本实用新型专利技术公开了一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，所述预冷组件包括箱体一、冷却管、输气管一、风机，所述箱体一的内部设置有所述冷却管，所述冷却管的外壁绕设有所述输气管一，所述输气管一的一端连接有所述风机。本实用新型专利技术采用冷却剂循环制冷的方式，并且不同于其他冷却装置制冷空间大，且制冷目标得不到多次预冷，本装置只制冷一个部件，提高制冷速度，输送氩气的管道又因在这个部件上多圈绕设，相当于对氩气进行多次预冷，且出了预冷组件之后若是温度不达标，又可再次返回进行第二次预冷流程，从而使得预冷效率更高，且资源浪费率低，便于维修和保养，每一个组件都是相互独立，互不影响，装置出现问题的时候可以很快找出问题所在。找出问题所在。找出问题所在。
【技术实现步骤摘要】
一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置
：
[0001]本技术涉及氩气回收
，具体为一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置。
技术介绍
：
[0002]氩气是一种无色无臭的惰性气体，其分子式为Ar，分子量为39.95，蒸汽压为202.64kPa(
‑
179℃)，熔点
‑
189.2℃，沸点
‑
185.7℃。在工业生产中，氩气通常被用作一种高效的保护气体，使用十分广泛；例如，氩气也普遍被用于单晶硅的生产工艺中。
[0003]直拉法是生产单晶硅的主要方法，全球70％～80％的单晶硅通过直拉法生产。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用既像真空工艺又像流动气氛工艺的减压拉晶工艺。减压拉晶工艺是指，在硅单晶拉制过程中，连续等速地向单晶炉炉膛内通入高纯度氩气，同时真空泵不断地从炉膛向外抽送氩气，以保持炉膛内真空度稳定在20托左右，可见，这种工艺既具有真空工艺的特点，又具有流动气氛工艺的特点。减压拉晶工艺的真空泵一般采用滑阀泵，滑阀泵是用油来保持密封的机械真空泵；氩气携带单晶拉制过程中由于高温而产生的硅氧化物和杂质挥发物，通过该真空泵的抽送排放到大气。通过对这部分排放的氩气进行分析，发现其主要杂质成分为氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等烷烃，以及液态润滑油雾；将排放的氩气作为回收氩气，进一步纯化处理以期望获得纯氩气产品，从而实现回收氩气的循环利用，能够较大程度地节省生产成本。
[0004]然而，现有技术中存在的装置或系统往往过于复杂，操作繁琐，不利于大规模工业化生产与检修。
技术实现思路
：
[0005]本技术的目的在于提供一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]本技术由如下技术方案实施：一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，包括预冷组件、制冷组件、测温组件和纯化组件；
[0007]所述预冷组件包括箱体一、冷却管、输气管一和风机，所述箱体一的内部设置有所述冷却管，所述冷却管的外壁绕设有所述输气管一，所述输气管一的一端连接有所述风机；
[0008]所述制冷组件包括蒸发器、制冷管一、箱体二、节流膨胀装置、制冷管二、冷凝器、制冷管三、加压装置和制冷管四，所述冷却管的一端连接有所述箱体二，所述箱体二的内部设置有所述蒸发器，所述蒸发器的进水端连接有所述制冷管一，所述制冷管一的一端连接有所述节流膨胀装置，所述节流膨胀装置的进水端连接有所述制冷管二，所述制冷管二的一端连接有所述冷凝器，所述冷凝器的进气端连接有所述制冷管三，所述制冷管三的一端连接有所述加压装置，所述加压装置的进气端连接有所述制冷管四，所述蒸发器的出气端连接有所述制冷管四，所述预冷组件连接所述测温组件，所述测温组件连接所述纯化组件。
[0009]优选的，所述冷却管的外壁设置有固定块，所述固定块的顶部架设有所述输气管
一。
[0010]通过采用上述方案，在冷却管的外壁设置多个固定块，输气管一架设在固定块上，可以很好的固定在冷却管上。
[0011]优选的，所述箱体一的左侧设置有箱体三，所述箱体三的内部设置有所述制冷组件。
[0012]通过采用上述方案，在箱体一的左侧设置一个箱体三，箱体三的内部设置有制冷组件，保护制冷组件在工作的时候受到影响。
[0013]优选的，所述箱体三的内壁设置有风扇。
[0014]通过采用上述方案，在箱体三的内壁设置一个风扇，降低箱体三内温度。
[0015]优选的，所述风机的出风口连接所述测温组件，所述测温组件包括输气管二、测温器、出气口一、出气口二、输气管三和输气管四，所述风机的出风口连接有所述输气管二，输气管二的一端连接有所述测温器，所述测温器的顶部设置有所述出气口一和出气口二，所述出气口二的右侧连接有所述输气管三，所述出气口一的左侧连接有所述输气管四。
