一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体制造技术

一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体，它涉及一种传感器芯体，具体涉及一种压力传感器芯体，它包含不锈钢体、空腔、第一电阻片、第二电阻片、第三电阻片和第四电阻片，所述的不锈钢体分为底部体区、壁筒体和顶部体，所述的底部体和顶部体通过壁筒体连接，所述的空腔贯穿底部体和壁筒体，所述的第一电阻片和第二电阻片对称烧结于壁筒体的外表面上，所述的第三电阻片和第四电阻片于顶部体的外表面上，它通过精密机加工技术，用一块不锈钢棒制作含有壁筒部分和压力接口部分的一体化基体，在不锈钢基体的壁筒上烧结厚膜电阻应变片，具有耐腐蚀、密封性好和制作成本低等特点。密封性好和制作成本低等特点。密封性好和制作成本低等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体


[0001]本技术涉及传感器
，具体涉及一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体。

技术介绍

[0002]当前耐腐蚀、耐高温和高量程的压力传感器在国内有极大的需求，而传统的壁筒式压力传感器都存在着如下缺点：
[0003]1、采用金属应变片，其具有压力应变系数小，灵敏度低；
[0004]2、金属应变片同起敏感膜作用的筒壁之间采用粘接工艺，具有迟滞误差大，温度干扰大的问题；
[0005]3、传统的壁筒式压力传感器的壁筒部分同传感器压力接口部分采用分体结构，需另加焊接为一体，从而影响传感器的耐腐性和密封功能。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体，它通过精密机加工技术，用一块不锈钢棒制作含有壁筒部分和压力接口部分的一体化基体，在不锈钢基体的壁筒上烧结厚膜电阻应变片，以此制作为压力传感器。
[0007]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案是：一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体，它包含不锈钢体1、空腔2、第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5和第四电阻片6，所述的不锈钢体1分为底部体区1
‑
1、壁筒体1
‑
2和顶部体1
‑
3，所述的底部体区1
‑
1和顶部体1
‑
3通过壁筒体1
‑
2 连接，所述的空腔2贯穿底部体区1
‑
1和壁筒体1/>‑
2，所述的第一电阻片3和第二电阻片4对称烧结于壁筒体1
‑
2的外表面上，所述的第三电阻片5和第四电阻片6烧结于顶部体1
‑
3内，第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片 5和第四电阻片6为厚膜电阻压力应变电阻片，且通过电线连接构成惠斯通电桥。
[0008]进一步的，所述的第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5、第四电阻片6与不锈钢体1之间设有介质层7。
[0009]进一步的，所述的介质层7的厚度为40μm
‑
70μm。
[0010]进一步的，所述的底部体区1
‑
1和壁筒体1
‑
2形成T形状。
[0011]本技术的工作原理：
[0012]本技术通过精密机加工技术，将一块不锈钢棒制作成含空腔2的不锈钢体1，并将其不锈钢体1分为底部体区1
‑
1、壁筒体1
‑
2和顶部体1
‑
3三个区域，形成含有壁筒部分和压力接口部分的一体化基体件，之后在其不锈钢基体件的壁筒上烧结第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5和第四电阻片6，其中第一电阻片3和第二电阻片4烧结于不锈钢基体的边缘，第三电阻片5和第四电阻片6烧结于不锈钢基体的介质中心附近。
[0013]本技术使用时，第一电阻片3和第二电阻片4构成的电阻对与第三电阻片5和
第四电阻片6构成的电阻对在功能上两两对称，组成惠斯通电桥结构，当不锈钢体在受到外界压力条件下，有两个电阻受到拉应力，阻值变大，而另外两个电阻受到压应力，阻值变小，因此得到差分信号，然后将差分信号转换成压力信号，进而获得的传感器输出信号。
[0014]采用上述技术方案后，本技术有益效果为：
[0015]1、本技术采用不锈钢作为应变介质，具有较高的压力应变系数和较高的灵敏度；
[0016]2、本技术采用将厚膜电阻应变片烧结于不锈钢壁筒上的方式，避免了信号迟滞误差和外界温度对电阻片的干扰；
[0017]3、本技术采用不锈钢棒作为压力传感器的一体化基体件，取消了焊接工艺，提高了传感器的耐腐蚀性和密封性；
[0018]4本技术的制作成本相对于传统压力传感器的制作成本更低。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本技术的结构示意图。
[0021]图2是图1中A
‑
A处的方向示意图。
[0022]图3是图1中B
‑
B处的方向示意图。
[0023]图4是图2中C处的放大示意图。
[0024]图5是本实施例的工作原理示意图。
[0025]图6是本实施例中第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5和第四电阻片6组成的电路示意图。
[0026]附图标记说明：不锈钢体1、底部体区1
‑
1、壁筒体1
‑
2、顶部体1
‑
3、空腔2、第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5、第四电阻片6、介质层 7。
具体实施方式
[0027]参看图1
‑
图6所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含不锈钢体1、空腔2、第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5和第四电阻片6，所述的不锈钢体1分为底部体区1
‑
1、壁筒体1
‑
2和顶部体1
‑
3，所述的底部体区1
‑
1和顶部体1
‑
3通过壁筒体1
‑
2连接，所述的空腔2贯穿底部体区1
‑
1 和壁筒体1
‑
2，所述的第一电阻片3和第二电阻片4对称烧结于壁筒体1
‑
2的外表面上，所述的第三电阻片5和第四电阻片6以不锈钢体1烧结于顶部体 1
‑
3的外表面上，第一电阻片(3)、第二电阻片(4)、第三电阻片(5)和第四电阻片(6)通过电线连接构成惠斯通电桥，第一电阻片3和第二电阻片4为电阻值可变的厚膜电阻应变片，第三电阻片5和第四电阻片6为电阻值固定的厚膜电阻应变片。
[0028]所述的第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5、第四电阻片6与不锈钢体1之间设有介质层7。
[0029]所述的介质层7的厚度为70μm。
[0030]所述的底部体区1
‑
1和壁筒体1
‑
2形成T形状。
[0031]本实施例通过精密机加工技术，将一块不锈钢棒制作成含空腔2的不锈钢体1，并将其不锈钢体1分为底部体区1
‑
1、壁筒体1
‑
2和顶部体1
‑
3三个区域，形成含有壁筒部分和压力接口部分的一体化基体件，之后在其不锈钢基体件的壁筒上烧结第一电阻片3、第二电阻片4、第三电阻片5和第四电阻片6，其中第一电阻片3和第二电阻片4烧结于不锈钢基体的边缘，第三电阻片5和第四电阻片6烧结于不锈钢基体的外表面上，由此将第一电阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种壁筒式不锈钢一体厚膜压力传感器芯体，其特征在于：它包含不锈钢体(1)、空腔(2)、第一电阻片(3)、第二电阻片(4)、第三电阻片(5)和第四电阻片(6)，所述的不锈钢体(1)分为底部体区(1
‑
1)、壁筒体(1
‑
2)和顶部体(1
‑
3)，所述的底部体区(1
‑
1)和顶部体(1
‑
3)通过壁筒体(1
‑
2)连接，所述的空腔(2)贯穿底部体区(1
‑
1)和壁筒体(1
‑
2)，所述的第一电阻片(3)和第二电阻片(4)对称烧结于壁筒体(1
‑
2)的外表面上，所述的第三电阻片(5)和第四电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王锋，
申请(专利权)人：深圳市森斯维尔技术有限公司，
类型：新型
国别省市：