场发射扫描电镜用工作台制造技术

本实用新型专利技术提供场发射扫描电镜用工作台，设置有固定壳、固定座，固定座通过转动轴安装在固定壳内，且还在固定座上设置有调节杆，同时在调节杆外安装有固定环对调节杆逐步限位，能够实现自由调节固定座的角度，进而能够适应样品的不同倾斜角度需求，很好地保证了样品断面所在的水平面垂直于电子束入射的方向，保证了对样品观察的顺利进行；并在固定座上插接有分隔块，分隔块上安装有压紧组件，同时在固定座上安装有抵紧组件，根据样品的尺寸安装分隔块，同时分别调节分隔块的压紧组件及固定座上的抵紧组件就能将样品充分固定，且还能固定具有不同厚度的样品，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
场发射扫描电镜用工作台


[0001]本技术涉及扫描电镜
，尤其涉及场发射扫描电镜用工作台。

技术介绍

[0002]场发射扫描电子显微镜是电子显微镜的一种，该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。
[0003]工作台是扫描电子显微镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征，一般情况还使用导电胶对样品进行辅助固定。在进行测量时，为了得到较强的信号，工作台需要使承托的样品相对于入射电子束倾斜，以便背散射的信号被充分强化到能被荧光屏接收，但是现有的工作台倾斜角度固定，无法适应增强不同的样品信号，使用不便；另外，目前场发射扫描电镜的常用试样工作台对装载试样的数量和尺寸有着很大的限制，只适用于单个小尺寸试样的观察，不能装载多个样品，观测效率较低；当工作台上固定体积稍大一点的样品尤其是厚度不同的样品时，因为样品的与断面垂直的一侧是靠导电胶的粘性贴紧在工作台的竖直面上，又由于侧壁十分光滑，因此被测样品容易在观察过程中倾斜甚至脱落，影响实验数据的精度，因此现有的场发射扫描电镜工作台具有工作效率低和试样制备条件苛刻的缺点。

