一种单晶炉内置加料器卸料装置制造方法及图纸

技术编号:30843117 阅读:25 留言:0更新日期:2021-11-18 14:38
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉内置加料器卸料装置,包括单晶炉,单晶炉的内侧设置有石英坩埚,石英坩埚的正上方设置有加料筒,加料筒通过环形固定板安装在单晶炉上,加料筒的内壁上设置有引流板和限位座,加料筒的上表面分布有固定座,固定座上设置有连接杆,连接杆的一端连接有螺母,螺母与螺杆螺纹连接。本实用新型专利技术单晶炉内置加料器卸料装置,硅料可通过限位孔下落,并在锥形遮挡块的引流作用下通过卸料通孔进入引流罩内而最终落至石英坩埚内,使石英坩埚内可加入更多的硅料,避免石英坩埚及能源的浪费,硅料的下料速度可调节,环形挡板可对硅料进行一定程度上的遮挡,避免硅料浪费,避免硅料堆积在石英坩埚内的同一位置处而影响加料。影响加料。影响加料。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉内置加料器卸料装置


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体为一种单晶炉内置加料器卸料装置。

技术介绍

[0002]单晶生长炉是生产单晶硅棒的设备,其生产过程为将装满多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内在负压状态下加热融化为液体硅料,再通过籽晶拉制成单晶硅。当石英坩埚内的液体硅料全部被拉制成单晶硅棒,待冷却后打开单晶炉取出单晶硅棒成品。单晶炉在拉制单晶的过程中,一直处于高温负压状态且石英坩埚冷却后不能再加热使用,固体硅料在融化成液体状态后,所占石英坩埚的容积会减少很多,这样就有空间加入更多的多晶硅料。
[0003]现有技术中没有自动加入硅料的装置,一定程度上造成了坩埚浪费、能源浪费,因此,急需一种单晶炉内置加料器卸料装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶炉内置加料器卸料装置,硅料可通过限位孔下落,并在锥形遮挡块的引流作用下通过卸料通孔进入引流罩内而最终落至石英坩埚内,使石英坩埚内可加入更多的硅料,避免石英坩埚及能源的浪费,硅料的下料速度可调节,环形挡板可对硅料进行一定程度上的遮挡,避免硅料浪费,可避免硅料堆积在石英坩埚内的同一位置处而影响加料,可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉内置加料器卸料装置,包括单晶炉,所述单晶炉的内侧设置有石英坩埚,所述石英坩埚通过坩埚轴安装在单晶炉的内壁上;
[0006]所述石英坩埚的正上方设置有加料筒,所述加料筒的外壁上设置有环形固定板,所述加料筒通过环形固定板安装在单晶炉上,所述加料筒的内壁上设置有引流板和限位座,所述引流板位于限位座的上方且与限位座固定连接,所述加料筒的上表面等间距分布有固定座,均匀分布的固定座上均设置有倾斜放置的连接杆,所述连接杆均远离固定座的一端连接有螺母,所述螺母与螺杆螺纹连接,所述螺杆位于螺母上方的一端连接有手轮,所述螺杆位于螺母下方的一端连接有锥形遮挡块,所述锥形遮挡块位于限位座的内侧且紧贴限位座的内表面;
[0007]所述锥形遮挡块的下端的外侧设置有环形挡板,所述环形挡板通过连接柱与锥形遮挡块连接,所述锥形遮挡块和环形挡板之间通过连接柱均分有卸料通孔。
[0008]优选的,所述环形固定板的下表面均匀分布有卡块,所述卡块可插入定位座内,所述定位座环形分布在单晶炉的内壁上。
[0009]优选的,所述限位座上设置有呈倒锥形的限位孔,所述锥形遮挡块的尺寸大于限位孔的尺寸。
[0010]优选的,所述卸料通孔的下方设置有对称分布的引流罩,所述引流罩的外壁上设置有第一安装座,所述环形挡板的下表面设置有第二安装座,所述第一安装座和第二安装
座通过转轴活动连接。
[0011]优选的,所述引流罩还连接在气缸上,所述气缸安装在第二安装座上。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果如下:
[0013]1、本技术单晶炉内置加料器卸料装置,加料筒通过环形固定板的下表面均匀分布的卡块插入定位座内而牢固安装在单晶炉上,使得加料筒安装稳固且简便。
[0014]2、本技术单晶炉内置加料器卸料装置,将加有硅料的加料筒放置在石英坩埚的上方,硅料在引流板的引流作用下落至引流板的底端,通过手轮带动螺杆旋转进而使得锥形遮挡块下降,此时锥形遮挡块不再遮挡限位孔,硅料可通过限位孔下落,并在锥形遮挡块的引流作用下通过卸料通孔进入引流罩内而最终落至石英坩埚内,使石英坩埚内可加入更多的硅料,避免石英坩埚及能源的浪费。
[0015]3、本技术单晶炉内置加料器卸料装置,通过手轮带动螺杆旋转进而可控制锥形遮挡块的下降高度,可控制锥形遮挡块与限位座之间的间隙进而可控制硅料的下料速度,使得硅料的下料速度可调节。
[0016]4、本技术单晶炉内置加料器卸料装置,硅料通过限位孔后,在锥形遮挡块的引流作用下通过卸料通孔进入引流罩内,硅料在通过卸料通孔时,环形挡板可对硅料进行一定程度上的遮挡,防止硅料四溅,进而提高硅料进入石英坩埚的进入率,避免硅料的浪费。
[0017]5、本技术单晶炉内置加料器卸料装置,硅料通过引流罩进入石英坩埚内,在硅料下料的过程中,硅料会落至石英坩埚内的同一位置处,通过气缸可带动引流罩在转轴的支撑作用下旋转,进而可调节引流罩的倾斜程度,避免硅料堆积在石英坩埚内的同一位置处而影响加料。
附图说明
[0018]图1为本技术的单晶炉内置加料器卸料装置的剖面示意图;
[0019]图2为本技术的锥形遮挡块遮挡限位孔的加料筒的剖面示意图;
[0020]图3为本技术的锥形遮挡块未遮挡限位孔的加料筒的剖面示意图;
[0021]图4为本技术的锥形遮挡块上设置环形挡板和引流罩的剖面示意图;
[0022]图5为本技术的锥形遮挡块上设置环形挡板的俯视图;
[0023]图6为本技术的引流罩的剖面示意图。
[0024]图中:1、单晶炉;11、定位座;2、石英坩埚;21、坩埚轴;3、加料筒;31、环形固定板;311、卡块;32、引流板;33、限位座;331、限位孔;34、固定座;4、连接杆;5、螺母;6、螺杆;61、手轮;62、锥形遮挡块;7、环形挡板;71、连接柱;72、卸料通孔;73、第二安装座;8、引流罩;81、第一安装座;9、气缸。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1,一种单晶炉内置加料器卸料装置,包括单晶炉1,单晶炉1的内侧设置有石英坩埚2,石英坩埚2通过坩埚轴21安装在单晶炉1的内壁上。
[0027]请参阅图2

