一种低温压电系数测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种低温压电系数测量装置，其包括底板；样品放置盒，其固定在所述底板上，所述样品放置盒包括：样品放置盒体，与所述样品放置盒体密封配合的样品放置盒盖；所述样品放置盒体内设有样品台，所述样品放置盒体上设有冷媒通入管及冷媒流出管；所述样品放置盒盖上设有通孔；温控器，其控制所述样品台的温度；加力装置，其穿过所述通孔，并对所述样品台上放置的样品施加压力。这样就可以通过向所述样品放置盒内通入冷媒对样品进行降温，并且所述温控器控制样品的温度降低到设定温度值，采用冷媒降温的方法可以使得样品的温度降低至零下150℃，因此所述低温压电系数测量装置能测量材料在低温条件下的压电系数。能测量材料在低温条件下的压电系数。能测量材料在低温条件下的压电系数。

【技术实现步骤摘要】
一种低温压电系数测量装置


[0001]本技术属于压电系数测量领域，特别涉及一种低温压电系数测量装置。

技术介绍

[0002]目前常用的测量方法采用的测试装置如图9所示，包括电磁驱动1、电极2、参考样片3、绝缘住4、探头5，具体的，将被测样品6固定在两个电极5之间，通过电磁驱动1的交变信号产生振动，使被测样品6所受力的大小发生有规律的变化，并比较由被测样品6在电容C1产生的电信号大小与已知压电系数的参考样片3在电容C2产生的电信号大小的关系得出样品1的压电系数，一般设定C1＝C2。
[0003]但是，因为不同材料的压电系数和热膨胀系数随温度的变化不同，参考样片和被测样品间的信号比例在不同温度下会发生不可知的变化，这种压电测量装置只能测量材料在常温下的d33压电系数，并不能测量材料的可变温条件下的d33压电系数。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供一种低温压电系数测量装置，其采用下述技术方案。
[0005]一种低温压电系数测量装置，包括：底板；样品放置盒，其固定在所述底板上，所述样品放置盒包括：样品放置盒体，与所述样品放置盒体密封配合的样品放置盒盖；其中，所述样品放置盒体内设有样品台，所述样品放置盒体上设有冷媒通道；所述样品放置盒盖上设有通孔，所述通孔的位置对应所述样品台；温控器，其与所述样品台连接，其控制所述样品台的温度；加力装置，其设置在所述底板上，所述加力装置穿过所述通孔，并与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力。
[0006]与现有技术相比，本技术中所述低温压电系数测量装置具有的有益效果为：所述低温压电系数测量装置包括：底板；样品放置盒，其固定在所述底板上，所述样品放置盒包括：样品放置盒体，与所述样品放置盒体密封配合的样品放置盒盖；其中，所述样品放置盒体内设有样品台，所述样品放置盒体上设有冷媒通道；所述样品放置盒盖上设有通孔，所述通孔的位置对应所述样品台；温控器，其与所述样品台连接，其控制所述样品台的温度；加力装置，其设置在所述底板上，所述加力装置穿过所述通孔，并与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力；这样就可以通过向所述样品放置盒内通入冷媒对样品进行降温，并且所述温控器控制样品的温度降低到设定温度值，采用冷媒降温的方法可以使得样品的温度降低至零下150℃，因此所述低温压电系数测量装置能测量材料在低温条件下的压电系数。
[0007]进一步地，所述样品放置盒盖包括盒盖主体和通孔调节板；其中，所述盒盖主体上设有通孔；所述通孔调节板设置在所述盒盖主体上，且所述通孔调节板上设有第二通孔；所述第二通孔的直径小于所述通孔的直径；且所述加力装置穿过所述通孔及所述第二通孔，与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力；这样设计可以保证加力装置在少许
偏移时仍可通过所述第二通孔及所述通孔，实现所述加力装置、所述通孔及样品的被测量点在同一直线上。
[0008]进一步地，所述通孔调节板可移动地设置在所述盒盖主体上；此设计能使所述通孔调节板更灵活地进行调节。
[0009]进一步地，所述加力装置穿过所述第二通孔的部分，其与所述第二通孔之间的间隙大于1mm2，小于200mm2；这样设计能避免样品在低温条件进行测试时，大量外界空气通过所述加力装置与所述第二通孔之间的间隙进入所述样品放置盒内，在测试样品上形成水汽或者结成冰霜，进而影响测试结果。
[0010]进一步地，所述加力装置穿过所述第二通孔的部分，其与所述第二通孔之间的间隙大于3mm2，小于50mm2；这样设计能更好地这样设计既能避免样品在低温条件进行测试时，大量外界空气通过所述加力装置与所述第二通孔之间的间隙进入所述样品放置盒内，在测试样品上形成水汽或者结成冰霜，进而影响测试结果；又可以使得所述加力装置比较容易地穿过所述第二通孔及所述通孔，并且不触碰所述通孔边缘，进而影响测试结果。
