XY平台模块及其制造方法和使用其的存储系统技术方案

技术编号:3082651 阅读:249 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种XY平台模块,包括:    底板;    XY平台,在所述底板上方沿第一方向和垂直所述第一方向的第二方向水平地移动;    支撑单元,设置于所述底板以弹性地支撑所述XY平台;    加强构件,用于防止所述XY平台旋转;和    位置传感器,具有设置在所述加强构件的一边并具有至少一个可移动梳的可移动梳状结构,和固定在所述底板上并具有至少一个与所述可移动梳啮合并分开预定间隔的固定梳的固定梳状结构,用于根据所述可移动梳和固定梳的啮合度测量所述XY平台在所述第一方向和第二方向的移动。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朴弘植丁柱焕洪承范闵桐基
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
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