一种连续多腔体真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种连续多腔体真空镀膜机，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。本实用新型专利技术可实现对镀制片在相邻真空腔室内的传送，自动化程度高，生产效率高。生产效率高。生产效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种连续多腔体真空镀膜机


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体是一种连续多腔体真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的真空镀膜机按腔体数量可分为两种：
[0004]其一是单腔体真空镀膜机，单腔体蒸发镀膜机，可蒸镀发杂膜系，主要应用于光学系统、光通信等；单腔体磁控溅射机，可镀制简单颜色膜，主要用于装饰、合色棱镜等；单腔体镀膜机在镀制件进出时需要。
[0005]其二是多腔体连续镀膜机，目前仅有多腔体溅射机，镀制层数与腔体数量相关，每个腔体单独镀制一种材料，无法做到单腔体复杂膜系镀制。
[0006]目前，现有的真空蒸发镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差等，在生产过程中，需要多次对整个腔体进行重复抽气，耗时较长，且多需人工放置、调整以及从真空室取出工件，生产效率低。

技术实现思路

[0007]本技术的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种连续多腔体真空镀膜机。
[0008]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0009]一种连续多腔体真空镀膜机，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。
[0010]具体地，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第一密封腔，所述第二插板阀活动安装在第一密封腔内；所述出片腔与镀膜腔的连通处设有第二密封腔，所述第三插板阀活动安装在第二密封腔内。本技术通过在镀膜腔与进片腔、出片腔的连通处设置密封腔，使得第二插板阀/第三插板阀在开启/关闭的过程中不会影响腔体的真空度，提升了镀膜质量。
[0011]进一步地，所述第一密封腔、第二密封腔内均设有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第二插板阀/第三插板阀在第一密封腔/第二密封腔内滑动，从而实现第二插板阀/第三插板阀的开启或关闭，即实现所述镀膜腔与进片腔、出片腔的连通或隔离。
[0012]具体地，所述驱动机构包括驱动电机或气缸。
[0013]具体地，所述抽真空装置包括第一抽真空泵和第二抽真空泵；所述第一抽真空泵
安装在进片腔的外壁，与进片腔通过电磁阀连通；所述第二抽真空泵安装在出片腔的外壁，与出片腔通过电磁阀连通。
[0014]具体地，所述加热装置包括加热电网，所述加热电网分别布置在进片腔和镀膜腔内，用于对镀制片(物料)进行烘烤，便于镀膜。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术将整个镀膜工艺分为三个步骤，每一步骤在不同的真空室内进行，且相邻的真空室之间设有插板阀控制相隔离，进而避免了相邻真空室之间相互影响，保证镀膜效果，且每个真空室内设置有传送机构，加以插板阀机构可以控制相邻的真空室连通，进而实现了对工件在相邻真空室内的传送，自动化程度高，生产效率高。相比较单体镀膜机，节省了抽气时间和一部分烘烤时间，提升了生产效率。本技术的真空镀膜机相比较现有的磁控溅射连续线镀膜机，节省了大量造价，且可以镀制多种材料及复杂膜系。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例中一种连续多腔体真空镀膜机的腔体连接结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例中一种连续多腔体真空镀膜机的整体结构示意图；
[0018]图中：1、进片腔；2、镀膜腔；3、出片腔；4、第一插板阀；5、第二插板阀；6、第三插板阀；7、第四插板阀；8、第一密封腔；9、第二密封腔；10、第一抽真空泵；11、第二抽真空泵。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术中的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动条件下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1、2所示，本实施例提供了一种连续多腔体真空镀膜机，包括进片腔1、镀膜腔2和出片腔3，所述进片腔1的出料口与镀膜腔2的进料口连通，所述镀膜腔2的出料口与出片腔3的进料口连通；所述进片腔1的进料口设有第一插板阀4，所述进片腔1与镀膜腔2的连通处设有第二插板阀5，所述镀膜腔2与出片腔3的连通处设有第三插板阀6，所述出片腔3的出料口设有第四插板阀7；所述进片腔1、镀膜腔2和出片腔3内均设有用于输送物料的传送机构(图中未示出)；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。
[0021]具体地，所述进片腔1与镀膜腔2的连通处设有第一密封腔8，所述第二插板阀5活动安装在第一密封腔8内；所述出片腔3与镀膜腔2的连通处设有第二密封腔9，所述第三插板阀6活动安装在第二密封腔9内。本实施例通过在镀膜腔2与进片腔1、出片腔3的连通处设置密封腔，使得第二插板阀5/第三插板阀6在开启/关闭的过程中不会影响腔体的真空度，提升了镀膜质量。
[0022]进一步地，所述第一密封腔8、第二密封腔9内均设有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第二插板阀5/第三插板阀6在第一密封腔8/第二密封腔9内滑动，从而实现第二插板阀5/第三插板阀6的开启或关闭，即实现所述镀膜腔2与进片腔1、出片腔3的连通或隔离。
[0023]具体地，所述驱动机构包括气缸及其配套组件(图中未示出)。
[0024]具体地，所述抽真空装置包括第一抽真空泵10和第二抽真空泵11；所述第一抽真
空泵10安装在进片腔1的外壁，与进片腔1通过电磁阀连通；所述第二抽真空泵11安装在出片腔3的外壁，与出片腔3通过电磁阀连通。
[0025]具体地，所述加热装置包括加热电网(图中未示出)，所述加热电网分别布置在进片腔1和镀膜腔2内，用于对镀制片(物料)进行烘烤，便于镀膜。
[0026]本实施例一种连续多腔体真空镀膜机的工作流程如下：
[0027]准备工序：关闭第一插板阀4和第四插板阀7，开启第二插板阀5和第三插板阀6，此时镀膜腔2和进片腔1、出片腔3形成一个整体的密闭腔体，再通过第一抽真空泵10和第二抽真空泵11对整个腔体进行抽真空，待整个腔体内的真空度达到指定阈值后停止抽真空。
[0028]进片工序：关闭第二插板阀5，打开进片腔1的电磁阀，使进片腔1与外界连通，待气压平衡后，再开启第一插板阀4，然后将镀制片(物料)传入进片腔1，再关闭第一插板阀4，通过第一抽真空泵10对进片腔1进行抽真空，同时通过进片腔1内的加热电网对镀制片进行烘烤，待进片腔1内的真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，包括进片腔、镀膜腔和出片腔，所述进片腔的出料口与镀膜腔的进料口连通，所述镀膜腔的出料口与出片腔的进料口连通；所述进片腔的进料口设有第一插板阀，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第二插板阀，所述镀膜腔与出片腔的连通处设有第三插板阀，所述出片腔的出料口设有第四插板阀；所述进片腔、镀膜腔和出片腔内均设有用于输送物料的传送机构；所述真空镀膜机还包括抽真空装置和加热装置。2.根据权利要求1所述的一种连续多腔体真空镀膜机，其特征在于，所述进片腔与镀膜腔的连通处设有第一密封腔，所述第二插板阀活动安装在第一密封腔内；所述出片腔与镀膜腔的连通处设有第二密封腔，所述第三插板阀活动安装在第二密封腔内。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨辉，易霖，
申请(专利权)人：武汉摩擦力信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：