[0011]进一步地，所述低温压电系数测量装置还包括探针、所述探针设置在所述样品放置盒内。
[0012]进一步地，所述加力装置包括：固定架，其固定在所述底板上，所述固定架上设有直线导轨；加力连接件，其滑动设置在所述直线导轨上，所述加力连接件上设有压力传感器，所述压力传感器与数据处理装置连接，并向数据处理装置反馈所述加力装置的加力数据信号；加力探头组件，其设置在所述加力连接件上；驱动装置，其与所述加力连接件连接，所述驱动装置驱动所述加力连接件沿所述直线导轨进行上下运动，从而带动所述加力探头组件进行上下运动，进而实现对样品的施压。
[0013]进一步地，所述加力探头组件包括：加力探头安装件，其固定在所述加力连接件上，并与所述压力传感器连接；加力探头本体，其固定在所述加力探头安装件上，所述加力探头本体穿过所述通孔，并与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力。
[0014]进一步地，所述低温压电系数测量装置还包括位置调节装置；其中，所述位置调节装置固定在所述底板上，所述样品放置盒固定在所述位置调节装置上，所述位置调节装置能调节所述样品放置盒的横向位置及纵向位置。
[0015]进一步地，所述低温压电系数测量装置还包括屏蔽外罩，所述屏蔽外罩包括：支板，其固定在所述底板上；屏蔽盖，其通过合页固定在所述支板上；其中，所述屏蔽盖通过合页实现开合；当所述屏蔽盖闭合的时候能将所述样品放置盒罩住；当所述屏蔽盖闭合的时候能将样品放置盒罩住；此结构能匹配外界的电磁干扰，使得所述压电系数测量装置的测量结果更为精准。
附图说明
[0016]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1为本实施例中测量压电薄膜材料时的所述低温压电测量装置的连接示意图；
[0018]图2为本实施例中压电薄膜材料的结构示意图；
[0019]图3为本实施例中测量压电陶瓷材料时的所低温述压电测量装置的连接示意图；
[0020]图4为本实施例中压电陶瓷材料的结构示意图；
[0021]图5为本实施例中所述低温压电测量装置的结构示意图；
[0022]图6为本实施例中所述加力装置的结构示意图；
[0023]图7为本实施例中所述样品放置盒盖的结构示意图；
[0024]图8为本实施例中所述样品放置盒盖的另一种结构示意图；
[0025]图9为采用传统测量方法的测试装置的结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面结合图1
‑
9对本技术提供的技术方案进行更为详细的阐述。
[0027]一种低温压电系数测量装置，包括：底板100；样品放置盒200，其固定在所述底板100上，所述样品放置盒200包括：样品放置盒体210，与所述样品放置盒体210密封配合的样品放置盒盖220；其中，所述样品放置盒体210内设有样品台211，所述样品放置盒体210上设有冷媒通道，其中，在本实施例中所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温压电系数测量装置，其特征在于，包括：底板；样品放置盒，其固定在所述底板上，所述样品放置盒包括：样品放置盒体，与所述样品放置盒体密封配合的样品放置盒盖；其中，所述样品放置盒体内设有样品台，所述样品放置盒体上设有冷媒通道；所述样品放置盒盖上设有通孔，所述通孔的位置对应所述样品台；温控器，其与所述样品台连接，其控制所述样品台的温度；加力装置，其设置在所述底板上，所述加力装置穿过所述通孔，并与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力。2.根据权利要求1所述的低温压电系数测量装置，其特征在于，所述样品放置盒盖包括盒盖主体和通孔调节板；其中，所述盒盖主体上设有通孔；所述通孔调节板设置在所述盒盖主体上，且所述通孔调节板上设有第二通孔；所述第二通孔的直径小于所述通孔的直径；且所述加力装置穿过所述通孔及所述第二通孔，与所述样品台上放置的样品接触，并对样品施加压力。3.根据权利要求2所述的低温压电系数测量装置，其特征在于，所述通孔调节板可移动地设置在所述盒盖主体上。4.根据权利要求2所述的低温压电系数测量装置，其特征在于，所述加力装置穿过所述第二通孔的部分，其与所述第二通孔之间的间隙大于1mm2，小于200mm2。5.根据权利要求2所述的低温压电系数测量装置，其特征在于，所述加力装置穿过所述第二通孔的部分，其与所述第二通孔之间的间隙大于3mm2，小于50mm2。6.根据权利要求1所述的低温压电系数测量装置，其特征在于，所述低温压电系数测量装置还包括探针、所述探针设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈显锋，郑志挺，
申请(专利权)人：佛山市卓膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：