一种用于晶圆的自动导片机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆的自动导片机，其包括：移载单元，其包括移载平台、上料箱和下料箱；暂存单元，其包括架板、夹臂组件，夹臂组件包括分别左夹臂和右夹臂、及动力部件；移载单元还包括第一驱动部件、第二驱动部件、及感应部件。本实用新型专利技术通过左夹臂和右夹臂之间同步运动，形成上宽下窄的晶圆暂存区，使得晶圆能够卡设在晶圆暂存区内，无需对晶圆本体施加夹紧力，避免了夹臂对晶圆的磨损，保证了晶圆的质量，提高晶圆的良品率；同时，通过感应部件识别上料箱和下料箱位置，第二驱动部件自动将晶圆从上料箱转载至下料箱内，自动化程度高，降低操作人员工作强度，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的自动导片机


[0001]本技术属于晶圆导片设备领域，具体涉及一种用于晶圆的自动导片机。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是由硅晶棒在经过研磨、抛光、及切片后，形成的硅晶圆片，实际上，企业所生产的晶圆并非纯粹的圆形，而是会带有统一的缺口或者棱角，以便于设备对晶圆进行定位，只有这样，后序在进行CPU内核的制作和切割的时候才能更好地确定方向，其中，通过校准装置对晶圆进行校准并完成定位以后，为方便下一工序的进行，需要将完成定位的晶圆导片至对应的料箱中。
[0003]然而，在实际的晶圆导片过程中，容易存在以下问题：
[0004]1）、为保证晶圆稳定，通常会对晶圆进行夹紧，夹紧必然会对晶圆表面施加力，这样容易造成晶圆表面的磨损或者破坏，使得晶圆报废；
[0005]2）、主要由人工操控设备来对晶圆进行导片，对工作人员操作技术要求高，劳动强度大，生产效率低。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的用于晶圆的自动导片机。
[0007]为解决以上技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0008]一种用于晶圆的自动导片机，其包括：
[0009]移载单元，其包括水平设置的移载平台、并排设置在移载平台上的上料箱和下料箱；
[0010]暂存单元，其包括架板、设置在架板上的夹臂组件，其中架板竖直设置在移载平台上，
[0011]夹臂组件包括分别自架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动左夹臂和右夹臂同步运动的动力部件，当晶圆移载至左夹臂与右夹臂之间时，动力部件驱动左夹臂和右夹臂同步运动，左夹臂与右夹臂之间形成上宽下窄的晶圆暂存区，晶圆卡设在晶圆暂存区内；
[0012]移载单元还包括驱动上料箱或/和下料箱移动的第一驱动部件、驱动晶圆升降的第二驱动部件、及用于感应上料箱或/和下料箱位置的感应部件，当上料箱移动至晶圆暂存区下方时，第二驱动部件驱使晶圆自上料箱向上移动至晶圆暂存区内；当下料箱移动至晶圆暂存区下方时，左夹臂与右夹臂复位，第一驱动部件驱动晶圆向下移动至下料箱内。
[0013]优选地，移载单元还包括设置在移载平台上的活动平板，上料箱和下料箱并排设置在活动平板上，第一驱动部件驱动活动平板在移载平台上沿水平方向移动设置，且上料时，活动平板带动上料箱移动至晶圆暂存区下方；下料时，活动平板带动下料箱移动至晶圆暂存区下方。
[0014]根据本技术的一个具体实施和优选方面，第一驱动部件包括设置在活动平台
上的齿条、固定设置在移载平台上并与齿条相啮合的齿轮、及驱动齿轮转动的马达，其中齿条沿上料箱和下料箱排列方向延伸。这样设置，传动平稳，避免晶圆产生晃动。
[0015]优选地，第二驱动部件包括顶升件、导向板、及驱动顶升件沿导向板长度方向移动的电机，其中导向板竖直设置并自顶端固定连接在移载平台的底面，顶升时，晶圆位于顶升件的顶端。
[0016]具体的，顶升件包括沿导向板上下移动的移动模块、固定连接在移动模块上的支撑板、设置在支撑板顶端的顶块，其中顶块上形成有多个放置槽，顶升时，晶圆自下部卡设在放置槽中。
[0017]优选地，左夹臂和右夹臂分别自后端部穿过架板并连接在动力部件上，晶圆竖直放置在左夹臂和右夹臂之间，动力部件驱动左夹臂和右夹臂同步向内翻转设置。
[0018]具体的，左夹臂包括自一端与动力部件相连接的左翻转轴、连接在左翻转轴另一端的左臂本体；右夹臂包括自一端与动力部件相连接的右翻转轴、连接在右翻转轴另一端的右臂本体，其中左臂本体和右臂本体之间形成晶圆暂存区，左翻转轴和右翻转轴中心线与晶圆中心线相平行，动力部件驱动左翻转轴和右翻转轴绕自身中心线同步转动。样设置，左夹臂和右夹臂的运动行程短，效率高。
[0019]优选地，左夹臂和右夹臂对称设置。这样设置，左夹臂和右夹臂同步夹持晶圆更为平稳，有效避免晶圆晃动或脱落。
