一种集成电路测试机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种集成电路测试机，属于晶圆检测设备技术领域，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面的一端两侧上均固定连接有一万向轮，在所述测试机下表面远离万向轮的一端上固定连接有一支撑杆，支撑杆的一端支撑在地面上，在所述测试机本体两侧侧壁均安装有一把手，本实用新型专利技术具有方便了操作者移动测试机本体优点。试机本体优点。试机本体优点。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路测试机


[0001]本技术属于晶圆检测设备
，特别是一种集成电路测试机。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片。在晶圆上可加工制作各种芯片，使晶圆成为具有特定功能的产品。在晶圆的加工过程中，通常需将晶圆固定于晶圆测试机台上，并逐个对设置于晶圆上的芯片进行光学及电学性能的测试。
[0003]现有的测试机如申请号为CN201820725073.0的中国技术专利，公开了一种自动化晶圆测试装置，包括机体、角度调整机构、晶圆测试定位装置、测试组件、安全门及锁紧件。机体具有收容腔，收容腔的底壁形成安装面，安装面上设置有测试工位。角度调整机构安装于安装面，包括旋转组件及平移组件。晶圆测试定位装置安装于角度调整机构背向安装面的表面。测试组件设置于安装面，测试组件用于对位于测试工位的芯片进行性能检测。安全门设置于安装口的边缘。锁紧件可操作地锁闭或解锁，以使安全门锁合或打开。
[0004]上述测试机在使用过程中，一旦操作者需要更换测试机的放置地点时，操作者搬运起来比较麻烦。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种集成电路测试机，具有方便了操作者移动测试机本体的特点。
[0006]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0007]一种集成电路测试机，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面的一端两侧上均固定连接有一万向轮，在所述测试机下表面远离万向轮的一端上固定连接有一支撑杆，支撑杆的一端支撑在地面上，在所述测试机本体两侧侧壁均安装有一把手。
[0008]进一步的，在所述测试机本体两侧侧壁上均固定连接有一安装管，所述安装管呈竖直设置，在所述安装管中滑动连接有一支杆，在支杆下端端面上开设有一安装槽，在安装槽两侧内壁之间转动连接有一滚轮，所述把手通过转轴转动连接在测试机本体上，在所述把手一端上开设有一腰型槽，在所述支杆一端上固定连接有一滑杆，所述滑杆滑动连接在腰型槽中。
[0009]进一步的，所述支杆的长度大于所述把手的转轴到测试机本体下表面的距离。
[0010]进一步的，在所述支杆外壁上固定连接有一挡环，在所述支杆外壁上套设有一复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别固定连接在挡环和安装管一端端面上。
[0011]进一步的，在所述滑杆一端上螺纹连接有一挡片，所述挡片和支杆一端分别位于把手两侧。
[0012]进一步的，所述把手包括通过转轴转动连接在测试机本体侧壁上的第一杆、转动连接在第一杆靠近转轴的一端端面上的第二杆和设置在第一杆与第二杆之间用于定位第一杆与第二杆之间角度的定位件，所述腰型槽开设在第一杆远离转轴的一端上。
[0013]进一步的，所述定位件包括固定连接在第一杆一端下表面上的第一U型块、固定连接在第二杆一端下表面上的第二U型块和插接在第一U型块和第二U型块中的插板。
[0014]进一步的，在所述插板的两端上均螺纹连接有一锁紧螺栓。
[0015]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0016]1、本技术通过把手驱动支杆运动，支杆上的滚轮抵紧在地面上，支杆将测试机本体支撑起来，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者移动测试机本体。
[0017]2、本技术通过将把手设置为第一杆和第二杆，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者将把手收起来，减小了把手对操作者的影响。
附图说明
[0018]图1是本技术的结构示意图。
[0019]图2是本技术中定位件的结构示意图