技术实现思路

[0004]根据以上技术问题，本技术提供场发射扫描电镜用工作台，其特征在于包括固定壳、固定座、抵紧组件、放置槽、分隔块、压紧组件、转动轴、调节杆、固定环，所述固定壳内安装有固定座，所述固定座底端为弧形结构，所述固定座左端安装有转动轴，所述转动轴穿过固定壳设置，所述固定座右端安装有调节杆，所述固定壳右端开设有卡槽，所述卡槽内卡接有固定环，所述调节杆穿过固定环设置，所述调节杆外壁设有倒齿，所述固定环内设有倒齿结构，所述调节杆与固定环通过倒齿啮合连接；
[0005]所述固定座上开设有放置槽，所述放置槽内插接有分隔块，所述分隔块有m个，所述分隔块上安装有压紧组件，所述压紧组件有4个且绕分隔块中心均匀分布；所述固定座上安装有抵紧组件，所述抵紧组件设置在放置槽外侧，所述抵紧组件有n个；
[0006]所述压紧组件、抵紧组件均由转杆、拨动板、压块组成，所述转杆底端安装有拨动板，所述拨动板上设置有压块，所述压块为楔形结构；
[0007]所述压紧组件的压块通过转轴固定在分隔块上，所述抵紧组件的压块通过转轴固定在固定座上；
[0008]所述分隔块上、固定座上均开设有插接槽，所述转杆穿过插接槽设置。
[0009]所述固定环为硅胶材质。
[0010]所述固定环外壁设有卡块，所述卡槽上开设有卡接槽，所述固定环外壁通过卡块卡进卡接槽与卡槽卡合。
[0011]所述放置槽内开设有安装槽，所述安装槽有m个，所述分隔块底端设有安装块，所
述分隔块通过安装块插进安装槽内安装在放置槽内。
[0012]所述转杆外设有螺纹结构，所述插接槽上端口内均设有螺纹结构，所述转杆通过螺纹结构安装在插接槽处。
[0013]本技术的有益效果为：本技术可同时承载较多数量的样品，同时对同批次样品的形状、尺寸、形状无统一要求、一次可以放置多个尺寸、形状均不相同的样品，提高了实验效率；设置有固定壳、固定座，固定座通过转动轴安装在固定壳内，且还在固定座上设置有调节杆，同时在调节杆外安装有固定环对调节杆逐步限位，能够实现自由调节固定座的角度，进而能够适应样品的不同倾斜角度需求，很好地保证了样品断面所在的水平面垂直于电子束入射的方向，保证了对样品观察的顺利进行；并在固定座上插接有分隔块，分隔块上安装有压紧组件，同时在固定座上安装有抵紧组件，根据样品的尺寸安装分隔块，同时分别调节分隔块的压紧组件及固定座上的抵紧组件就能将样品充分固定，且还能固定具有不同厚度的样品，实用性强。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构剖视图；
[0015]图2为本技术的固定座俯视图；
[0016]图3为本技术的右侧结构示意图；
[0017]图4为图1中A部分放大图。
[0018]如图：1.固定壳、1
‑
1.卡槽、1
‑1‑
1.卡接槽、2.固定座、2
‑
1.转动轴、2
‑
2.调节杆、2
‑2‑
1.倒齿、2
‑
3.抵紧组件、2
‑
4.放置槽、2
‑4‑
1.安装槽、3.固定环、3
‑
1.卡块、4.分隔块、4
‑
1.压紧组件、5
‑
1.转杆、5
‑
2.拨动板、5
‑
3.压块、6.插接槽。
具体实施方式
[0019]实施例1
[0020]本技术提供场发射扫描电镜用工作台，其特征在于包括固定壳1、固定座2、抵紧组件2
‑
3、放置槽2
‑
4、分隔块4、压紧组件4
‑
1、转动轴2
‑
1、调节杆2
‑
2、固定环3，固定壳1内安装有固定座2，固定座2底端为弧形结构，固定座2左端安装有转动轴2
‑
1，转动轴2
‑
1穿过固定壳1设置，固定座2右端安装有调节杆2
‑
2，固定壳1右端开设有卡槽1
‑
1，卡槽1
‑
1内卡接有固定环3，调节杆2
‑
2穿过固定环3设置，调节杆2
‑
2外壁设有倒齿2
‑2‑
1，固定环3内设有倒齿2
‑2‑
1结构，调节杆2
‑
2与固定环3通过倒齿2
‑2‑
1啮合连接；
[0021]固定座2上开设有放置槽2
‑
4，放置槽2
‑
4内插接有分隔块4，分隔块4有m个，分隔块4上安装有压紧组件4
‑
1，压紧组件4
‑
1有4个且绕分隔块4中心均匀分布；固定座2上安装有抵紧组件2
‑
3，抵紧组件2
‑
3设置在放置槽2
‑
4外侧，抵紧组件2
‑
3有n个；
[0022]压紧组件4
‑
1、抵紧组件2
‑
3均由转杆5
‑
1、拨动板5
‑
2、压块5
‑
3组成，转杆5
‑
1底端安装有拨动板5
‑
2，拨动板5
‑
2上设置有压块5
‑
3，压块5
‑
3为楔形结构；
[0023]压紧组件4
‑
1的压块5
‑
3通过转轴固定在分隔块4上，抵紧组件2
‑
3的压块5
‑
3通过转轴固定在固定座2上；
[0024]分隔块4上、固定座2上均开设有插接槽6，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.场发射扫描电镜用工作台，其特征在于包括固定壳、固定座、抵紧组件、放置槽、分隔块、压紧组件、调节杆、固定环、转动轴，所述固定壳内安装有固定座，所述固定座底端为弧形结构，所述固定座左端安装有转动轴，所述转动轴穿过固定壳设置，所述固定座右端安装有调节杆，所述固定壳右端开设有卡槽，所述卡槽内卡接有固定环，所述调节杆穿过固定环设置，所述调节杆外壁设有倒齿，所述固定环内设有倒齿结构，所述调节杆与固定环通过倒齿啮合连接；所述固定座上开设有放置槽，所述放置槽内插接有分隔块，所述分隔块有m个，所述分隔块上安装有压紧组件，所述压紧组件有4个且绕分隔块中心均匀分布；所述固定座上安装有抵紧组件，所述抵紧组件设置在放置槽外侧，所述抵紧组件有n个；所述压紧组件、抵紧组件均由转杆、拨动板、压块组成，所述转杆底端安装有拨动板，所述拨动板上设置有压块，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许耀华，
申请(专利权)人：北京中科百测检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：