本实用新型专利技术旨在提供一种体积小且回收效率高的废气回收结构。本实用新型专利技术包括连接块和真空集气管，所述真空集气管通过所述连接块固定在电浆设备的输出口处，所述真空集气管内设置有环状流道，所述真空集气管的侧壁上设有与外部真空发生器连通的连接接口，所述连接接口与所述环状流道连通，所述环状流道的下端设有环形进气口。本实用新型专利技术应用于气体回收的技术领域。领域。领域。
【技术实现步骤摘要】
一种废气回收结构
[0001]本技术应用于气体回收的
,特别涉及一种废气回收结构。
技术介绍
[0002]等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为。它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间、空间物理、地球物理等科学的进一步发展提供了新的技术和工艺。
[0003]用低气压等离子体处理金属或非金属固体表面。低气压等离子体中的高能电子以及与分子碰撞时产生的离子、自由基，激发态分子和原子都是一些活性粒子，它们能引起一些特殊的化学反应。例如，用等离子体法形成的聚合物薄膜，具有优良的机械、电气、化学特性。然而在使用等离子体进行作业后需要将处理后的气体进行回收，常用的回收装置有抽风风扇和真空吸嘴，其中前者体积较大占用空间较多，后者回收面积有限。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种体积小且回收效率高的废气回收结构。
[0005]本技术所采用的技术方案是：本技术包括连接块和真空集气管，所述真空集气管通过所述连接块固定在电浆设备的输出口处，所述真空集气管内设置有环状流道，所述真空集气管的侧壁上设有与外部真空发生器连通的连接接口，所述连接接口与所述环状流道连通，所述环状流道的下端设有环形进气口。
[0006]由上述方案可见，通过将所述真空集气管设置在电浆设备输出口处，进而实现及时将废气回收。真空发生器通过所述环形流道在所述环形进气口处形成负压，能够有效的将废气回收，同时整体结构小巧，安装方便。
[0007]一个优选方案是，所述真空集气管包括外管壁和内管壁，所述外管壁的长度大于所述内管道的长度，所述外管壁和所述内管壁的顶部通过环片连接为一体，所述外管壁、所述环片以及所述内管壁相配合形成所述环状流道，所述连接接口设置在所述外管壁上。
[0008]由上述方案可见，通过所述外管壁、所述环片以及所述内管壁形成所述环状流道，进而实现所述环形进气口各个位置均能够形成负压，确保废气的回收效果。通过采用一体成型的所述外管壁、所述环片以及所述内管壁，能够保证所述真空集气管的整体结构强度。同时采用所述外管壁的长度大于所述内管道的长度的设计，使得所述环形进气口的开口方向是朝着电浆设备的输出口，进而确保能够及时的回收废气，减少废气的扩散；另外，还能够听过所述外管壁与待加工结构的表面配合形成一个相对密闭的空间，减少废气的扩散。
[0009]进一步的优选方案是，电浆设备进入所述真空集气管中的长度小于所述内管壁的
长度。
[0010]由上述方案可见，通过对配合长度小于所述内管壁的长度的设计，使得所述环形进气口的负压范围能够有效的覆盖住电浆设备的输出口。
[0011]一个优选方案是，所述连接块包括第一安装件和第二安装件，所述第一安装件通过螺丝与所述真空集气管连接固定，所述第二安装件通过螺栓与所述第一安装件固定连接，所述第一安装件和所述第二安装件上均设有与电浆设备相适配弧形夹槽，所述第一安装件与所述第二安装件配合夹紧固定在电浆设备上。
[0012]由上述方案可见，通过采用夹紧固定的形式将所述真空集气管固定在电浆设备的输出口。采用分体式的连接块和两个部件均设有弧形夹槽的设计，保证安装后能够更为贴合电浆设备，并减少对电浆设备的损伤。
附图说明
[0013]图1是本技术的立体结构示意图；
[0014]图2是本技术的剖视图；
[0015]图3是本技术的分解结构示意图。
具体实施方式
[0016]如图1至图3所示，在本实施例中，本技术包括连接块1和真空集气管2，所述真空集气管2通过所述连接块1固定在电浆设备的输出口处，所述真空集气管2内设置有环状流道2a，所述真空集气管2的侧壁上设有与外部真空发生器连通的连接接口2b，所述连接接口2b与所述环状流道2a连通，所述环状流道2a的下端设有环形进气口。
[0017]在本实施例中，所述真空集气管2包括外管壁2c和内管壁2d，所述外管壁2c的长度大于所述内管壁2d的长度，所述外管壁2c和所述内管壁2d的顶部通过环片2e连接为一体，所述外管壁2c、所述环片2e以及所述内管壁2d相配合形成所述环状流道2a，所述连接接口2b设置在所述外管壁2c上。电浆设备进入所述真空集气管2中的长度小于所述内管壁2d的长度。
[0018]在本实施例中，所述连接块1包括第一安装件1a和第二安装件1b，所述第一安装件1a通过螺丝与所述真空集气管2连接固定，所述第二安装件1b通过螺栓与所述第一安装件1a固定连接，所述第一安装件1a和所述第二安装件1b上均设有与电浆设备相适配弧形夹槽1c，所述第一安装件1a与所述第二安装件1b配合夹紧固定在电浆设备上。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种废气回收结构，其特征在于：它包括连接块（1）和真空集气管（2），所述真空集气管（2）通过所述连接块（1）固定在电浆设备的输出口处，所述真空集气管（2）内设置有环状流道（2a），所述真空集气管（2）的侧壁上设有与外部真空发生器连通的连接接口（2b），所述连接接口（2b）与所述环状流道（2a）连通，所述环状流道（2a）的下端设有环形进气口。2.根据权利要求1所述的一种废气回收结构，其特征在于：所述真空集气管（2）包括外管壁（2c）和内管壁（2d），所述外管壁（2c）的长度大于所述内管壁（2d）的长度，所述外管壁（2c）和所述内管壁（2d）的顶部通过环片（2e）连接为一体，所述外管壁（2c）、所述环片（2e）以及所述内...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯峰，蔡奇陵，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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