与插孔
25进行装配时，顶齿先穿过插孔25内壁的光滑部，而后与插孔25的螺纹部进行螺纹连接。该种连接方式能够对顶齿进行限位，保证在装配后保持竖直状态，可靠性较强，顶齿更不容易划伤硅片。
[0030]优选的，上述端齿12呈片状，端齿12远离顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片，在对硅片进行顶升时能够避免与相邻硅片发生磕碰。端齿12包括安装板20和齿尖21。齿尖21设置在上述安装板20上，上述安装板20的厚度为2mm
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5mm，优选为2mm。端齿12的长度优选为45mm,其能够保证顶升硅片时，更加平稳，硅片不易掉落。端齿12的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片顶齿装置，其特征在于，包括：平行设置的第一顶齿组和第二顶齿组；所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于容置硅片的顶升槽；所述第一顶齿组和第二顶齿组相对设置以形成用于顶片的空间单元；所述第一顶齿组的首尾两端和第二顶齿组的首尾两端均设置有端齿，所述端齿呈片状，所述端齿远离所述顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片。2.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述端齿包括安装板以及设置在所述安装板顶部的齿尖，所述安装板与齿尖一体成型。3.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述端齿的厚度为2
‑
5mm。4.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括插板、端齿和顶齿；两个所述端齿分别固定在所述插板的首端和尾端，多个所述顶齿排列设置在所述插板上。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，邓大桥，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：