真空线性移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种真空线性移动装置，包括：第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端由第一环状腔体伸出后进入真空系统；波纹管，被配置为两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，其长度能够变化；第二环状腔体，被配置为包裹在第一环状腔体外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移；第二环状腔体和驱动轴部分刚性连接，当第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。

【技术实现步骤摘要】
真空线性移动装置


[0001]本技术涉及精密仪器
，特别涉及一种真空线性移动装置。

技术介绍

[0002]超高真空系统中，经常需要对真空系统中的一些组件进行位移操作。例如一些情况下，需要高精度，大负载的前后移动，例如样品位置精密微调，阀门/挡板位置精密微调等，在操作中还需要确保真空系统的精确密封，操作难度大，即使保证了真空系统的密封，也会使得操作设备结构复杂且造价高，提高了工程的成本。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空线性移动装置，以解决现有的真空线性移动难以降低设备成本的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种真空线性移动装置，包括：
[0005]第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；
[0006]驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端在从第一环状腔体伸出后进入真空系统；
[0007]波纹管，被配置为以两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，且其长度能够变化；以及
[0008]第二环状腔体，被配置为包裹第一环状腔体的外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移，其中第二环状腔体与驱动轴部分刚性连接，使得第二环状腔体在相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。
[0009]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述第一环状腔体包括外螺纹驱动组件，所述第二环状腔体包括内螺纹驱动组件，其中：
[0010]所述外螺纹驱动组件的外侧壁的螺纹与内螺纹驱动组件的内侧壁的螺纹相配合，所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动，以使第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移。
[0011]可选的，在所述的真空线性移动装置中，还包括深沟球轴承，其中：
[0012]所述深沟球轴承的内圈固定于所述驱动轴上；
[0013]所述深沟球轴承的外圈固定于第二环状腔体上；
[0014]所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动时，深沟球轴承的外圈随着内螺纹驱动组件转动，深沟球轴承的内圈静止。
[0015]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述外螺纹驱动组件的外侧壁上具有主尺刻度，所述内螺纹驱动组件的内侧壁上具有游标尺刻度；
[0016]通过主尺刻度和游标尺刻度的和计算第二环状腔体相对于第一环状腔体的轴向位移。
[0017]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述第一环状腔体还包括安装法兰、润滑
环和限位环，其中：
[0018]所述安装法兰一端面与真空系统的外壁刚性连接，另一端面与外螺纹驱动组件刚性连接；
[0019]所述润滑环与所述驱动轴间隙配合；
[0020]所述限位环的一端面将润滑环限位于安装法兰上，另一端面将驱动轴限位于最小深出阈值所对应的位置。
[0021]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述安装法兰的外边缘延伸至所述外螺纹驱动组件的端面之外，以将内螺纹驱动组件限位于安装法兰的外边缘；
[0022]所述波纹管的材料为304不锈钢，所述安装法兰为CF刀口法兰，具有检漏槽。
[0023]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述驱动轴进入真空系统的一端具有螺纹孔和限位突起，其中：
[0024]所述螺纹孔用于固定真空系统中需要移动的物体；
[0025]所述限位突起用于配合润滑环，将驱动轴限位于最小深出阈值所对应的位置。
[0026]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述驱动轴容置在第一环状腔体的一端包括沿径向延伸且相背设置的第一卡槽和第二卡槽、以及沿径向凹陷的第三卡槽，所述第一卡槽用于与波纹管刚性连接并将波纹管限位于第一卡槽与安装法兰之间；
[0027]所述第三卡槽中具有卡簧，深沟球轴承的内圈限位于所述第二卡槽和卡簧之间。
[0028]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述第二环状腔体包括轴承座，所述轴承座用于安装深沟球轴承的外圈，所述轴承座与所述内螺纹驱动组件刚性连接。
[0029]可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述波纹管的内壁和安装法兰的内壁与驱动轴之间为真空环境，所述波纹管的外壁、安装法兰的外壁、外螺纹驱动组件和内螺纹驱动组件与驱动轴之间为大气环境。
[0030]在本技术提供的真空线性移动装置中，通过驱动轴由与真空系统的外壁刚性连接的第一环状腔体中进入真空系统，当第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移，连接第一环状腔体和驱动轴的波纹管长度能够变化，则波纹管的两端可以在不脱离与第一环状腔体和驱动轴的连接的情况下，实现第一环状腔体和驱动轴的位移，这个过程不会产生间隙，保证了真空环境的密封性，且整个过程操作简单。
[0031]本技术通过内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动时，深沟球轴承的外圈随着内螺纹驱动组件转动，深沟球轴承的内圈静止，可以使得驱动轴仅仅相对于第一环状腔体产生轴向位移，而不会相对于第一环状腔体转动，保证了位移过程的稳定和可靠。
[0032]本技术通过外螺纹驱动组件的外侧壁上具有主尺刻度，内螺纹驱动组件的内侧壁上具有游标尺刻度，通过主尺刻度和游标尺刻度的和计算第二环状腔体相对于第一环状腔体的轴向位移，主尺刻度记录轴向位移，游标尺刻度记录转动不够一圈的情况下的对应的轴向位移，结合两者的记录使得精度更高。
附图说明
[0033]图1是本技术一实施例真空线性移动装置示意图；
[0034]图2是本技术一实施例真空线性移动装置的波纹管示意图；
[0035]图3是本技术一实施例真空线性移动装置外侧面示意图；
[0036]图中所示：1
‑
驱动轴；2
‑
安装法兰；21
‑
检漏槽；3
‑
外螺纹驱动组件；4
‑
内螺纹驱动组件；5
‑
轴承座；6
‑
波纹管；7
‑
深沟球轴承；8
‑
卡簧；9
‑
限位环；10
‑
润滑环；11
‑
螺纹孔；12
‑
限位突起；13
‑
第一卡槽；14
‑
第二卡槽；15
‑
第三卡槽；31
‑
主尺刻度；32
‑
游标尺刻度。
具体实施方式
[0037]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的真空线性移动装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0038]另外，除非另行说明，本技术的不同实施例中的特征可以相互组合。例如，可以用第二实施例中的某特征替换第一实施例中相对应或功能相同或相似的特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空线性移动装置，其特征在于，包括：第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端在从第一环状腔体伸出后进入真空系统；波纹管，被配置为以两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，且其长度能够变化；以及第二环状腔体，被配置为包裹第一环状腔体的外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移，其中第二环状腔体与驱动轴部分刚性连接，使得第二环状腔体在相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。2.如权利要求1所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述第一环状腔体包括外螺纹驱动组件，所述第二环状腔体包括内螺纹驱动组件，其中：所述外螺纹驱动组件的外侧壁的螺纹与内螺纹驱动组件的内侧壁的螺纹相配合，所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动，以使第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移。3.如权利要求2所述的真空线性移动装置，其特征在于，还包括深沟球轴承，其中：所述深沟球轴承的内圈固定于所述驱动轴上；所述深沟球轴承的外圈固定于第二环状腔体上；所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动时，深沟球轴承的外圈随着内螺纹驱动组件转动，深沟球轴承的内圈静止。4.如权利要求2所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述外螺纹驱动组件的外侧壁上具有主尺刻度，所述内螺纹驱动组件的内侧壁上具有游标尺刻度；通过主尺刻度和游标尺刻度的和计算第二环状腔体相对于第一环状腔体的轴向位移。5.如权利要求3所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述第一环状腔体还包括安装法兰、润滑环和...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志伟，
申请(专利权)人：埃频上海仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：