[0016]通过采用上述方案，冷却后的氩气经过被风机通过输气管二输送到测温器，测温器测量氩气的温度，温度达标就通过出气口二到达输气管三内，温度不达标就通过出气口一达到输气管四内。
[0017]优选的，所述输气管四的一端连接有三通接头，所述三通接头的两侧连接有所述输气管一。
[0018]通过采用上述方案，温度未达标的氩气通过输气管四进入三通接头，与输气管一内未预冷处理的氩气进行重新预冷。
[0019]优选的，所述输气管三的一端连接有所述纯化组件、所述纯化组件包括活性炭箱、支撑腿一和输气管五，所述输气管三的一端连接有所述活性炭箱，所述活性炭箱的底部设置有所述支撑腿一，所述活性炭箱的右侧连接有所述输气管五。
[0020]通过采用上述方案，温度达标的氩气通过输气管三到达活性炭箱内，经过活性炭箱的过滤吸附进入到输气管五，活性炭箱的底部设置有支撑腿一，可以更好的保证活性炭箱在工作的时候的稳定性。
[0021]优选的，所述输气管五的一端连接有干燥箱，所述干燥箱的底部设置有支撑腿二，所述干燥箱的右侧连接有输气管六。
[0022]通过采用上述方案，经过活性炭箱的氩气通过输气管进入干燥箱，进行更进一步的纯化处理，然后通过输气管六排出，干燥箱的底部设置有支撑腿二，保证了干燥箱工作时的稳定性。
[0023]本技术的优点：本技术采用冷却剂循环制冷的方式，并且不同于其他冷却装置制冷空间大，且制冷目标得不到多次预冷，本装置只制冷一个部件，提高制冷速度，输送氩气的管道又因在这个部件上多圈绕设，相当于对氩气进行多次预冷，且出了预冷组件之后若是温度不达标，又可再次返回进行第二次预冷流程，从而使得预冷效率更高，且资源浪费率低，便于维修和保养，每一个组件都是相互独立，互不影响，装置出现问题的时候可以很快找出问题所在。
附图说明：
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本技术结构示意图；
[0026]图2为本技术中的冷却管结构示意图。
[0027]图中：1、预冷组件；11、箱体一；12、冷却管；13、固定块；14、输气管一；15、风机；2、制冷组件；21、蒸发器；211、制冷管一；22、箱体二；23、节流膨胀装置；231、制冷管二；24、冷凝器；241、制冷管三；25、加压装置；251、制冷管四；26、箱体三；27、风扇；3、测温组件；31、输气管二；32、测温器；321、出气口一；322、出气口二；33、输气管三；34、输气管四；4、三通接头；5、纯化组件；51、活性炭箱；52、支撑腿一；53、输气管五；54、干燥箱；55、支撑腿二；56、输气管六。
具体实施方式：
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，其特征在于；包括预冷组件(1)、制冷组件(2)、测温组件(3)和纯化组件(5)；所述预冷组件(1)包括箱体一(11)、冷却管(12)、输气管一(14)和风机(15)，所述箱体一(11)的内部设置有所述冷却管(12)，所述冷却管(12)的外壁绕设有所述输气管一(14)，所述输气管一(14)的一端连接有所述风机(15)；所述制冷组件(2)包括蒸发器(21)、制冷管一(211)、箱体二(22)、节流膨胀装置(23)、制冷管二(231)、冷凝器(24)、制冷管三(241)、加压装置(25)和制冷管四(251)，所述冷却管(12)的一端连接有所述箱体二(22)，所述箱体二(22)的内部设置有所述蒸发器(21)，所述蒸发器(21)的进水端连接有所述制冷管一(211)，所述制冷管一(211)的一端连接有所述节流膨胀装置(23)，所述节流膨胀装置(23)的进水端连接有所述制冷管二(231)，所述制冷管二(231)的一端连接有所述冷凝器(24)，所述冷凝器(24)的进气端连接有所述制冷管三(241)，所述制冷管三(241)的一端连接有所述加压装置(25)，所述加压装置(25)的进气端连接有所述制冷管四(251)，所述蒸发器(21)的出气端连接有所述制冷管四(251)，所述预冷组件(1)连接所述测温组件(3)，所述测温组件(3)连接所述纯化组件(5)。2.根据权利要求1所述的一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，其特征在于：所述冷却管(12)的外壁设置有固定块(13)，所述固定块(13)的顶部架设有所述输气管一(14)。3.根据权利要求2所述的一种基于氩气回收工艺的预冷纯化装置，其特征在于：所述箱体一(11)的左侧设置有箱体三(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：代井平，高志峰，
申请(专利权)人：内蒙古亿钶气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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