一种模块化半导体自动立体仓库制造技术

本发明专利技术公开了一种模块化半导体自动立体仓库，包括模块化货架、堆垛机和交接平台，所述模块化货架边框间隙接触交接平台边框，所所述交接平台内部活动连接堆垛机，所述堆垛机一端活动夹接模块货架架内货物，所述模块货架包括货架。与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术不仅结合存储功能，还集合了货物自动识别技术，高效存储8寸晶圆开放式载具。每个载具都对应自己独立的盒号信息，包括条形码等信息，并记录载具盒号、存储位置；在堆垛机和交接平台的配合作用下，可以根据载具信息锁定位置并进行放置存储和抓取，极大地提高了仓储作业效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种模块化半导体自动立体仓库


[0001]本专利技术涉及半导体仓储设备
，具体为一种模块化半导体自动立体仓库。

技术介绍

[0002]伴随着科学技术的进步和不断发展，生产力逐步提高，对物料存储归纳要求逐步提升。自动化为基础的立体仓库以其强大的存储能力以及高效的仓储作业效率，成为了行业首选存储方式。伴随着现在信息技术的进步，自动识别也逐步替代人工识别。当前广泛用的识别技术主要有：条形码、二维码、磁卡、EFID无线射频等技术。因此自动化仓库不仅需要结合存储功能，还应该集合货物自动识别技术。为了便于技术延展，自动化设计便捷性，性能扩展等需求，故要求立体仓库可形成模块化设计。
[0003]为此我们提出一种模块化半导体自动立体仓库用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种模块化半导体自动立体仓库，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种模块化半导体自动立体仓库，包括模块化货架、堆垛机和交接平台，所述模块化货架边框间隙接触交接平台边框，所所述交接平台内部活动连接堆垛机，所述堆垛机一端活动夹接模块货架架内货物，所述模块货架包括货架，所述货架边框间隙接交接平台边框，所述货架内部从上至下平行安装若干安装板，所述安装板板面活动安置若干载具，所述载具活动接触堆垛机一端；堆垛机2和交接平台3 的配合作用下，可以根据载具14的信息锁定位置并进行放置存储和抓取，极大地提高了仓储作业效率。
[0006]所述堆垛机包括夹爪，所述夹爪夹持端活动夹接载具，所述夹爪固定端固接伺服缸末端，所述伺服缸缸体固接转台气缸顶面边缘，所述转气缸中部固接旋转轴顶部，所述旋转轴底端转动连接电缸滑台，所述电缸滑台侧面滑动连接升降台一侧，所述升降台另一侧滑动连接夹接平台一侧；
[0007]所述交接平台包括底板，所述底板侧面间隙接触货架边框，所述底板板面两侧固接支架，所述支架顶端固接天轨两端，所述天轨轨面滑动连接竖轨顶部两端，所述竖轨轨面滑动连接升降台，所述竖轨底部固接承重板中部，所述承重板板面一侧设有控制箱安装处，所述承重板底面底面滑动连接中部滑动连接地轨，所述地轨底部平行固接底板板面中部，所述承重板底面边缘活动连接拖链驱动端，所述拖链移动端活动连接底板板面边缘。
[0008]优选的，若干所述安装板之间形成货架单元，所述安装板边缘固接定位块，所述定位块间隙接触载具底部一侧，所述载具侧面中部设有条形码。
[0009]优选的，所述电动滑台侧面固接滑槽，所述滑槽滑动连接滑轨，所述滑轨横向固接升降台一侧，所述升降台另一侧纵向固接若滑槽块，所述滑槽块滑动连接竖轨轨面。
[0010]优选的，所述支架底部侧面固接限位块，所述限位块底部固接底板板面。
[0011]优选的，所述竖轨顶部固接横梁，所述横梁两端固接铰接头，所述铰接头底部活动连接滚轮，所述滚轮滚动连接天轨轨面；所述竖轨另一侧面固接若干登高梯，所述竖轨底部侧面固接加强块，所述加强块底部固接承重板板面。
[0012]优选的，所述升降台和拖链均由无感电缸驱动。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术不仅结合存储功能，还集合了货物自动识别技术，高效存储8寸晶圆开放式载具。每个载具都对应自己独立的盒号信息，包括条形码等信息，并记录载具盒号、存储位置；在堆垛机和交接平台的配合作用下，可以根据载具信息锁定位置并进行放置存储和抓取，极大地提高了仓储作业效率。
附图说明
[0014]图1为本专利技术结构示意图；
[0015]图2为本专利技术中交接平台结构示意图；
[0016]图3为本专利技术中竖轨结构示意图；
[0017]图4为本专利技术中堆垛机结构示意图。
