一种晶圆片边缘腐蚀机制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆片边缘腐蚀机，具体涉及晶圆片生产领域，包括核心筒钢梁、第一连接板和第二连接板，所述核心筒钢梁上端设有卡板，所述卡板下端设有卡槽，所述卡板下端侧面与所述核心筒钢梁的侧部连接；所述第一连接板一端两侧设有若干限位槽，且所述卡槽的内侧壁可嵌入所述限位槽内；所述第一连接板另一端与所述第二连接板一端活动连接；所述第二连接板另一端通过连接装置与模块建筑连接。本实用新型专利技术可提高腐蚀效率，进而提高生产效率。进而提高生产效率。进而提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片边缘腐蚀机


[0001]本技术属于晶圆片生产领域，具体涉及一种晶圆片边缘腐蚀机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片；晶圆片生产的过程中，需对晶圆片的边缘进行腐蚀，但现有的腐蚀装置，腐蚀效率仍有待进一步提高；
[0003]针对上述不足，现需要一种晶圆片边缘腐蚀机，可提高腐蚀效率，进而提高生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种晶圆片边缘腐蚀机，可提高腐蚀效率，进而提高生产效率。
[0005]本技术提供了如下的技术方案：
[0006]一种晶圆片边缘腐蚀机，包括腐蚀液槽和晶圆片，腐蚀液槽的两端上侧设有支架，所述支架之间转动连接有第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动辊；第一传动辊和第二传动辊沿水平方向对称设置；第三传动辊和第四传动辊沿水平方向对称设置；第一传动辊和第二传动辊位于第三传动辊和第四传动辊的上方；
[0007]晶圆片位于第一传动辊和第二传动辊之间；其中第三传动辊和第四传动辊之间的距离小于晶圆片的半径，第一传动辊和第二传动辊之间的距离等于晶圆片的半径，且晶圆片的下端边缘没入腐蚀液槽的液面下。
[0008]优选的，还设置有用于驱动第三传动辊和第四传动辊的电机，电机设于支撑座上方，支撑座设于基面上。
[0009]优选的，第三传动辊和第四传动辊的端部设有传动轮，电机的驱动轴也设有传动轮，传动轮之间通过传动带连接。
[0010]优选的，第一传动辊和第二传动辊直径相同；第三传动辊和第四传动辊直径相同；第一传动辊和第二传动辊直径大于第三传动辊和第四传动辊的直径。
[0011]优选的，第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动辊外围均匀设有若干环形的限位槽，晶圆片的边缘卡合入限位槽。
[0012]优选的，第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动辊的外围均包覆有衬层。
[0013]优选的，所述衬层采用聚四氟乙烯材质。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]本技术通过传动辊的转动，带动多片晶圆转动，使晶圆片的边缘在腐蚀液槽内，完成腐蚀操作，可大大提高腐蚀操作的工作效率。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0017]图1为本技术结构图；
[0018]图2为本技术侧视图；
[0019]图3为第一传动辊结构图；
[0020]图中标记为：1、第一传动辊；2、第二传动辊；3、第三传动辊；4、第四传动辊；5、腐蚀液槽；6、支架；7、限位槽；8、晶圆片；9、传动轮；10、传动带；11、支撑座；12、电机。
具体实施方式
[0021]如图1至图3所示，一种晶圆片边缘腐蚀机，包括腐蚀液槽5和晶圆片8，腐蚀液槽5的两端上侧设有支架6，所述支架6之间转动连接有第一传动辊1、第二传动辊2、第三传动辊3和第四传动辊4；第一传动辊1和第二传动辊2沿水平方向对称设置；第三传动辊3和第四传动辊4沿水平方向对称设置；第一传动辊1和第二传动辊2位于第三传动辊3和第四传动辊4的上方；通过四个传动辊将晶圆片8支撑，通过传动辊转动带动晶圆片8转动；晶圆片8位于第一传动辊1和第二传动辊2之间；其中第三传动辊3和第四传动辊4之间的距离小于晶圆片8的半径，第一传动辊1和第二传动辊2之间的距离等于晶圆片8的半径，进而实现对晶圆片8的支撑作用，且晶圆片8的下端边缘没入腐蚀液槽5的液面下以实现对晶圆片8边缘的腐蚀；还设置有用于驱动第三传动辊3和第四传动辊4的电机12，电机12设于支撑座11上方，支撑座11设于基面上，通过电机12转动带动第三传动辊3和第四传动辊4转动。第三传动辊3和第四传动辊4的端部设有传动轮9，电机12的驱动轴也设有传动轮9，传动轮9之间通过传动带10连接进而实现传动作用。第一传动辊1和第二传动辊2直径相同；第三传动辊3和第四传动辊4直径相同；第一传动辊1和第二传动辊2直径大于第三传动辊3和第四传动辊4的直径，下部的主动轮直径较小，确保上部从动轮转速慢，转动时可以确保上部的稳定，如此可确保晶圆片8转的稳定。第一传动辊1、第二传动辊2、第三传动辊3和第四传动辊4外围均匀设有若干环形的限位槽7，晶圆片8的边缘卡合入限位槽7，可确保晶圆片8稳定，限位槽7底部之间的局部比晶圆片8大1至2毫米，如此可以确保转动稳定。第一传动辊1、第二传动辊2、第三传动辊3和第四传动辊4的外围均包覆有衬层，避免晶圆片的硬性接触，防止产生破损。所述衬层采用聚四氟乙烯材质，聚四氟乙烯材质不仅耐腐蚀，且具有良好的不粘性，确保转动的顺畅；根据实际生产需求可将通过改变限位槽7数量，放置多个晶圆片8，进而提高生产的效率。
[0022]以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片边缘腐蚀机，其特征在于：包括腐蚀液槽和晶圆片，腐蚀液槽的两端上侧设有支架，所述支架之间转动连接有第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动辊；第一传动辊和第二传动辊沿水平方向对称设置；第三传动辊和第四传动辊沿水平方向对称设置；第一传动辊和第二传动辊位于第三传动辊和第四传动辊的上方；晶圆片位于第一传动辊和第二传动辊之间；其中第三传动辊和第四传动辊之间的距离小于晶圆片的半径，第一传动辊和第二传动辊之间的距离等于晶圆片的半径，且晶圆片的下端边缘没入腐蚀液槽的液面下。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片边缘腐蚀机，其特征在于：还设置有用于驱动第三传动辊和第四传动辊的电机，电机设于支撑座上方，支撑座设于基面上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆片边缘腐蚀机，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈康，刘四化，王宜，王晓波，
申请(专利权)人：无锡瑞达半导体专用设备有限公司，
类型：新型
国别省市：