本实用新型专利技术提供一种定位装置，用于在单晶炉副炉室与炉盖合炉时进行定位，包括炉体连接支架本体，所述炉体连接支架本体用于固定在单晶炉炉体上端；定位机构，所述定位机构安装在所述炉体连接支架本体上端，用于对单晶炉炉盖进行定位。所述定位机构包括缓冲件，所述缓冲件的第一端固定在所述炉体连接支架本体的上端；引导定位块，所述引导定位块连接在所述缓冲件的第二端，用于引导所述单晶炉炉盖并进行定位。根据本实用新型专利技术实施例的定位装置，所述引导定位块能够引导炉盖在合炉过程中的运动轨迹，保证炉盖在合炉过程中的精准定位；所述缓冲件可以缓冲炉盖与定位装置因碰撞而产生的应力，从而达到合炉无碰撞震动的效果。从而达到合炉无碰撞震动的效果。从而达到合炉无碰撞震动的效果。
【技术实现步骤摘要】
定位装置
[0001]本技术涉及单晶硅制备
，具体涉及一种定位装置。
技术介绍
[0002]直拉单晶炉在合炉时，为了使炉盖能够安放到准确的位置，需要通过定位装置对炉盖进行定位。
[0003]现有的直拉单晶炉设备大多在炉体上端设置定位块对炉盖进行定位，定位块可以起到对炉盖的限位作用，防止炉盖偏离预定位置。但是，在合炉时，炉盖因自重与运动惯性很容易与定位块发生碰撞，导致炉盖、定位装置以及提拉头上的精密元件出现不同程度上的损伤，进而导致单晶炉提升系统、坩埚系统和水冷系统也会因碰撞出现中心偏移的情况。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术提供一种定位装置，能够缓冲炉盖与定位装置碰撞所产生的应力，并引导炉盖的运动轨迹，从而达到合炉无碰撞震动的效果以及炉盖精准定位的效果。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0006]根据本技术实施例的定位装置，包括：
[0007]炉体连接支架本体，所述炉体连接支架本体用于固定在单晶炉炉体上端；
[0008]定位机构，所述定位机构安装在所述炉体连接支架本体上端，用于对单晶炉炉盖进行定位，所述定位机构包括：
[0009]缓冲件，所述缓冲件的第一端固定在所述炉体连接支架本体的上端；
[0010]引导定位块，所述引导定位块连接在所述缓冲件的第二端，用于引导所述单晶炉炉盖并进行定位。
[0011]进一步地，所述缓冲件包括多个，多个缓冲件在所述炉体连接支架本体上沿竖直方向间隔开排列。
[0012]更进一步地，所述缓冲件为矩形缓冲弹簧。
[0013]更进一步地，多个所述矩形缓冲弹簧的极限压缩率从上至下依次减小。
[0014]根据本技术实施例的定位装置，所述引导定位块的顶部形成为倾斜面，其中，远离所述炉体连接支架本体一侧高度低于面向所述炉体连接支架本体一侧高度。
[0015]进一步地，所述定位块通过定位块支撑螺丝连接在所述炉体连接支架本体上，其中所述矩形缓冲弹簧套设在所述定位块支撑螺丝上。
[0016]更进一步地，所述炉体连接支架本体形成为L形。
[0017]根据本技术实施例的定位装置，还包括：
[0018]可调式支架，所述炉体连接支架本体上形成有竖直方向上的长孔，所述可调式支架的靠近所述炉体连接支架本体的一端形成有螺纹孔，通过螺钉穿过所述长孔螺合在所述螺纹孔内将所述可调式支架连接在所述炉体连接支架本体上。
[0019]进一步地，所述可调式支架有多个，多个所述可调式支架在所述炉体连接支架本体上间隔开排列。
[0020]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0021]根据本技术实施例的定位装置，增加了矩形缓冲弹簧，能够缓冲炉盖与定位装置碰撞所产生的应力，从而达到合炉无碰撞震动的效果
[0022]进一步地，定位块能够引导炉盖的运动轨迹，保证炉盖在合炉过程中的精准定位。
附图说明
[0023]图1为本技术实施例的定位装置结构示意图。
[0024]附图标记：1.引导定位块；2.矩形缓冲弹簧；3.定位块支撑螺丝；4.可调式支架；5.炉体连接支架本体。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]除非另作定义，本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
