一种单晶硅片切片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种单晶硅片切片装置，包括单晶硅片切片机柜、一号吊装轨道支架、一号吊装轨道、二号吊装轨道支架、二号吊装轨道、一号吊装梁行走机构、二号吊装梁行走机构、单晶硅锭吊装梁、单晶硅锭吊装环、单晶硅片切片机柜切片舱门、设备检修门和设备控制交互台，所述的单晶硅片切片机柜上部开矩形通孔通过联轴节以及开合连杆安装单晶硅片切片机柜切片舱门，单晶硅片切片机柜上部两端分别固定安装两个一号吊装轨道支架和二号吊装轨道支架，两个一号吊装轨道支架顶端固定连接一号吊装轨道，两个二号吊装轨道支架顶端固定连接二号吊装轨道，可以将推车运输过来的硅锭自动吊装至切割机中自动切割并将晶圆取出。割机中自动切割并将晶圆取出。割机中自动切割并将晶圆取出。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片切片装置


[0001]本技术涉及一种切片装置，具体是一种单晶硅片切片装置。

技术介绍

[0002]硅锭切割时芯片加工中最基础的工序，光刻机在切割出的晶圆上雕刻电路板，在硅锭切割前需要人工将硅锭摆放至切割机中，但是一个硅锭通常在一百斤以上，单凭人力搬运费时费力还不安全，稍有不慎还有可能导致人员腰部拉伤，导致工位停摆，影响企业生产秩序。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种单晶硅片切片装置，可以将推车运输过来的硅锭自动吊装至切割机中自动切割并将晶圆取出。
[0004]为了实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现：一种单晶硅片切片装置，包括单晶硅片切片机柜、一号吊装轨道支架、一号吊装轨道、二号吊装轨道支架、二号吊装轨道、一号吊装梁行走机构、二号吊装梁行走机构、单晶硅锭吊装梁、单晶硅锭吊装环、单晶硅片切片机柜切片舱门、设备检修门和设备控制交互台，所述的单晶硅片切片机柜上部开矩形通孔通过联轴节以及开合连杆安装单晶硅片切片机柜切片舱门，单晶硅片切片机柜上部两端分别固定安装两个一号吊装轨道支架和二号吊装轨道支架，两个一号吊装轨道支架顶端固定连接一号吊装轨道，两个二号吊装轨道支架顶端固定连接二号吊装轨道，一号吊装梁行走机构通过滚轮卡在一号吊装轨道表面，二号吊装梁行走机构通过滚轮卡在二号吊装轨道表面，一号吊装梁行走机构和二号吊装梁行走机构分别固定连接在单晶硅锭吊装梁两端，单晶硅锭吊装梁下方通过两组绞盘以及驱动电机分别连接单晶硅锭吊装环，单晶硅锭吊装环将设备吊运至单晶硅锭切片舱内部预先安装的硅片托盘上，有金刚链切割后再通过单晶硅锭吊装环将托盘上的单晶硅片整体吊运出来，单晶硅片切片机柜前部表面设有设备检修门，单晶硅片切片机柜一侧表面通过转轴连接设备控制交互台；所述的单晶硅片切片机柜由设备外壳、单晶硅锭切片舱、单晶硅切片金刚链驱动电机、冲洗液过滤器和冲洗液循环泵组成，设备外壳内部固定安装单晶硅锭切片舱，单晶硅锭切片舱上部连接单晶硅片切片机柜切片舱门，单晶硅锭切片舱通过轴承连接单晶硅切片金刚链驱动电机，单晶硅锭切片舱通过管路分别连接冲洗液过滤器和冲洗液循环泵，设备控制交互台分别通过电性连接一号吊装梁行走机构、二号吊装梁行走机构、单晶硅锭吊装梁、单晶硅锭切片舱、单晶硅切片金刚链驱动电机、冲洗液过滤器和冲洗液循环泵。
[0005]所述的单晶硅片切片机柜后部设有供电以及冲洗液供应和排出端口。
[0006]所述的单晶硅锭切片舱内部配备多组金刚链切片装置。
[0007]所述的单晶硅锭切片舱内部配备驱动单元。
[0008]所述的设备控制交互台配备五一单片机。
[0009]所述的冲洗液过滤器内部配有循环泵。
[0010]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：与常规单晶硅切片机相比，本设备可以大大节省人力降低工作人员受伤风险，确保企业生产节奏不被打乱，确保企业持续生产。
附图说明
[0011]图1是一种单晶硅片切片装置的结立体图；
[0012]图2是一种单晶硅片切片装置的单晶硅片切片机柜剖面图；
[0013]图中：1、单晶硅片切片机柜,1
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1、设备外壳,1
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2、单晶硅锭切片舱,1
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3、单晶硅切片金刚链驱动电机,1
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4、冲洗液过滤器,1
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5、冲洗液循环泵,2、一号吊装轨道支架,3、一号吊装轨道,4、二号吊装轨道支架,5、二号吊装轨道,6、一号吊装梁行走机构,7、二号吊装梁行走机构,8、单晶硅锭吊装梁,9、单晶硅锭吊装环,10、单晶硅片切片机柜切片舱门,11、设备检修门,12、设备控制交互台。
具体实施方式
[0014]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术发中的具体含义。
