本实用新型专利技术属于蚀刻设备技术领域，尤其涉及一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统。喷淋过滤装置包括壳体结构和过滤结构。壳体结构具有过滤腔，壳体结构的表面开设有供混合流体流入过滤腔的进液口以及供混合流体流出过滤腔的出液口。过滤结构位于过滤腔，过滤结构包括相对进液口设置的过滤框以及连接过滤框的过滤袋，过滤框竖直设置且两端分别可拆卸地连接过滤腔的两侧腔壁，过滤框具有安置腔，过滤袋的开口端连接安置腔的腔口边缘，过滤袋的另一端朝背离进液口的方向延伸设置。壳体结构还开设有连通过滤腔且供过滤结构拆装的安装孔。本实用新型专利技术实现了对混合流体中固体的过滤，而且固体杂质的集中收集，便于后续对固体的回收和清理。便于后续对固体的回收和清理。便于后续对固体的回收和清理。
【技术实现步骤摘要】
一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统
[0001]本技术属于蚀刻设备
，尤其涉及一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统。
技术介绍
[0002]目前，蚀刻液在对原板进行蚀刻时会产生淤泥状的固体杂质以及铜盐沉淀。因此，在对蚀刻用后液进行电解回收利用时，蚀刻用后液也带有固体杂质。
[0003]酸性氯化铜蚀刻液被广泛应用于蚀刻板的蚀刻中，该溶液包括HCl，CuCl 2和NaCl成分。含二价铜离子的蚀刻液在蚀刻后形成含一价铜离子的溶液，蚀刻用后液的回收利用实质上对铜的回收利用，即将一价铜离子氧化成二价铜离子并进行电解生成铜，其氧化过程中需将高氧化性气体或溶液通入含一价铜离子的溶液中，其氧化过程加电解过程即回收过程中，含一价铜离子溶液与高氧化性气体或溶液的接触需要常需要利用管路和喷嘴。
[0004]在蚀刻用后液回收系统中，如果不对固体杂质进行清除，固体杂质长期积累在管路或喷嘴中会造成堵塞，对蚀刻用后液的回收造成影响。而且现在的过滤结构一般固定设置在蚀刻系统内，导致后续对过滤结构的拆卸和清洗麻烦。
技术实现思路
[0005]本申请实施例的目的在于提供一种喷淋过滤装置，旨在解决如何过滤喷淋药水中的固体杂质，并提高过滤结构拆卸和清洗的便利性的问题。
[0006]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种喷淋过滤装置，用于对混合流体进行过滤，其中，所述混合流体包括液体和与所述液体混合的固体，所述喷淋过滤装置包括：
[0007]壳体结构，具有过滤腔，所述壳体结构的表面开设有供所述混合流体流入所述过滤腔的进液口以及供所述混合流体流出所述过滤腔的出液口；以及
[0008]过滤结构，位于所述过滤腔，所述过滤结构包括相对所述进液口设置的过滤框以及连接所述过滤框的过滤袋，所述过滤框竖直设置且两端分别可拆卸地连接所述过滤腔的两侧腔壁，所述过滤框具有安置腔，所述过滤袋的开口端连接所述安置腔的腔口边缘，所述过滤袋的另一端朝背离所述进液口的方向延伸设置，所述过滤袋上开设有过滤孔，所述混合流体于所述进液口流入所述过滤腔，并流经所述过滤袋，再于所述出液口流出所述过滤腔，所述过滤孔阻止所述固体通过所述过滤袋，且所述过滤袋收容所述固体；
[0009]其中，所述壳体结构还开设有连通所述过滤腔且供所述过滤结构拆装的安装孔，所述安装孔的孔口朝上设置。
[0010]在一个实施例中，所述过滤框包括框本体以及与所述框本体层叠设置的固定环，所述安置腔开设于所述框本体，所述过滤袋的开口端夹持于所述框本体与所述固定环之间。
[0011]在一个实施例中，所述固定环的环表面开设有固定孔，所述框本体对应所述固定孔的位置开设有螺纹孔，所述过滤结构还包括固定螺栓，所述固定螺栓的一端穿设所述固
定孔并螺锁于所述螺纹孔内。
[0012]在一个实施例中，所述过滤腔的腔壁开设有定位滑槽，所述定位滑槽的延伸路径竖直设置，所述定位滑槽开设有两个，两所述定位滑槽相对设置，所述框本体的两端分别滑动设置于两所述定位滑槽。
[0013]在一个实施例中，所述固定环呈矩形，所述固定环的两端分别抵接两所述定位滑槽的槽口边缘。
[0014]在一个实施例中，所述过滤结构沿所述混合流体的流动方向间隔设置有多个，各所述过滤孔的孔径沿所述混合流体的流动方向依次减少设置。
[0015]在一个实施例中，所述安装孔的孔口边缘开设有密封槽，所述喷淋过滤装置还包括密封盖，所述密封盖嵌合于所述密封槽并盖合所述安装孔。