[0027]下面首先结合附图具体描述根据本技术实施例的定位装置。
[0028]根据本技术实施例的定位装置，如图1所示，包括炉体连接支架本体5、定位机构。其中，炉体连接支架本体5用于固定在单晶炉炉体上端；定位机构安装在炉体连接支架本体5上端，用于对单晶炉炉盖进行定位。
[0029]定位机构包括缓冲件和引导定位块1，缓冲件的第一端固定在炉体连接支架本体5的上端；引导定位块1连接在缓冲件的第二端，用于引导单晶炉炉盖并进行定位。也就是说，引导定位块1通过缓冲件连接在炉体连接支架本体5的上端。
[0030]本定位装置设置有引导定位块1，该引导定位块1能够引导炉盖的运动轨迹，保证炉盖在合炉过程中的精准定位；另外，引导定位块1与炉体连接支架本体5之间增设了缓冲件，该缓冲件可以缓冲炉盖与定位装置因碰撞而产生的应力，从而达到合炉无碰撞振动的效果。
[0031]根据本技术实施例的定位装置，如图1所示，缓冲件可以包括多个，多个缓冲件在炉体连接支架本体5上沿竖直方向间隔开排列。设置多个缓冲件是为了在引导定位块1引导炉盖的过程中，让炉盖的运动更加稳定，防止出现剧烈的晃动。
[0032]进一步地，缓冲件可以为矩形缓冲弹簧2。矩形缓冲弹簧2的截面面积大，承载能力
强，适合缓冲单晶炉炉盖这种大重量的物件所产生的应力。
[0033]更进一步地，多个矩形缓冲弹簧2的极限压缩率从上至下依次减小。也就是说，多个矩形缓冲弹簧2从上至下弹性逐渐变小，刚性逐渐增强。由此，在引导定位块1引导炉盖的过程中，上部的矩形缓冲弹簧2极大地缓冲合炉过程中碰撞所产生的应力，通过逐渐变刚的下部的矩形缓冲弹簧2来限制单晶炉炉盖发生较大晃动导致的偏移，使得单晶炉炉盖的运动轨迹更加平滑，定位更加精准。例如，图1所示包括三个矩形缓冲弹簧2，最上部的矩形缓冲弹簧2使用32％极限压缩率的弹簧，进行稳定；中部的矩形缓冲弹簧2使用24％极限压缩率弹簧，进行纠偏和缓冲；下部的矩形缓冲弹簧2使用20％极限压缩率弹簧，进行炉盖的定位和防偏。
[0034]根据本技术实施例的定位装置，如图1所示，引导定位块1的顶部形成为倾斜面，其中，远离炉体连接支架本体5一侧高度低于面向炉体连接支架本体5一侧高度。如果引导定位块1上端设置成直角，炉盖在接触到引导定位块1上表面时，引导定位块1会阻碍炉盖的下降，炉盖对定位机构产生的推力可能会损坏定位机构，通过将引导定位块1顶部设置成倾斜面，则炉盖与引导定位块1一开始接触时，炉盖首先接触到倾斜面，然后沿着倾斜面向下运动，也就是说通过该倾斜面引导炉盖的下降，结构简单便于加工的同时也能尽可能避免对炉盖产生冲击应力。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种定位装置，用于在单晶炉副炉室与炉盖合炉时进行定位，其特征在于，包括：炉体连接支架本体，所述炉体连接支架本体用于固定在单晶炉炉体上端；定位机构，所述定位机构安装在所述炉体连接支架本体上端，用于对单晶炉炉盖进行定位，所述定位机构包括：缓冲件，所述缓冲件的第一端固定在所述炉体连接支架本体的上端；引导定位块，所述引导定位块连接在所述缓冲件的第二端，用于引导所述单晶炉炉盖并进行定位。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述缓冲件包括多个，多个缓冲件在所述炉体连接支架本体上沿竖直方向间隔开排列。3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述缓冲件为矩形缓冲弹簧。4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，多个所述矩形缓冲弹簧的极限压缩率从上至下依次减小。5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述引...
【专利技术属性】
技术研发人员：张招洋，朱光瑞，路鑫，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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