本发明专利技术涉及一种用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，包括：上料组件；第一抓取组件，第一抓取组件与上料组件配合，用于转移上料组件中的待测试传感器；测试组件，测试组件用于测量第一抓取组件转移过来的待测试传感器；第二抓取组件，第二抓取组件与测试组件配合，用于转移测试组件上测量后的传感器。本申请提供的上述方案，通过第一抓取组件和第二抓取组件的配合使用，无需人工介入，全程自动化操作，极大提升了整体生产效率，同时也降低了人为操作的风险。也降低了人为操作的风险。也降低了人为操作的风险。
【技术实现步骤摘要】
用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备
[0001]本专利技术涉及传感器
，特别是涉及一种用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备。
技术介绍
[0002]近年来，得益于汽车电子和消费电子行业的高速成长，全球MEMS(全称为Micro Electromechanical System，即微机电系统)传感器行业发展势头非常迅猛，国内市场对硅麦克风、加速度传感器、陀螺仪、高精度压力传感器、气体传感器等MEMS传感器的需求快速增长。其中，压力传感器和加速度传感器几乎占据了50％的MEMS传感器市场份额。
[0003]无论何种传感器，都需要在投入使用前进行校准，也称之为标定，标定中最重要的组成部分之一就是温度标定；常规温度标定至少需要两个温度点，标定结束后的验证，需要至少两个温度点；即使将标定和验证温度点重合，也会至少需要三个温度点。
[0004]目前针对压力传感器和加速度传感器的标定，国际上已有若干较为成熟的自动化生产方案，比如德国XCERRA的Multitest和意大利SPEA的HT3580，XCERRA的Multitest以及SPEA的HT3580总体结构上分为上料工位、测试工位和下料工位三大部分，虽然设备运行稳定性以及控温精度等都非常出色，但由于传感器的温度校准特性需要，芯片必须至少在同一台设备中流转三次，每次流转都需要人工介入，不可避免的降低了生产效率。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对现有的压力传感器和加速度传感器标定设置在使用时，效率低下的问题，提供一种用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备。
[0006]本专利技术提供了一种用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，包括：
[0007]上料组件；
[0008]第一抓取组件，所述第一抓取组件与所述上料组件配合，用于转移所述上料组件中的待测试传感器；
[0009]测试组件，所述测试组件用于测量所述第一抓取组件转移过来的待测试传感器；
[0010]第二抓取组件，所述第二抓取组件与所述测试组件配合，用于转移所述测试组件上测量后的传感器。
[0011]上述用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，通过第一抓取组件和第二抓取组件的配合使用，无需人工介入，全程自动化操作，极大提升了整体生产效率，同时也降低了人为操作的风险。
[0012]在其中一个实施例中，所述上料组件包括第一箱体和上料盘，所述第一抓取组件包括第一机械臂和第一夹爪，所述第一夹爪和所述第一机械臂连接；
[0013]所述上料盘和所述第一机械臂均设置在所述第一箱体上，所述第一机械臂用于控制所述第一夹爪转移所述上料盘内待测试传感器。
[0014]在其中一个实施例中，所述上料组件还包括空盘转运件，所述空盘转运件包括皮
带传送机构，所述皮带传送机构设置在所述第一箱体上。
[0015]在其中一个实施例中，还包括第二箱体，所述第二箱体与所述第一箱体紧贴，多个所述测试组件并列设置在所述第二箱体上。
[0016]在其中一个实施例中，所述测试组件包括U型支撑座、电缸、上压力腔、下压力腔、加热及检测模块、电路板以及控制器；
[0017]所述U型支撑座设置在所述第二箱体上，所述U型支撑座上的第一侧板与所述第二箱体的上表面紧贴，所述上压力腔设置在所述U型支撑座上的第二侧板朝向第一侧板的一侧，所述下压力腔设置在所述第一侧板朝向所述第二侧板的一侧，所述电缸沿从上到下方向穿过所述第二侧板后与所述上压力腔连接，所述加热及检测模块设置在所述上压力腔上，所述电路板设置在所述下压力腔朝向所述上压力腔的一侧，所述加热及检测模块和所述电路板分别通过导线与所述控制器连接。
[0018]在其中一个实施例中，所述测试组件还包括走线拖链，所述走线拖链设置在所述U型支撑座上，所述加热及检测模块通过所述走线拖链与所述控制器连接。
[0019]在其中一个实施例中，所述测试组件还包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈设置在所述上压力腔朝向所述下压力腔的一侧，所述第二密封圈设置在所述下压力腔朝向所述上压力腔的一侧。
[0020]在其中一个实施例中，还包括第三箱体、第一不良品放置盘以及合格品放置盘；
