本申请提供了一种电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机，所述电子束偏转装置包括：壳体，具有电子束的入射端和出射端，所述入射端和所述出射端限定了所述电子束的传输通道；偏转组件，位于在所述壳体内，且围绕所述传输通道设置；电子束通过孔，位于所述入射端，且与所述传输通道连通，用于限定进入所述传输通道的电子束的尺寸。本申请提出的电子束偏转装置，可以减少偏轴电子对电子束束斑尺寸的影响。的影响。的影响。
【技术实现步骤摘要】
电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机
[0001]本申请涉及电子束装置
，具体涉及一种电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机。
技术介绍
[0002]电子束偏转装置用于实现电子束的偏转。电子束偏转装置广泛应用于扫描电子显微镜以及电子束曝光机等设备中。当入射到电子束偏转装置的电子束中存在偏轴电子时，电子束偏转装置对电子束进行偏转会导致出射的电子束的束斑尺寸增大，从而使具有电子束偏转装置的扫描电子显微镜或电子束曝光机等设备的分辨率降低。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本申请提供一种电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机，能够降低偏轴电子对电子束束斑尺寸的影响。
[0004]第一方面，本申请提供了一种电子束偏转装置，包括：壳体，具有电子束的入射端和出射端，所述入射端和所述出射端限定了所述电子束的传输通道；偏转组件，位于在所述壳体内，且围绕所述传输通道设置；电子束通过孔，位于所述入射端，且与所述传输通道连通，用于限定进入所述传输通道的电子束的尺寸。
[0005]在一个实施例中，所述电子束通过孔的直径d满足0.1mm≤d≤1mm。
[0006]在一个实施例中，所述壳体包括：调整圈，位于所述入射端，所述电子束通过孔位于所述调整圈上。
[0007]在一个实施例中，所述调整圈与所述壳体的主体可拆卸连。
[0008]在一个实施例中，所述壳体包括：极靴帽，位于所述出射端，用于与极靴连接，所述极靴帽包括匹配斜面，所述匹配斜面具有与所述极靴相匹配的倾斜角。
[0009]在一个实施例中，所述偏转组件包括多个偏转电极，第一偏转电极为所述多个偏转电极中的任意一个，所述偏转装置还包括：绝缘体固定部，位于所述第一偏转电极与所述壳体之间，所述第一偏转电极通过所述绝缘体固定部与所述壳体的内表面固定。
[0010]在一个实施例中，所述绝缘体固定部包括相背的第一表面与第二表面，所述第一表面与所述第二表面均为弧面，所述第一表面与所述壳体接触，所述第二表面与所述第一偏转电极接触；其中，所述第一表面的曲率与所述壳体的内表面的曲率一致，所述第一偏转电极具有与所述绝缘体固定部接触的第三表面，所述第二表面的曲率与所述第三表面曲率一致。
[0011]在一个实施例中，所述第一偏转电极包括相背的第三表面和第四表面，所述第三表面与所述绝缘体固定部接触，所述第三表面和所述第四表面均为弧面，所述第三表面的角度小于所述第四表面的角度。
[0012]第二方面，本申请提供了一种扫描电子显微镜，所述扫描电子显微镜包括第一方面所述的电子束偏转装置。
[0013]第三方面，本申请提供了一种电子束曝光机，所述电子束曝光机包括第一方面所述的电子束偏转装置。
[0014]本申请在电子束偏转装置的壳体上设置电子束通过孔，该电子束通过孔可以将偏轴电子过滤，使偏轴电子无法进入电子束偏转装置。因此，该电子束偏转装置可以避免由于偏轴电子进入电子束偏转装置导致的出射电子束的束斑尺寸的增大，从而提高安装有电子束偏转装置的设备的分辨率。
附图说明
[0015]图1为扫描电子显微镜的示例图。
[0016]图2为本申请实施例提供的一种电子束偏转装置的示意图。
[0017]图3为图2所示的电子束偏转装置的俯视图。
[0018]图4为本申请实施例提供的一种极靴帽的示意图。
[0019]图5为图2所示的电子束偏转装置的内部示意图。
[0020]图6为本申请实施例提供的一种多偏转电极的分布示意图。
[0021]图7为本申请实施例提供的一种绝缘体固定部的俯视图。
[0022]图8为本申请实施例提供的一种第一偏转电极的俯视图。
[0023]图9为一种电子束偏转装置的电势等位线示意图。
[0024]图10为图2所示的电子束偏转装置的电势等位线示意图。
