一种扫描电镜观察样品专用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜观察样品专用夹具，涉及扫描电镜领域，包括夹具槽、转动结构和底座，夹具槽顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽边缘均布有若干贯穿夹具槽侧壁的螺杆用于夹持样品，螺杆沿夹具槽侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽底部通过转动结构与底座转动连接，底座下部设有卡槽用于固定连接扫描电镜。本实用新型专利技术的有益效果为：无需更换扫描电镜即可进行失效分析；减少了失效样件紧固时间，提高了失效样件紧固的成功率，提高检测效率；多角度立体旋转将断口最大程度地正视于镜头，可以更方便地观察断口的偏僻狭小的部位的微观形貌；样件更换方便，固定良好，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低廉，适于大规模推广应用。应用。应用。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜观察样品专用夹具


[0001]本技术涉及扫描电镜的领域，具体涉及一种扫描电镜观察样品专用夹具。

技术介绍

[0002]使用扫描电镜进行失效分析时，要求样品尺寸应尽量平整，且需要胶带粘结在样品台上，样品台要通过背面的卡槽卡紧在基座上。然而摆臂和副车架等失效件的外形往往是复杂的、断口不平度也往往较严重，因此无法满足样品的平整要求。因此，对于结构复杂的断口，观察之前要想将断口尽可能地正对于镜头，现有的样品台和基座难以实现。另外，在失效分析时，分析人员将断裂样品粘结在样品台过程中，往往因为胶的没有粘性而脱落污染断口，后续更换胶带也会浪费时间，降低了电镜观察的准确性和效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种扫描电镜观察样品专用夹具，具有结构简单、使用方便、安全可靠的优势，提高检测效率、准确性和便利性。
[0004]本技术的目的是通过如下技术方案来完成的：这种扫描电镜观察样品专用夹具，包括夹具槽、转动结构和底座，所述夹具槽顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽边缘均布有若干贯穿该夹具槽侧壁的螺杆用于夹持样品，螺杆沿夹具槽侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽底部通过转动结构与底座转动连接，所述底座下部设有卡槽用于固定连接扫描电镜。
[0005]作为进一步的技术方案，所述夹具槽为矩形结构，沿该矩形结构的每一条边均布有三根螺杆。
[0006]作为进一步的技术方案，所述夹具槽内均布有若干圆柱状的凸起。
[0007]作为进一步的技术方案，所述转动结构为旋转球，所述夹具槽通过旋转球绕底座360
°
旋转。
[0008]作为优选的技术方案，所述夹具槽采用模具钢制成。
[0009]本技术的有益效果为：
[0010]1、可以不用更换扫描电镜其它设备；
[0011]2、减少了失效样件紧固时间，提高了失效样件紧固的成功率；
[0012]3、减少样件总操作和观察时间，提高检测效率；
[0013]4、多角度立体旋转将断口最大程度地正视于镜头，可以更方便地观察断口的偏僻狭小的部位的微观形貌；
[0014]5、样件更换方便，固定良好，提高了工作效率，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低廉，适于大规模推广应用。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构立体图。
[0016]图2为本技术的结构主视图。
[0017]图3为夹具槽的结构示意图。
[0018]附图标记说明：夹具槽1、凸起1
‑
1、螺杆2、旋转球3、底座4、卡槽5。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图对本技术做详细的介绍：
[0020]实施例：如附图1、2所示，这种扫描电镜观察样品专用夹具，包括夹具槽1、旋转球3 和底座4，所述夹具槽1顶部敞口用于置入样品，夹具槽1为矩形结构，沿该矩形结构的每一条边均布有三根贯穿该夹具槽1侧壁的螺杆2用于夹持样品(根据失效样品的形状尺寸，使用相应的螺杆2压紧样品)，螺杆2沿夹具槽1侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽1底部通过旋转球3与底座4转动连接，夹具槽1通过旋转球3可绕底座4进行360
°
旋转和前后左右等多个方向的立体转动；所述底座4下部设有卡槽5用于固定连接扫描电镜的基座。
[0021]优选地，夹具槽1采用模具钢制成，夹具槽1内均布有若干圆柱状的凸起1
‑
1(如图3 所示)，用于增大样品与夹具槽1底部的摩擦力，起到防止移动的作用。
[0022]本技术的工作过程：实际使用时，先将失效样品放在夹具槽1上，待检测的部位(断口)方向要朝上，根据失效样品尺寸形状选用相应的螺杆2拧紧促使压头夹住样品，夹住后调节螺杆2的松紧程度以保证样品不会被挤压变形或者过松移位。将底座4的卡槽5卡紧在扫描电镜的样品室的基座上，调整旋转球3，使得样品的断口最大面积地朝向正上方，即可开始失效分析。
[0023]可以理解的是，对本领域技术人员来说，对本技术的技术方案及技术构思加以等同替换或改变都应属于本技术所附的权利要求的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜观察样品专用夹具，其特征在于：包括夹具槽(1)、转动结构和底座(4)，所述夹具槽(1)顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽(1)边缘均布有若干贯穿该夹具槽(1)侧壁的螺杆(2)用于夹持样品，螺杆(2)沿夹具槽(1)侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽(1)底部通过转动结构与底座(4)转动连接，所述底座(4)下部设有卡槽(5)用于固定连接扫描电镜。2.根据权利要求1所述的扫描电镜观察样品专用夹具，其特征在于：所述夹具槽(1)为矩形结构，沿该矩形结构的每...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙志杰，
申请(专利权)人：万向钱潮股份有限公司，
类型：新型
国别省市：