[0016]在一个实施例中，所述喷淋过滤装置还包括密封圈，所述密封圈设置于所述密封槽且所述密封盖朝下压紧所述密封圈。
[0017]在一个实施例中，所述密封槽的槽壁开设有定位穴，所述密封盖的端面对应所述定位穴的位置凸设有定位部，所述定位部卡设于所述定位穴。
[0018]本申请的另一目的还在于提供一种蚀刻系统，其包括如上所述的喷淋过滤装置。
[0019]本申请的有益效果在于：通过开设安装孔，可以便于对过滤结构的拆卸和清洗，且安装孔朝上设置，提高了操作的便利性。混合流体在流经过滤结构时，固体杂质被收容于过滤袋，不但实现了对混合流体中固体的过滤，而且固体杂质的集中收集，便于后续对固体的回收和清理。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的喷淋过滤装置的结构示意图；
[0022]图2是图1的喷淋过滤装置的爆炸示意图；
[0023]图3是图2的喷淋过滤装置的A处的局部放大图。
[0024]其中，图中各附图标记：
[0025]100、喷淋过滤装置；10、壳体结构；11、过滤腔；13、出液口；15、密封盖；16、把手；20、过滤结构；21、过滤框；211、框本体；212、固定环；22、过滤袋；221、过滤孔；217、安置腔；214、固定孔；215、螺纹孔；216、操作槽；12、进液口；13、定位滑槽；18、密封圈；151、定位部；112、定位穴；111、密封槽；
具体实施方式
[0026]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0027]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另
一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0028]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]请参阅图1及图3，本申请实施例提供了一种喷淋过滤装置100，用于对混合流体进行过滤，其中，混合流体包括液体和与液体混合的固体。可选地，本实施例中的液体为蚀刻后的药水，而固体为蚀刻过程中所产生的固体杂质。喷淋过滤装置100包括壳体结构10和过滤结构20。壳体结构10包括多块结构板，各结构板合围形成过滤腔11。可选地，结构板由塑胶材料制成，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷淋过滤装置，用于对混合流体进行过滤，其中，所述混合流体包括液体和与所述液体混合的固体，其特征在于，所述喷淋过滤装置包括：壳体结构，具有过滤腔，所述壳体结构的表面开设有供所述混合流体流入所述过滤腔的进液口以及供所述混合流体流出所述过滤腔的出液口；以及过滤结构，位于所述过滤腔，所述过滤结构包括相对所述进液口设置的过滤框以及连接所述过滤框的过滤袋，所述过滤框竖直设置且两端分别可拆卸地连接所述过滤腔的两侧腔壁，所述过滤框还开设有安置腔，所述过滤袋的开口端连接所述安置腔的腔口边缘，所述过滤袋的另一端朝背离所述进液口的方向延伸设置，所述过滤袋上开设有过滤孔，所述混合流体于所述进液口流入所述过滤腔，并流经所述过滤袋，再于所述出液口流出所述过滤腔，所述过滤孔阻止所述固体通过所述过滤袋，且所述过滤袋收容所述固体；其中，所述壳体结构还开设有连通所述过滤腔且供所述过滤结构拆装的安装孔，所述安装孔的孔口朝上设置。2.如权利要求1所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述过滤框包括框本体以及与所述框本体层叠设置的固定环，所述安置腔开设于所述框本体，所述过滤袋的开口端夹持于所述框本体与所述固定环之间。3.如权利要求2所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述固定环的环表面开设有固定孔，所述框本体对应所述固定孔的位置开设有螺纹孔，所述过滤结构还包括固定螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺海龙，
申请(专利权)人：深圳市轩宇飞龙机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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