3,石英坩埚2的正上方设置有加料筒3,加料筒3的外壁上设置有环形固定板31,加料筒3通过环形固定板31安装在单晶炉1上,环形固定板31的下表面均匀分布有卡块311,卡块311可插入定位座11内,定位座11环形分布在单晶炉1的内壁上,加料筒3通过环形固定板31的下表面均匀分布的卡块311插入定位座11内而牢固安装在单晶炉1上,使得加料筒3安装稳固且简便,加料筒3的内壁上设置有引流板32和限位座33,引流板32位于限位座33的上方且与限位座33固定连接,加料筒3的上表面等间距分布有固定座34,均匀分布的固定座34上均设置有倾斜放置的连接杆4,连接杆4均远离固定座34的一端连接有螺母5,螺母5与螺杆6螺纹连接,螺杆6位于螺母5上方的一端连接有手轮61,螺杆6位于螺母5下方的一端连接有锥形遮挡块62,锥形遮挡块62位于限位座33的内侧且紧贴限位座33的内表面,限位座33上设置有呈倒锥形的限位孔331,锥形遮挡块62的尺寸大于限位孔331的尺寸,通过手轮6本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉内置加料器卸料装置,包括单晶炉(1),其特征在于:所述单晶炉(1)的内侧设置有石英坩埚(2),所述石英坩埚(2)通过坩埚轴(21)安装在单晶炉(1)的内壁上;所述石英坩埚(2)的正上方设置有加料筒(3),所述加料筒(3)的外壁上设置有环形固定板(31),所述加料筒(3)通过环形固定板(31)安装在单晶炉(1)上,所述加料筒(3)的内壁上设置有引流板(32)和限位座(33),所述引流板(32)位于限位座(33)的上方且与限位座(33)固定连接,所述加料筒(3)的上表面等间距分布有固定座(34),均匀分布的固定座(34)上均设置有倾斜放置的连接杆(4),所述连接杆(4)均远离固定座(34)的一端连接有螺母(5),所述螺母(5)与螺杆(6)螺纹连接,所述螺杆(6)位于螺母(5)上方的一端连接有手轮(61),所述螺杆(6)位于螺母(5)下方的一端连接有锥形遮挡块(62),所述锥形遮挡块(62)位于限位座(33)的内侧且紧贴限位座(33)的内表面;所述锥形遮挡块(62)的下端的外侧设置有环形挡板(7),所述环形挡板(7)通过连接柱(...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜晓星刘彤
申请(专利权)人:保定天翊光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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