[0025]图11为图8所示的第一偏转电极的立体视图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本申请实施例的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]电子束偏转装置用于实现电子束的偏转。电子束偏转装置广泛应用于扫描电子显微镜以及电子束曝光机等设备中。
[0028]下面以扫描电子显微镜为例对电子束偏转装置进行介绍。
[0029]扫描电子显微镜是一种电子光学仪器，在材料、生物、物理、化学等领域发挥着重要的作用。扫描电子显微镜的原理为利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描；电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子；将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电子显微镜的二次电子图像或背散射电子图像。
[0030]图1为扫描电子显微镜100的示意图。扫描电子显微镜100可以包括：电子源101、聚光镜102、孔径光阑103、消像散器104、物镜105以及电子束偏转装置106。
[0031]电子源101产生电子束E。电子源101可以包含任意类型的电子源。例如，电子源101可以包括钨灯丝枪系统或场发射枪系统等。电子束E通过加速后经过聚光镜102汇聚。聚光镜102既使电子束E汇聚又可用来调节电子束E的束流。电子束E继续经过孔径光阑103以及消像散器104。接着，电子束偏转装置106对电子束E进行偏转扫描。偏转后的电子束E由物镜105汇聚后到达样品。
[0032]电子束曝光机是高精密微纳加工与芯片制造的核心设备。电子束曝光机利用聚焦
电子束，通过使用电子束偏转装置进行直写曝光，从而在晶片获得图形化结构。与扫描电子显微镜类似，电子束曝光机也包括电子源、电子束偏转装置、物镜等结构，下面不再赘述。
[0033]对于扫描电子显微镜或电子束曝光机等设备，电子束的束斑尺寸会影响这些设备的分辨率。如果束斑尺寸增大，扫描电子显微镜或电子束曝光机的分辨率会降低。
[0034]当入射到电子束偏转装置的电子束中存在偏轴电子(或称为杂散电子、散射电子等)时，电子束偏转装置对电子束进行偏转扫描会影响束斑尺寸。具体地，在电子束偏转装置的作用下，电子束主束中的电子(近轴电子)可以按照预期路径进行偏转，但是电子束中的偏轴电子却无法按照预期的路径进行偏转。这会导致出射的电子束的束斑的尺寸增大，从而导致扫描电子显微镜或电子束曝光机的分辨率降低。
[0035]本申请提出了一种电子束偏转装置，可以减少偏轴电子对电子束束斑尺寸的影响。
[0036]图2
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图3为本申请实施例提供的一种电子束偏转装置200。图2为电子束偏转装置200的立体视图，图3为电子束偏转装置200的俯视图。
[0037]电子束偏转装置200包括壳体210。壳体210具有电子束的入射端和出射端，入射端和所述出射端限定了所述电子束的传输通道。电子束从入射端入射到电子束本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子束偏转装置，其特征在于，包括：壳体，具有电子束的入射端和出射端，所述入射端和所述出射端限定了所述电子束的传输通道；偏转组件，位于在所述壳体内，且围绕所述传输通道设置；电子束通过孔，位于所述入射端，且与所述传输通道连通，用于限定进入所述传输通道的电子束的尺寸。2.根据权利要求1所述的偏转装置，其特征在于，所述电子束通过孔的直径d满足0.1mm≤d≤1mm。3.根据权利要求1所述的偏转装置，其特征在于，所述壳体包括：调整圈，位于所述入射端，所述电子束通过孔位于所述调整圈上。4.根据权利要求3所述的偏转装置，其特征在于，所述调整圈与所述壳体的主体可拆卸连。5.根据权利要求1所述的偏转装置，其特征在于，所述壳体包括：极靴帽，位于所述出射端，用于与极靴连接，所述极靴帽包括匹配斜面，所述匹配斜面具有与所述极靴相匹配的倾斜角。6.根据权利要求1所述的偏转装置，其特征在于，所述偏转组件包括多个偏转电极，第一偏转电极为所述多个偏转电极中的任意一个，所述偏转装置还包括：绝缘体固定部...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾雪峰，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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