[0018]图中：1模块货架：10货架、11货架单元、12安装板、13定位块、14 载具、140条形码读码器；2堆垛机：20转台气缸、21旋转轴、22伺服缸、 23夹爪、24电缸滑台、240滑槽、25升降台、250滑轨、251滑槽块；3交接平台：31底板、32支架、320限位块、33天轨、34竖轨、340横梁、341铰接头、342滚轮、343登高梯、344加强块、35承重板、350滑槽条、36地轨、 37拖链、38控制箱安装处。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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4，本专利技术提供一种技术方案：一种模块化半导体自动立体仓库，包括模块化货架1、堆垛机2和交接平台3，模块化货架1边框间隙接触交接平台3边框，所交接平台3内部活动连接堆垛机2，堆垛机2一端活动夹接模块货架1架内货物，模块货架1包括货架10，货架10边框间隙接交接平台3边框，货架10内部从上至下平行安装若干安装板12，安装板12板面活动安置若干载具14，载具14活动接触堆垛机2一端；
[0021]堆垛机2包括夹爪23，夹爪23夹持端活动夹接载具14，夹爪23固定端固接伺服缸22末端，伺服缸22缸体固接转台气缸20顶面边缘，转气缸20 中部固接旋转轴21顶部，旋转轴21底端转动连接电缸滑台24，电缸滑台24 侧面滑动连接升降台25一侧，升降台25另一侧滑动连接夹接平台3一侧；升降台25在无感电缸的驱动下可以沿着竖轨34的轨面进行升降，并到达锁定的高度；电动滑台24沿着升降台25上的滑轨250进行横移，可以使得转台气缸20到达需要的距离，接着转台气缸20带动伺服缸22转动，伺服缸22 将夹爪23送到锁定的位置，即可抓取放有晶圆的载具14；反之则可以将带有晶圆的载具14送到相应货架单元11。
[0022]交接平台3包括底板31，底板31侧面间隙接触货架10边框，底板31板面两侧固接支架32，支架32顶端固接天轨33两端，天轨33轨面滑动连接竖轨34顶部两端，竖轨34轨面滑动
连接升降台25，竖轨34底部固接承重板 35中部，承重板35板面一侧设有控制箱安装处38，承重板35底面底面滑动连接中部滑动连接地轨36，地轨36底部平行固接底板31板面中部，承重板 36底面边缘活动连接拖链37驱动端，拖链37移动端活动连接底板31板面边缘。拖链37在无感电缸的驱动下，可以带动承重板35、竖轨34和堆垛机2 在水平方向上移动，并到达锁定的水平位置。
[0023]若干安装板12之间形成货架单元11，安装板12边缘固接定位块13，定位块13间隙接触载具14底部一侧，载具14侧面中部设有条形码140。
[0024]电动滑台24侧面固接滑槽240，滑槽240滑动连接滑轨250，滑轨250 横向固接升降台25一侧，升降台25另一侧纵向固接若滑槽块251，滑槽块 251滑动连接竖轨34轨面。
[0025]支架34底部侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块化半导体自动立体仓库，包括模块化货架(1)、堆垛机(2)和交接平台(3)，所述模块化货架(1)边框间隙接触交接平台(3)边框，所所述交接平台(3)内部活动连接堆垛机(2)，所述堆垛机(2)一端活动夹接模块货架(1)架内货物，其特征在于：所述模块货架(1)包括货架(10)，所述货架(10)边框间隙接交接平台(3)边框，所述货架(10)内部从上至下平行安装若干安装板(12)，所述安装板(12)板面活动安置若干载具(14)，所述载具(14)活动接触堆垛机(2)一端；所述堆垛机(2)包括夹爪(23)，所述夹爪(23)夹持端活动夹接载具(14)，所述夹爪(23)固定端固接伺服缸(22)末端，所述伺服缸(22)缸体固接转台气缸(20)顶面边缘，所述转气缸(20)中部固接旋转轴(21)顶部，所述旋转轴(21)底端转动连接电缸滑台(24)，所述电缸滑台(24)侧面滑动连接升降台(25)一侧，所述升降台(25)另一侧滑动连接夹接平台(3)一侧；所述交接平台(3)包括底板(31)，所述底板(31)侧面间隙接触货架(10)边框，所述底板(31)板面两侧固接支架(32)，所述支架(32)顶端固接天轨(33)两端，所述天轨(33)轨面滑动连接竖轨(34)顶部两端，所述竖轨(34)轨面滑动连接升降台(25)，所述竖轨(34)底部固接承重板(35)中部，所述承重板(35)板面一侧设有控制箱安装处(38)，所述承重板(35)底面底面滑动连接中部滑动连接地轨(36)，所述地轨(36)底部平行固接底板(31)板面中部，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李健乐，张丰，张淳，齐风，李伦，戴超，孙晨光，王彦君，陈健华，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：