[0017]如图1至图2所示，本一种单晶硅片切片装置，包括单晶硅片切片机柜1、一号吊装轨道支架2、一号吊装轨道3、二号吊装轨道支架4、二号吊装轨道5、一号吊装梁行走机构6、二号吊装梁行走机构7、单晶硅锭吊装梁8、单晶硅锭吊装环9、单晶硅片切片机柜切片舱门10、设备检修门11和设备控制交互台12，所述的单晶硅片切片机柜1上部开矩形通孔通过联轴节以及开合连杆安装单晶硅片切片机柜切片舱门10，单晶硅片切片机柜1上部两端分别固定安装两个一号吊装轨道支架2和二号吊装轨道支架4，两个一号吊装轨道支架2顶端固定连接一号吊装轨道3，两个二号吊装轨道支架4顶端固定连接二号吊装轨道5，一号吊装梁行走机构6通过滚轮卡在一号吊装轨道3表面，二号吊装梁行走机构7通过滚轮卡在二号吊装轨道5表面，一号吊装梁行走机构6和二号吊装梁行走机构7分别固定连接在单晶硅锭吊装梁8两端，单晶硅锭吊装梁8下方通过两组绞盘以及驱动电机分别连接单晶硅锭吊装环9，单晶硅锭吊装环9将设备吊运至单晶硅锭切片舱1
‑
2内部预先安装的硅片托盘上，有金刚链
切割后再通过单晶硅锭吊装环9将托盘上的单晶硅片整体吊运出来，单晶硅片切片机柜1前部表面设有设备检修门11，单晶硅片切片机柜1一侧表面通过转轴连接设备控制交互台12；所述的单晶硅片切片机柜1由设备外壳1
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1、单晶硅锭切片舱1
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2、单晶硅切片金刚链驱动电机1
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3、冲洗液过滤器1
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4和冲洗液循环泵1
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5组成，设备外壳1
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1内部固定安装单晶硅锭切片舱1
‑
2，单晶硅锭切片舱1
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2上部连接单晶硅片切片机柜切片舱门10，单晶硅锭切片舱1
‑
2通过轴承连接单晶硅切片金刚链驱动电机1
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3，单晶硅锭切片舱1
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2通过管路分别连接冲洗液过滤器1
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片切片装置，包括单晶硅片切片机柜(1)、一号吊装轨道支架(2)、一号吊装轨道(3)、二号吊装轨道支架(4)、二号吊装轨道(5)、一号吊装梁行走机构(6)、二号吊装梁行走机构(7)、单晶硅锭吊装梁(8)、单晶硅锭吊装环(9)、单晶硅片切片机柜切片舱门(10)、设备检修门(11)和设备控制交互台(12)，其特征在于，所述的单晶硅片切片机柜(1)上部开矩形通孔通过联轴节以及开合连杆安装单晶硅片切片机柜切片舱门(10)，单晶硅片切片机柜(1)上部两端分别固定安装两个一号吊装轨道支架(2)和二号吊装轨道支架(4)，两个一号吊装轨道支架(2)顶端固定连接一号吊装轨道(3)，两个二号吊装轨道支架(4)顶端固定连接二号吊装轨道(5)，一号吊装梁行走机构(6)通过滚轮卡在一号吊装轨道(3)表面，二号吊装梁行走机构(7)通过滚轮卡在二号吊装轨道(5)表面，一号吊装梁行走机构(6)和二号吊装梁行走机构(7)分别固定连接在单晶硅锭吊装梁(8)两端，单晶硅锭吊装梁(8)下方通过两组绞盘以及驱动电机分别连接单晶硅锭吊装环(9)，单晶硅片切片机柜(1)前部表面设有设备检修门(11)，单晶硅片切片机柜(1)一侧表面通过转轴连接设备控制交互台(12)；所述的单晶硅片切片机柜(1)由设备外壳(1
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1)、单晶硅锭切片舱(1
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2)、单晶硅切片金刚链驱动电机(1
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3)、冲洗液过滤器(1
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4)和冲洗液循环泵(1
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5)组成，设备外壳(1
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1)内部固定安装单晶硅锭切...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈创，
申请(专利权)人：徐州市创泽优电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：