[0020]进一步的，左臂本体的内侧形成有沿其长度方向间隔分布的多个左夹槽，右臂本体的内侧形成有沿其长度方向间隔分布的多个右夹槽，其中左夹槽与右夹槽一一对应设置，暂存时，每片晶圆夹持在每个左夹槽和对应的右夹槽之间。这样设置，分散晶圆侧边的受力，放置左夹臂和右夹臂对晶圆侧边造成磨损或破坏，起到保护晶圆侧边的作用。
[0021]此外，动力部件包括第一传动杆、第二传动杆、及驱动第一传动杆和第二传动杆同步运动的驱动器，其中第一传动杆对应连接在左夹臂上，第二传动杆对应连接在右夹臂上。这样设置，传动稳定，保证左夹臂和右夹臂同步运动并夹紧晶圆。
[0022]由于以上技术方案的实施，本技术与现有技术相比具有如下优点：
[0023]本技术通过左夹臂和右夹臂之间同步运动，形成上宽下窄的晶圆暂存区，使得晶圆能够卡设在晶圆暂存区内，无需对晶圆本体施加夹紧力，避免了夹臂对晶圆的磨损，保证了晶圆的质量，提高晶圆的良品率；同时，通过感应部件识别上料箱和下料箱位置，第二驱动部件自动将晶圆从上料箱转载至下料箱内，自动化程度高，降低操作人员工作强度，提高生产效率。
附图说明
[0024]图1为本技术的导片机结构示意图；
[0025]图2为本技术的导片机结构示意图（另一视角）；
[0026]图3为图1的拆分结构示意图（不含上料箱和下料箱）；
[0027]图4为图1中顶升件的结构示意图；
[0028]图5为图1中左夹臂的放大示意图；
[0029]其中：1、移载单元；10、移载平台；11、活动平板；110、板本体；t1、导向轨；t2、导向槽；111、上料定位组件；k1、上料固定块；f、防呆针；112、下料定位组件；k2、下料固定块；12、
上料箱；13、下料箱；14、第一驱动部件；140、齿条；141、齿轮；142、马达；15、第二驱动部件；150、顶升件；s0、顶升丝杆；s1、移动模块；s2、支撑板；s3、顶块；a、放置槽；151、导向板；152、电机；16、感应部件；r、光路；
[0030]2、暂存单元；20、架板；21、暂存组件；210、左夹臂；2100、左翻转轴；2101、左臂本体；c1、左夹槽；211、右夹臂；2110、右翻转轴；2111、右臂本体；c2、右夹臂；q、晶圆暂存区；212、动力部件；2120、第一传动杆；g1、第一支杆；g2、第二支杆；2121、第二传动杆；g3、第三支杆；g4、第四支杆；2122、驱动器；d0、滑座；d1、动力件；d10、丝杆；d11、驱动马达；213、左挡板；z1、左转轴；214、右挡板。
具体实施方式
[0031]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的自动导片机，其包括：移载单元，其包括水平设置的移载平台、并排设置在所述移载平台上的上料箱和下料箱；暂存单元，其包括架板、设置在所述架板上的夹臂组件，其中所述架板竖直设置在所述移载平台上，其特征在于：所述的夹臂组件包括分别自所述架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动所述左夹臂和所述右夹臂同步运动的动力部件，当所述晶圆移载至所述左夹臂与所述右夹臂之间时，所述动力部件驱动所述左夹臂和所述右夹臂同步运动，所述左夹臂与所述右夹臂之间形成上宽下窄的晶圆暂存区，所述晶圆卡设在所述晶圆暂存区内；所述的移载单元还包括驱动所述上料箱或/和所述下料箱移动的第一驱动部件、驱动晶圆升降的第二驱动部件、及用于感应所述上料箱或/和所述下料箱位置的感应部件，当所述上料箱移动至所述晶圆暂存区下方时，所述第二驱动部件驱使所述晶圆自所述上料箱向上移动至所述晶圆暂存区内；当所述下料箱移动至所述晶圆暂存区下方时，所述左夹臂与所述右夹臂复位，所述第一驱动部件驱动所述晶圆向下移动至所述下料箱内。2.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动导片机，其特征在于：所述移载单元还包括设置在所述移载平台上的活动平板，所述上料箱和所述下料箱并排设置在所述活动平板上，所述第一驱动部件驱动所述活动平板在所述移载平台上沿水平方向移动设置，且上料时，所述活动平板带动所述上料箱移动至所述晶圆暂存区下方；下料时，所述活动平板带动所述下料箱移动至所述晶圆暂存区下方。3.根据权利要求2所述的用于晶圆的自动导片机，其特征在于：所述第一驱动部件包括设置在所述活动平台上的齿条、固定设置在所述移载平台上并与所述齿条相啮合的齿轮、及驱动所述齿轮转动的马达，其中所述齿条沿所述上料箱和所述下料箱排列方向延伸。4.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动导片机，其特征在于：所述第二驱动部件包括顶升件、导向板、及驱动所述顶升件沿所述导向板长度方向移动的电机，其中所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜博，
申请(专利权)人：苏州新尚思自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：