一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃晶圆加工技术领域，且公开了一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，包括支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有仓体，所述仓体的内壁右侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的左侧固定安装有一端与仓体活动连接的第二螺纹杆，所述第一螺纹杆与第二螺纹杆的外侧均螺纹连接有套筒。该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的伺服电机、第一螺纹杆和第二螺纹杆，使用者在使用时，可通过控制器，操作伺服电机带着第一螺纹杆与第二螺纹杆相对或者相背运动，调整两个固定板之间的距离，从而夹持住不同直径大小的晶圆工件，如此实现了便于调节夹持范围的目的。了便于调节夹持范围的目的。了便于调节夹持范围的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具


[0001]本技术涉及玻璃晶圆加工
，具体为一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]现有的晶圆进行打磨处理时，需要通过打磨机进行处理，传统的打磨机对不同大小的晶圆工件进行固定时，需要借助专业的工具，进行夹持范围的调整，整个过程非常的费时费力，故而提出了一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，具备便于调节夹持范围等优点，解决了需要借助专业的工具，进行夹持范围的调整的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述便于调节夹持范围的目的，本技术提供如下技术方案：一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，包括支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有仓体，所述仓体的内壁右侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的左侧固定安装有一端与仓体活动连接的第二螺纹杆，所述第一螺纹杆与第二螺纹杆的外侧均螺纹连接有套筒，所述套筒的顶部固定安装有一端延伸到仓体上方的推杆，所述推杆的顶部固定安装有横板，所述横板的顶部固定安装有竖板，所述竖板相对的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有连接轴，所述连接轴远离驱动电机的一端固定安装有固定板，所述仓体的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有安装板，所述安装板的正面活动安装有打磨机构，所述仓体的右侧固定安装有控制器，所述仓体的顶部且位于两个所述固定板之间固定安装有放置台，所述仓体的正面活动安装有仓门。
[0008]优选的，所述仓体的顶部开设有推杆孔，所述推杆孔的大小与推杆的移动范围相匹配。
[0009]优选的，所述第一螺纹杆与第二螺纹杆的螺纹方向相反，所述第二螺纹杆通过轴承与仓体活动连接。
[0010]优选的，所述竖板为不锈钢，所述竖板与横板的连接方式为焊接。
[0011]优选的，所述固定板相对的一侧固定安装有防滑垫，所述防滑垫为橡胶防滑垫。
[0012]优选的，所述控制器为按钮式控制器，所述伺服电机、推杆和驱动电机均与控制器电连接。
[0013](三)有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，具备以下有益效果：
[0015]1、该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的伺服电机、第一螺纹杆和第二螺纹杆，使用者在使用时，可通过控制器，操作伺服电机带着第一螺纹杆与第二螺纹杆相对或者相背运动，调整两个固定板之间的距离，从而夹持住不同直径大小的晶圆工件，如此实现了便于调节夹持范围的目的。
[0016]2、该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的推杆和驱动电机，使用者在使用时，可通过控制器，操作推杆带着夹持的晶圆工件上升，启动驱动电机带着连接轴转动，使得固定板进行翻转，实现晶圆的翻面，方便另一面进行打磨，如此方便了使用者的使用，提升了装置的实用性。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术图1中A处放大图；
[0019]图3为本技术正视图。
[0020]图中：1支撑板、2仓体、3伺服电机、4第一螺纹杆、5第二螺纹杆、6套筒、7推杆、8横板、9竖板、10驱动电机、11连接轴、12固定板、13支撑架、14安装板、15打磨机构、16控制器、17放置台、18仓门。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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3，一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，包括支撑板1，支撑板1的顶部固定安装有仓体2，仓体2的内壁右侧固定安装有伺服电机3，伺服电机3的输出端固定安装有第一螺纹杆4，第一螺纹杆4的左侧固定安装有一端与仓体2活动连接的第二螺纹杆5，第一螺纹杆4与第二螺纹杆5的螺纹方向相反，第二螺纹杆5通过轴承与仓体2活动连接，第一螺纹杆4与第二螺纹杆5的外侧均螺纹连接有套筒6，套筒6的顶部固定安装有一端延伸到仓体2上方的推杆7，仓体2的顶部开设有推杆孔，推杆孔的大小与推杆7的移动范围相匹配，推杆7的顶部固定安装有横板8，横板8的顶部固定安装有竖板9，竖板9为不锈钢，竖板9与横板8的连接方式为焊接，竖板9相对的一侧固定安装有驱动电机10，驱动电机10的输出端固定安装有连接轴11，连接轴11远离驱动电机10的一端固定安装有固定板12，固定板12相对的一侧固定安装有防滑垫，防滑垫为橡胶防滑垫，仓体2的顶部固定安装有支撑架13，支撑架13的顶部固定安装有安装板14，安装板14的正面活动安装有打磨机构15，仓体2的右侧固定安装有控制器16，控制器16为按钮式控制器，伺服电机3、推杆7和驱动电机10均与控制器16电连接，仓体2的顶部且位于两个固定板12之间固定安装有放置台17，仓体2的正面活动安装有仓门18，该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的伺服电机3、第一螺纹杆4和第二
螺纹杆5，使用者在使用时，可通过控制器16，操作伺服电机3带着第一螺纹杆4与第二螺纹杆5相对或者相背运动，调整两个固定板12之间的距离，从而夹持住不同直径大小的晶圆工件，如此实现了便于调节夹持范围的目的，该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的推杆7和驱动电机10，使用者在使用时，可通过控制器16，操作推杆7带着夹持的晶圆工件上升，启动驱动电机10带着连接轴11转动，使得固定板12进行翻转，实现晶圆的翻面，方便另一面进行打磨，如此方便了使用者的使用，提升了装置的实用性。
[0023]综上所述，该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的伺服电机3、第一螺纹杆4和第二螺纹杆5，使用者在使用时，可通过控制器16，操作伺服电机3带着第一螺纹杆4与第二螺纹杆5相对或者相背运动，调整两个固定板12之间的距离，从而夹持住不同直径大小的晶圆工件，如此实现了便于调节夹持范围的目的，该超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，通过设置的推杆7和驱动电机10，使用者在使用时，可通过控制器16，操作推杆7带着夹持的晶圆工件上升，启动驱动电机10带着连接轴11转动，使得固定板12进行翻转，实现晶圆的翻面，方便另一面进行打磨，如此方便了使用者的使用，提升了装置的实用性，解决了需要借助专业的工具，进行夹持范围的调整的问题。
[0024]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超薄玻璃晶圆的固定装夹工具，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部固定安装有仓体(2)，所述仓体(2)的内壁右侧固定安装有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出端固定安装有第一螺纹杆(4)，所述第一螺纹杆(4)的左侧固定安装有一端与仓体(2)活动连接的第二螺纹杆(5)，所述第一螺纹杆(4)与第二螺纹杆(5)的外侧均螺纹连接有套筒(6)，所述套筒(6)的顶部固定安装有一端延伸到仓体(2)上方的推杆(7)，所述推杆(7)的顶部固定安装有横板(8)，所述横板(8)的顶部固定安装有竖板(9)，所述竖板(9)相对的一侧固定安装有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)的输出端固定安装有连接轴(11)，所述连接轴(11)远离驱动电机(10)的一端固定安装有固定板(12)，所述仓体(2)的顶部固定安装有支撑架(13)，所述支撑架(13)的顶部固定安装有安装板(14)，所述安装板(14)的正面活动安装有打磨机构(15)，所述仓体(2)的右侧固定安装有控制器(16)，所述仓体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长坤，谢永奕，王永，
申请(专利权)人：广东硅峰半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：