提供一种激光装置。根据一实施例的激光装置包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从第一光学系统射出的激光束沿第一方向分割的多个子光束沿与射出方向及第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从第二光学系统射出的激光束的能量在第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从第三光学系统射出的激光束在第一方向上的尺寸。向上的尺寸。向上的尺寸。
【技术实现步骤摘要】
激光装置
[0001]本专利技术涉及一种激光装置。
技术介绍
[0002]随着多媒体的发展，显示装置的重要性正在增加。对此呼应地，正在使用诸如有机发光显示装置(OLED：Organic Light Emitting Display)、液晶显示装置(LCD：Liquid Crystal Display)等各种显示装置。
[0003]上述的显示装置可以利用薄膜晶体管来控制各个像素的发光与否以及发光程度。薄膜晶体管包括半导体层、栅极电极及源极/漏极电极等，在半导体层主要使用将非晶硅(a
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Si)结晶的多晶硅(poly
‑
Si)。作为将非晶硅(a
‑
Si)结晶为多晶硅(p
‑
Si)的方法，使用向非晶硅(a
‑
Si)照射激光束而结晶的方法。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种用于制造质量均匀且优异的显示装置的激光装置。
[0005]本专利技术的技术问题并不限于以上所提及的技术问题，本领域技术人员可以通过以下的记载而明确理解未提及的其他技术问题。
[0006]用于解决上述技术问题的根据一实施例的激光装置包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从所述第一光学系统射出的所述激光束沿所述第一方向分割的多个子光束沿与所述射出方向及所述第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从所述第二光学系统射出的所述激光束的能量在所述第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从所述第三光学系统射出的所述激光束在所述第一方向上的尺寸。
[0007]所述第二光学系统可以使所述激光束在所述第一方向上的尺寸与在所述第二方向上的尺寸相互交换而射出。
[0008]所述第二光学系统可以保持所述激光束在所述第一方向及所述第二方向上的光束质量因子，并且使在所述第一方向及所述第二方向上的尺寸相互交换。
[0009]所述第三光学系统可以包括：第一短轴均化器，包括入射面沿所述射出方向的反方向凸出且射出面为平面结构的圆筒透镜阵列；第二短轴均化器，布置于所述第一短轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的圆筒透镜阵列；第三短轴均化器，布置于所述第二短轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的透镜。
[0010]还可以包括：第五光学系统，使所述激光束的能量在所述第二方向上均匀化。
[0011]所述第五光学系统可以包括：第一长轴均化器，包括入射面沿所述射出方向的反方向凸出且射出面为平面结构的圆筒透镜阵列；第二长轴均化器，布置于所述第一长轴均
化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的圆筒透镜阵列；第三长轴均化器，布置于所述第二长轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的透镜。
[0012]经过所述第二光学系统的所述激光束可以入射到所述第五光学系统。
[0013]所述第四光学系统可以包括沿所述第二方向延伸且入射面沿所述射出方向的反方向凸出的圆筒形凸透镜。
[0014]从所述第四光学系统射出的所述激光束可以在对象基板的上表面形成焦点。
[0015]穿过所述第一光学系统之前的所述激光束可以保持针对所述第二方向的光束质量因子并减小针对所述第一方向的光束质量因子。
[0016]其他实施例的具体事项包括在详细的说明以及附图。
[0017]根据一实施例的激光装置可以形成较窄的短轴尺寸而具有较高的能量密度，并且确保充分的焦点深度而提供按短轴方向上的各个区域具有均匀的能量的激光束。
[0018]根据本专利技术的实施例的效果不受限于以上示出的内容，本说明书中包括更加多样的效果。
附图说明
[0019]图1是根据一实施例的显示装置的平面图。
[0020]图2是示意性地图示图1的显示装置的一部分的剖视图。
[0021]图3是根据一实施例的激光装置的立体图。
[0022]图4是放大从根据一实施例的激光装置射出的激光束所照射的基板的示意图。
[0023]图5是示出根据一实施例的激光装置中的激光束的移动路径的流程图。
[0024]图6是示出穿过望远镜透镜部的激光束的示意图。
[0025]图7是关于穿过望远镜透镜部的激光束的能量的模拟结果。
[0026]图8是示出穿过光束质量因子转换部的激光束的示意图。
[0027]图9是关于穿过光束质量因子转换部的激光束的能量的模拟结果。
[0028]图10是示出穿过短轴均化器部的激光束的示意图。
[0029]图11是示出穿过长轴均化器部的激光束的示意图。
[0030]图12是示出穿过投影透镜部的激光束的示意图。
[0031]图13是根据一实施例的激光装置激光束的能量特征曲线图形。
[0032]图14及图15是根据比较实施例的激光装置激光束的能量特征曲线图形。
[0033]图16是示出根据一实施例的显示装置的制造方法的流程图。
[0034]附图标记说明
[0035]10：基板
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11：非晶硅薄膜
[0036]12：多晶硅薄膜
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100：激光模块
[0037]200：望远镜透镜部
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300：光束质量因子转换部
[0038]400：短轴均化器部
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500：长轴均化器部
[0039]600：投影透镜部
具体实施方式
[0040]参照附图和详细后述的实施例，则可以明确本专利技术的优点和特征、以及达成这些的方法。然而，本专利技术可以呈现为互不相同的多种形态，且并不限于以下公开的实施例，本实施例仅用于使本专利技术完全公开并为了向本专利技术所属
中具有普通知识的人完整地告知专利技术范围而提供，本专利技术仅由权利要求书记载的范围而定义。
[0041]提及元件(element)或者层在其他元件或者层“上(on)”时，将在其他元件的紧邻的上方的情形或者在其中间夹设有其他层或者其他元件的情形全部包括。在整个说明书中，相同的参照符号指代相同构成要素。
[0042]虽然第一、第二等术语用于说明多种构成要素，但这些构成要素不应被这些术语限定。这些术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。因此，以下提及的第一构成要素在本专利技术的技术思想内也可以是第二构成要素。
[0043]以下，参照附图针对实施例进行说明。
[0044]图1是根据一实施例的显示装置的平面图。图2是示意性地图示图1的显示装置的一部分的剖视图。
[0045]参考图1及图2，显示装置DD显示视频或静止图像。显示装置DD可以指本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光装置，包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从所述第一光学系统射出的所述激光束沿所述第一方向分割的多个子光束沿与所述射出方向及所述第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从所述第二光学系统射出的所述激光束的能量在所述第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从所述第三光学系统射出的所述激光束在所述第一方向上的尺寸。2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第二光学系统使所述激光束在所述第一方向上的尺寸与在所述第二方向上的尺寸相互交换而射出。3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，所述第二光学系统保持所述激光束在所述第一方向及所述第二方向上的光束质量因子，并且使在所述第一方向及所述第二方向上的尺寸相互交换。4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第三光学系统包括：第一短轴均化器，包括入射面沿所述射出方向的反方向凸出且射出面为平面结构的圆筒透镜阵列；第二短轴均化器，布置于所述第一短轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的圆筒透镜阵列；第三短轴均化器，布置于所述第二短轴均化器...
【专利技术属性】
技术研发人员：三宫暁史，柳济吉，朴喆镐，李惠淑，蔡永洙，韩圭完，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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