[0020]图中，1、测试机本体；2、万向轮；3、支撑杆；4、把手；5、安装管；6、支杆；7、安装槽；8、滚轮；9、腰型槽；10、滑杆；11、挡环；12、复位弹簧；13、挡片；14、第一杆；15、第二杆；16、定位件；17、第一U型块；18、第二U型块；19、插板；20、锁紧螺栓。
具体实施方式
[0021]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0022]如图1所示，一种集成电路测试机，包括测试机本体1，在测试机本体1下表面的一端的两侧均固定连接有一万向轮2，在测试机本体1下表面远离万向轮2的一端的两侧均固定连接有一支撑杆3，支撑杆3一端支撑在地面上。
[0023]如图1、图2所示，为了方便操作者将测试机本体1一端提起来，在测试机本体1远离万向轮2的一端的两侧侧壁上均通过转轴转动连有有一把手4，在测试机本体1两侧侧壁上均固定连接有一安装管5，安装管5呈竖直设置，在安装管5中滑动连接有一支杆6，支杆6的长度大于把手4的转轴到测试机本体1下表面的距离，在支杆6下端端面上开设有一安装槽7，在安装槽7两侧内壁之间转动连接有一滚轮8，在支杆6上端外壁上固定连接有一滑杆10，在把手4一端上开设有一腰型槽9，腰型槽9沿着把手4长度方向设置，腰型槽9贯穿把手4，滑杆10一端滑动连接在腰型槽9中。
[0024]如图1、图2所示，为了提高滑杆10在腰型槽9中滑动的稳定性，在滑杆10穿过腰型槽9的一端上螺纹连接有一挡片13。
[0025]如图1、图2所示，为了方便支杆6复位，在支杆6外壁上固定连接有一挡环11，在支杆6外壁上套设有一复位弹簧12，复位弹簧12的两端分别固定连接在挡环11和安装管5一端端面上。
[0026]如图1、图2所示，为了减小把手4对操作者的影响，把手4包括第一杆14、第二杆15和定位件16，第一杆14通过转轴转动连接测试机本体1侧壁上，第二杆15一端通过合页转动连接在第一杆14一端上，定位件16设置在第一杆14一端和第二杆15一端之间，定位件16用于定位第一杆14和第二杆15之间的角度。
[0027]如图1、图2所示，定位件16包括第一U型块17、第二U型块18和插板19，第一U型块17
固定连接在第一杆14下表面上，第二U型块18固定连接在第二杆15下表面上，插板19插接在第一U型块17和第二U型块18中，为了提高插板19插接在第一U型块17和第二U型块18中的稳定性，在插板19两端上均螺纹连接有一锁紧螺栓20。
[0028]本技术实施例的工作原理：当需要移动测试机本体1时，转动第二杆15，使得第一杆14和第二杆15处于一条直线上，将插板19插接在第一U型块17和第二U型块18中，拧紧锁紧螺栓20；
[0029]操作者向上提第二杆15，第二杆15带动第一杆14转动，第一杆14一端通过腰型槽9和滑杆10带动支杆6滑动，支杆6上的滚轮8支撑在地面上，滚轮8将测试机本体1支撑起来。
[0030]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
[0031]尽管本文较多地使用了1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试机，包括测试机本体(1)，其特征在于，在所述测试机本体(1)下表面的一端两侧上均固定连接有一万向轮(2)，在所述测试机下表面远离万向轮(2)的一端上固定连接有一支撑杆(3)，支撑杆(3)的一端支撑在地面上，在所述测试机本体(1)两侧侧壁均安装有一把手(4)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试机，其特征在于，在所述测试机本体(1)两侧侧壁上均固定连接有一安装管(5)，所述安装管(5)呈竖直设置，在所述安装管(5)中滑动连接有一支杆(6)，在支杆(6)下端端面上开设有一安装槽(7)，在安装槽(7)两侧内壁之间转动连接有一滚轮(8)，所述把手(4)通过转轴转动连接在测试机本体(1)上，在所述把手(4)一端上开设有一腰型槽(9)，在所述支杆(6)一端上固定连接有一滑杆(10)，所述滑杆(10)滑动连接在腰型槽(9)中。3.根据权利要求2所述的一种集成电路测试机，其特征在于，所述支杆(6)的长度大于所述把手(4)的转轴到测试机本体(1)下表面的距离。4.根据权利要求2所述的一种集成电路测试机，其特征在于，在所述支杆(6)外壁上固定连接有一挡环(11)，在所述支杆(6)外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐四九，
申请(专利权)人：嘉兴威伏半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：