一种蛇型水道碳化硅吸盘制造技术

本实用新型专利技术适用于吸盘技术领域，提供了一种蛇型水道碳化硅吸盘，包括：一吸盘底座，一吸盘本体，其固定安装于所述吸盘底座的顶部，且所述吸盘本体的底部和所述吸盘底座的顶部之间无缝贴合，一连通管路，其开设于所述吸盘底座的内部，且内部流通有冷却液体，其中，所述连通管路的截面为S形，且用以增大和所述吸盘本体之间的接触面积，实现对所述吸盘本体的快速降温处理，所述吸盘底座外壁上对应所述连通管路的两端部开设有两个接口，本装置主要特点是采用S形(蛇形)连通管路的结构通过冷确水在吸盘底座中的流动降低吸盘本体温度，S形(蛇形)连通管路的设计可以使冷却面积增大，从而使温度得到很快的降低。度得到很快的降低。度得到很快的降低。

【技术实现步骤摘要】
一种蛇型水道碳化硅吸盘


[0001]本技术属于吸盘
，尤其涉及一种蛇型水道碳化硅吸盘。

技术介绍

[0002]高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2～3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附，同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨，多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用仅限用于平坦，无孔表面的工作平台，使用者通常是机器操作员，在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输方式。
[0003]自动化移载、物件吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力，将工作物(包括晶圆、玻璃、PET膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其它加工程序。
[0004]在这个过程中需要进行降温，而现有的碳化硅吸盘没有冷却功能；或冷却功能差。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种蛇型水道碳化硅吸盘，旨在解决上述
技术介绍
中提到的问题。
[0006]本技术是这样实现的，一种蛇型水道碳化硅吸盘，包括：一吸盘底座，一吸盘本体，其固定安装于所述吸盘底座的顶部，且所述吸盘本体的底部和所述吸盘底座的顶部之间无缝贴合，一连通管路，其开设于所述吸盘底座的内部，且内部流通有冷却液体，其中，所述连通管路的截面为S形，且用以增大和所述吸盘本体之间的接触面积，实现对所述吸盘本体的快速降温处理，所述吸盘底座外壁上对应所述连通管路的两端部开设有两个接口，其中，每个所述接口均和所述连通管路的其中一端部相连通。
[0007]优选的，所述吸盘底座的顶部开设有一凹槽，所述吸盘本体部分的容置于所述凹槽内，且所述吸盘本体的外壁和所述凹槽的内壁相互抵接。
[0008]优选的，所述吸盘底座包括：两个相对设置的上连接片和下连接片，其中，所述上连接片的底部开设有一第一弧形槽，所述下连接片的顶部对应所述第一弧形槽开设有一第二弧形槽，所述第一弧形槽和第二弧形槽围合拼接而成一连通管路，所述上连接片的底部和下连接片的顶部之间涂覆有耐高温胶。
[0009]优选的，所述吸盘本体的材质为碳化硅陶瓷，且其上开设有若干槽孔，所述吸盘底座的材质为致密碳化硅陶瓷。
[0010]优选的，所述吸盘本体与所述吸盘底座之间粘接有高温无机粘结剂和/或有机粘结剂中的一种或多种。
[0011]优选的，两个所述接口分别位于所述吸盘底座的两侧，且对称分布
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术的一种蛇型水道碳化硅
吸盘：
[0013]吸盘本体连接吸盘底座，吸盘底座具有接口和连通管路，吸盘本体的材质为多孔碳化硅陶瓷，吸盘底座的材质为致密碳化硅陶瓷，吸盘本体与吸盘底座通过有机粘结剂或者高温无机粘结剂粘结在一起。
[0014]本装置主要特点是采用S形(蛇形)连通管路的结构通过冷确水在吸盘底座中的流动降低吸盘本体温度，S形(蛇形)连通管路的设计可以使冷却面积增大，从而使温度得到很快的降低。
附图说明
[0015]图1为本技术的正视剖视图；
[0016]图2为本技术的正
‑
剖、展开图；
[0017]图3为本技术中第一连接片的仰视图；
[0018]图4为本技术中第二连接片的俯视图；
[0019]图5为本技术中第二实施例的吸盘底座俯视剖视图；