[0021]所述第二抓取组件包括第二机械臂和第二夹爪，所述第二夹爪和所述第二机械臂连接，所述第三箱体与所述第二箱体紧贴，所述第三箱体和所述第一箱体位于所述第二箱体的相对两侧，所述第一不良品放置盘固定设置在所述第三箱体上，所述合格品放置盘设置在所述第三箱体上，且所述合格品放置盘能够在所述第三箱体上移动，所述第二机械臂用于控制所述第二夹爪将所述测试组件上测量后的传感器转移到对应的所述第一不良品放置盘或所述合格品放置盘中。
[0022]在其中一个实施例中，还包括第二不良品放置盘和皮带输送机构，所述皮带输送机构设置在所述第三箱体上，所述合格品放置盘和所述第二不良品放置盘分别放置在对应的皮带输送机构上。
[0023]在其中一个实施例中，还包括第三机械臂、替换盘以及升降机构，所述第三机械臂和所述升降机构均设置在所述第三箱体上，所述替换盘设置在所述升降机构上，所述第三机械臂上的第三夹爪用于转移所述替换盘。
附图说明
[0024]图1为本专利技术一实施例提供的用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备的结构示意图；
[0025]图2为图1的俯视图；
[0026]图3为图1中的局部示意图；
[0027]图4为图3去除第二箱体后的示意图；
[0028]图5为图4中的局部示意图；
[0029]图6为图5中去除U型支撑座后的示意图；
[0030]图7为图5中的上压力腔示意图；
[0031]图8为图5中的U型支撑座示意图。
[0032]图中标记如下：
[0033]10、第一箱体；20、第一机械臂；30、上料盘；40、空盘转运件；50、第二箱体；60、测试组件；601、U型支撑座；60111、第一侧板；60112、第二侧板；60113、第三侧板；602、电缸；603、上压力腔；6031、第一密封圈；604、走线拖链；605、下压力腔；606、加热及检测模块；607、第一进气孔；608、电路板；609、第二进气孔；6010、电路板出线接头；6011、测试芯片；701、第一中转台；702、第二中转台；703、第三中转台；80、第三箱体；90、第二机械臂；100、第三机械臂；110、第一不良品放置盘；120、合格品放置盘；130、第二不良品放置盘；140、替换盘。
具体实施方式
[0034]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]在本专利技术的描述中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，其特征在于，包括：上料组件；第一抓取组件，所述第一抓取组件与所述上料组件配合，用于转移所述上料组件中的待测试传感器；测试组件(60)，所述测试组件(60)用于测量所述第一抓取组件转移过来的待测试传感器；第二抓取组件，所述第二抓取组件与所述测试组件(60)配合，用于转移所述测试组件(60)上测量后的传感器。2.根据权利要求1所述的用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，其特征在于，所述上料组件包括第一箱体(10)和上料盘(30)，所述第一抓取组件包括第一机械臂(20)和第一夹爪，所述第一夹爪和所述第一机械臂(20)连接；所述上料盘(30)和所述第一机械臂(20)均设置在所述第一箱体(10)上，所述第一机械臂(20)用于控制所述第一夹爪转移所述上料盘(30)内待测试传感器。3.根据权利要求2所述的用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，其特征在于，所述上料组件还包括空盘转运件(40)，所述空盘转运件(40)包括皮带传送机构，所述皮带传送机构设置在所述第一箱体(10)上。4.根据权利要求2所述的用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，其特征在于，还包括第二箱体(50)，所述第二箱体(50)与所述第一箱体(10)紧贴，多个所述测试组件(60)并列设置在所述第二箱体(50)上。5.根据权利要求4所述的用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备，其特征在于，所述测试组件(60)包括U型支撑座(601)、电缸(602)、上压力腔(603)、下压力腔(605)、加热及检测模块(606)、电路板(608)以及控制器；所述U型支撑座(601)设置在所述第二箱体(50)上，所述U型支撑座(601)上的第一侧板(60111)与所述第二箱体(50)的上表面紧贴，所述上压力腔(603)设置在所述U型支撑座(601)上的第二侧板(60112)朝向第一侧板(60111)的一侧，所述下压力腔(605)设置在所述第一侧板(60111)朝向所述第二侧板(60112)的一侧，所述电缸(602)沿从上到下方向穿过所述第二侧板(60112)后与所述上压力腔(603)连接，所述加热及检测模块(606)设置在所述上压力腔(603)上，所述电路板(608)设置在所述下压力腔(605)朝向所述上压力腔(603)的一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯常宁，
申请(专利权)人：南京英锐创电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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