[0020]图6为本技术图5中A处的局部结构放大示意图；
[0021]图中：
[0022]1、吸盘底座；11、凹槽；12、上连接片；13、下连接片；
[0023]2、吸盘本体；
[0024]3、连通管路；31、第一弧形槽；32、第二弧形槽；
[0025]4、接口。
[0026](以下为本方案中的第二实施例(图5
‑
图6)的附图说明)
[0027]5、疏通管；
[0028]6、密封柱；
[0029]7、O型圈。
具体实施方式
[0030]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0031]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种蛇型水道碳化硅吸盘，包括：
[0032]一吸盘底座1，吸盘底座1的顶部开设有一凹槽11，吸盘底座1包括：两个相对设置的上连接片12和下连接片13，其中，上连接片12的底部开设有一第一弧形槽31，下连接片13的顶部对应第一弧形槽31开设有一第二弧形槽32，第一弧形槽31和第二弧形槽32围合拼接而成一连通管路3，上连接片的底部12和下连接片13的顶部之间涂覆有耐高温胶，吸盘底座1的材质为致密碳化硅陶瓷。
[0033]一吸盘本体2，其固定安装于吸盘底座1的顶部，且吸盘本体2的底部和吸盘底座1的顶部之间无缝贴合，吸盘本体2部分的容置于凹槽11内，且吸盘本体2的外壁和凹槽11的内壁相互抵接，吸盘本体2的材质为碳化硅陶瓷，且其上开设有若干槽孔，吸盘本体2与吸盘底座1之间粘接有高温无机粘结剂和/或有机粘结剂中的一种或多种。
[0034]具体的，工作人员在吸盘底座1的顶部固定安装一吸盘本体2，同时，利用高温无机粘结剂或者有机粘结剂将吸盘本体2和吸盘底座1进行粘接固定，避免二者在使用时出现松脱，影响后续对吸盘本体2的有效降温处理，进一步的，在吸盘底座1的内部设置有一连通管路3，且在本实施例中，连通管路3由第一弧形槽31和第二弧形槽32围合拼接而成，第一弧形槽31和第二弧形槽32的尺寸一致，因此，可以保证后续在使用过程中，流通在连通管路3内的冷却液体不会发生泄漏，其中，第一弧形槽31开设在上连接片12的底部，且截面为S形(蛇形)，第二弧形槽32开设在下连接片13的顶部，并和第一弧形槽31相互对应，且截面为S形(蛇形)，因此，二者组合拼接后形成已完成的S形连通管路3，从而保证了后续对吸盘本体2的降温处理。
[0035]需要说明的是，优选的，在本实施例中，工作人员在吸盘底座1的顶部开设一凹槽11，吸盘本体2嵌设固定在凹槽11内，通过凹槽11对吸盘本体2进行夹持固定，从而保证吸盘本体2安装时的稳定性，避免出现掉落的现象。
[0036]作为本实施例的优选方案，工作人员将吸盘底座1分为上连接片12和下连接片13分别制作，制作完成后通过耐高温胶粘结后进行烧结，但需注意的是，在生产过程中，对于碳化硅烧结工艺要求很高，精度要求严格。
[0037]请参阅图1
‑
4，一连通管路3，其开设于吸盘底座1的内部，且内部流通有冷却液体，其中，连通管路3的截面为S形，且用以增大和吸盘本体2之间的接触面积，实现对吸盘本体2的快速降温处理，吸盘底座1外壁上对应连通管路3的两端部开设有两个接口4，两个接口4分别位于吸盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蛇型水道碳化硅吸盘，其特征在于，包括：一吸盘底座(1)；一吸盘本体(2)，其固定安装于所述吸盘底座(1)的顶部，且所述吸盘本体(2)的底部和所述吸盘底座(1)的顶部之间无缝贴合；一连通管路(3)，其开设于所述吸盘底座(1)的内部，且内部流通有冷却液体；其中，所述连通管路(3)的截面为S形，且用以增大和所述吸盘本体(2)之间的接触面积，实现对所述吸盘本体(2)的快速降温处理；所述吸盘底座(1)外壁上对应所述连通管路(3)的两端部开设有两个接口(4)；其中，每个所述接口(4)均和所述连通管路(3)的其中一端部相连通。2.如权利要求1所述的一种蛇型水道碳化硅吸盘，其特征在于，所述吸盘底座(1)的顶部开设有一凹槽(11)；所述吸盘本体(2)部分的容置于所述凹槽(11)内；且所述吸盘本体(2)的外壁和所述凹槽(11)的内壁相互抵接。3.如权利要求2所述的一种蛇型水道碳化硅吸盘，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛卫华，高聪惠，王婷，
申请(专利权)人：河北灵禾科技有限公司，
类型：新型
国别省市：